導(dǎo)讀:過去幾年,基于碳化硅(SiC)功率半導(dǎo)體器件的解決方案使用大幅增長,它將引發(fā)一場類似于蒸汽機(jī)一樣的產(chǎn)業(yè)革命,推動(dòng)這一市場的發(fā)展動(dòng)力來源與我們對于電力電子系統(tǒng)的高效率、小型化和輕量化。
面對日益嚴(yán)苛的能效要求,節(jié)能減碳已成為現(xiàn)今電子產(chǎn)品不可忽略的重要環(huán)節(jié);傳統(tǒng)以硅為材料的功率半導(dǎo)體,正逐漸面臨發(fā)展瓶頸,而具有比硅更低導(dǎo)通電阻及更高切換速度的碳化硅(SiC)功率器件以其優(yōu)異的高耐壓、低損耗、高導(dǎo)熱率等優(yōu)異性能,有效實(shí)現(xiàn)電力電子系統(tǒng)的高效率、小型化和輕量化。
整個(gè)碳化硅(SiC)功率器件行業(yè)尚在起步階段。全球市場規(guī)模包括中國國內(nèi)市場規(guī)模都很小,2014年全球碳化硅(SiC)功率器件的市場規(guī)模為1.2億美元,相較硅功率器件的150億美元市場,碳化硅功率器件市場還很小,還不到硅(Si)功率器件的10%。
根據(jù)市場分析公司預(yù)計(jì),2016-2020年,碳化硅功率器件的市場規(guī)模將保持25%的年增長速度,到2020年時(shí)可望達(dá)到4.5億美元以上的規(guī)模,市場對這一器件的接受度正進(jìn)入加速階段。
碳化硅(SiC)器件優(yōu)勢巨大
碳化硅(SiC)材料本身的寬禁帶、高擊穿電場、高熱導(dǎo)率、電子遷移率以及抗輻射特性使得碳化硅基的SBD以及MOSFET在高頻、高溫、高壓、高功率以及耐輻射的應(yīng)用場合相比硅基器件優(yōu)勢巨大。
1. 碳化硅材料應(yīng)用在高鐵領(lǐng)域,可節(jié)能20%以上,并減小電力系統(tǒng)體積;
2. 碳化硅材料應(yīng)用在新能源汽車領(lǐng)域,可降低能耗20%;
3. 碳化硅材料應(yīng)用在家電領(lǐng)域,可節(jié)能50%;
4. 碳化硅材料應(yīng)用在風(fēng)力發(fā)電領(lǐng)域,可提高效率20%;
5. 碳化硅材料應(yīng)用在太陽能領(lǐng)域,可降低光電轉(zhuǎn)換損失25%以上;
6. 碳化硅材料應(yīng)用在工業(yè)電機(jī)領(lǐng)域,可節(jié)能30%-50%;
7. 碳化硅材料應(yīng)用在超高壓直流輸送電和智能電網(wǎng)領(lǐng)域,可使電力損失降低60%,同時(shí)供電效率提高40%以上;
8. 碳化硅材料應(yīng)用在大數(shù)據(jù)領(lǐng)域,可幫助數(shù)據(jù)中心能耗大幅降低(全球300萬臺(tái)數(shù)據(jù)中心每小時(shí)耗電量約為3000萬千瓦);
9. 碳化硅材料應(yīng)用在通信領(lǐng)域,可顯著提高信號的傳輸效率和傳輸安全及穩(wěn)定性;
10. 碳化硅材料可使航空航天領(lǐng)域,可使設(shè)備的損耗減小30%-50%,工作頻率高3倍,電感電容體積縮小3倍,散熱器重量大幅降低。
其實(shí)優(yōu)勢不單是體現(xiàn)在單個(gè)器件上,而是碳化硅基的功率器件作為電力電子的功率轉(zhuǎn)換中的核心部件,工作頻率、效率及耐溫的提升使得功率轉(zhuǎn)換(即整流或者逆變)模塊中對電容電感等被動(dòng)元件以及散熱片的要求大大降低,核心元件帶動(dòng)整個(gè)模塊系統(tǒng)的優(yōu)化才是最重要的。
面對日益嚴(yán)苛的能效要求,發(fā)達(dá)國家都非常重視碳化硅功率器件,很早就進(jìn)行了布局,加大研發(fā)力度。2014年伊始,當(dāng)時(shí)的美國總統(tǒng)奧巴馬親自主導(dǎo)成立了以碳化硅為代表的第三代寬禁帶半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟。這一舉措的背后,是美國對以碳化硅半導(dǎo)體為代表的第三代寬禁帶半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的強(qiáng)力支持。據(jù)了解,這個(gè)產(chǎn)業(yè)已經(jīng)獲得美國聯(lián)邦和地方政府總計(jì)1.4億美元的合力支持。而早在2013年日本政府就將碳化硅納入“首相戰(zhàn)略”,認(rèn)為未來50%的節(jié)能要通過它來實(shí)現(xiàn),創(chuàng)造清潔能源的新時(shí)代。
國內(nèi)對碳化硅(SiC)功率器件的研究始于20世紀(jì)末,直到2014年,國內(nèi)的碳化硅(SiC)二極管實(shí)現(xiàn)了量產(chǎn)化,但還沒有形成完整的產(chǎn)業(yè),與國外的產(chǎn)業(yè)規(guī)模相比有很大差距。
