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電子發(fā)燒友網(wǎng)>模擬技術(shù)>氧化鎵薄膜外延及電子結(jié)構(gòu)研究

氧化鎵薄膜外延及電子結(jié)構(gòu)研究

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等使含有薄膜成分原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng),很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜。由于PECVD可以在低溫條件下較快生長二氧化硅,所以用PECVD生長二氧化薄膜被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體光電子器件、
2020-09-29 15:07:219585

8英寸!第四代半導(dǎo)體再突破,我國氧化研究取得系列進(jìn)展,產(chǎn)業(yè)化再進(jìn)一步

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2023-03-15 11:09:59

氧化物半導(dǎo)體甲烷敏感元件詳解

,有如下反應(yīng):42 (2) 上式表明,被氧俘獲的電子釋放出來,這樣半導(dǎo)體表面載流子濃度上升,從而半導(dǎo)體表面電阻率減小。三、氧化物半導(dǎo)體甲烷傳感器的研究進(jìn)展 盡管甲烷是分子結(jié)構(gòu)最簡單的一種碳?xì)?/div>
2018-10-24 14:21:10

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2016-10-21 13:51:08

電子元器件氧化膜電阻

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2013-07-15 16:47:00

薄膜體聲波濾波器原理與結(jié)構(gòu)

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2019-06-21 06:55:09

薄膜開關(guān)的類型

匯集于薄膜的某一處,并按設(shè)計(jì)指定的位置和標(biāo)準(zhǔn)的線距向外延伸,作為柔軟的、可任意彎曲的、密封的引出導(dǎo)線與整機(jī)的后置電路相連。 硬性薄膜硬性薄膜開關(guān)是指開關(guān)的圖形和線路是制作在普遍的印刷線路覆銅板上。硬性
2015-01-07 13:46:11

薄膜開關(guān)系統(tǒng)組成概述

回來,電路斷開,回路觸發(fā)一個(gè)信號(hào)。薄膜開關(guān)結(jié)構(gòu)嚴(yán)謹(jǐn),外形美觀,密封性好。具有防潮濕,使用壽命長等特點(diǎn)。廣泛應(yīng)用于電子通訊、電子測(cè)量的儀器,工業(yè)控制,醫(yī)療設(shè)備,汽車工業(yè),智能玩具,家用電器等領(lǐng)域。
2019-07-23 02:06:13

薄膜鋰電池的研究進(jìn)展

對(duì)LINIO2、LIMN2I4、LINIXCO1AXO2、V2O5也有較多的研究;固體電解質(zhì)膜方面以對(duì)LIPON膜的研究為主;陽極膜方面以對(duì)鋰金屬替代物的研究為主,比如錫和氮化物、氧化物以及非晶硅膜,研究多集中在循環(huán)交通的提高。在薄膜鋰電池結(jié)構(gòu)方面,三維結(jié)構(gòu)將是今后研究的一個(gè)重要方向。
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GaAs光電子有哪些應(yīng)用?

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2019-09-03 06:05:38

IFWS 2018:氮化功率電子器件技術(shù)分會(huì)在深圳召開

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2018-11-05 09:51:35

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2024-01-26 15:51:04

SEM如何看氧化層的厚度?

蘇試宜特實(shí)驗(yàn)室通過掃描電鏡看試樣氧化層的厚度,直接掰開看斷面,這樣準(zhǔn)確嗎?通過掃描電鏡看試樣氧化層的厚度,如果是玻璃或陶瓷這樣直接掰開看斷面是可以的;如果是金屬材料可能在切割時(shí),樣品結(jié)構(gòu)發(fā)生變化就不行了