國內(nèi)碳化硅(SiC)功率器件方面,西安電子科技大學(xué)、中電科技集團(tuán)13所和55所、清華大學(xué)、中國科學(xué)院、中車株洲時(shí)代電氣股份有限公司和國網(wǎng)智能電網(wǎng)研究院等都有一些此類器件的課題研究,但主要是理論研究以及器件結(jié)構(gòu)的計(jì)算機(jī)仿真及實(shí)驗(yàn)室的一些研究成果。目前,國內(nèi)實(shí)現(xiàn)碳化硅(SiC)功率器件量產(chǎn)的只有泰科天潤半導(dǎo)體科技(北京)有限公司,其量產(chǎn)的肖特基二極管600~1700V系列各項(xiàng)指標(biāo)均已達(dá)到國際先進(jìn)水平。
2014年1月15日,國內(nèi)首款商業(yè)化碳化硅(SiC)肖特基二極管在泰科天潤通過了中國電力電子協(xié)會(huì)主持的產(chǎn)品鑒定。
目前成熟量產(chǎn)的碳化硅(SiC)功率器件更多是SBD,商用的碳化硅基MOSFET國際幾大廠如Cree、Infineon、RoHM等廠家也有量產(chǎn)器件,國內(nèi)應(yīng)該尚未走通整個(gè)SiC MOSFET的量產(chǎn)工藝。
國際廠商已經(jīng)在宣傳全碳化硅(SiC)功率模塊,用于PFC/UPS/PV/EV等應(yīng)用場景,國內(nèi)廠家由于僅有少數(shù)能量產(chǎn)碳化硅器件,而且還僅僅是SBD,開關(guān)器件國內(nèi)尚無人能量產(chǎn),所以國內(nèi)的全碳化硅(SiC)功率模塊目前大部分是采用國外的功率器件,或者至少是MOSFET采用的是國外產(chǎn)品。
從2010年1月1日- 2015年10月底,美國碳化硅功率器件相關(guān)技術(shù)(含襯底晶體、外延、器件、模塊和系統(tǒng)等)的專利申請情況看,碳化硅功率器件經(jīng)歷了較大的發(fā)展,從產(chǎn)業(yè)上呈現(xiàn)了與前期不同的面貌。主要反映在2個(gè)方面:
1. 二極管技術(shù)不斷趨于成熟,除了軍用之外,在一些典型領(lǐng)域(服務(wù)器和光伏微逆變器等)開始了大規(guī)模應(yīng)用,三極管也開始進(jìn)入市場,并且與一些重要的下游應(yīng)用產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域(電動(dòng)汽車,軌道交通)結(jié)合,一定程度上確立了產(chǎn)業(yè)界的普遍認(rèn)同,一些公司有了自己具體的產(chǎn)業(yè)發(fā)展方向和時(shí)間表。
2. 各個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈條環(huán)節(jié)都出現(xiàn)競爭,導(dǎo)致質(zhì)量不斷提高,成本迅速持續(xù)下降,呈現(xiàn)典型的產(chǎn)業(yè)良性發(fā)展特征。
目前阻礙碳化硅(SiC)功率器件大規(guī)模進(jìn)入市場的主要原因是制造成本和產(chǎn)品良率。雖說碳化硅基器件仍不便宜,但是被動(dòng)元件的節(jié)省以及散熱壓力的減小是的碳化硅基的功率模塊已然能做到接近0.25USD/瓦的價(jià)格,而且是在當(dāng)前終端市場很不成熟的條件下做到的,碳化硅外延片的尺寸的突破以及位錯(cuò)密度的持續(xù)降低,將會(huì)促進(jìn)成本的進(jìn)一步降低。
另外碳化硅功率器件的制約因素,其工藝本身的一些技術(shù)特性也有待攻關(guān),因?yàn)楣韫β什牧陷^傳統(tǒng)硅材料硬度要大,晶圓尺寸進(jìn)一步擴(kuò)大時(shí)工藝技術(shù)目前還很難控制,因此目前硅功率產(chǎn)品的晶圓尺寸只能做到6英寸,相對于目前大部分硅功率器件都已經(jīng)向12英寸晶圓遷移的進(jìn)度,硅功率功率器件有些落后了,而這也將限制其成本控制的步伐。
總結(jié):作為一種全新材料,碳化硅功率器件存在顯著的技術(shù)/成本瓶頸。同時(shí),在其產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃中,缺乏行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)和公認(rèn)的技術(shù)發(fā)展路線。不同的產(chǎn)品/技術(shù)路線,對材料和工藝的要求、驅(qū)動(dòng)、可靠性都不相同,誰能最后脫穎而出,占據(jù)主流地位,對業(yè)者的生存發(fā)展是非?,F(xiàn)實(shí)的問題。
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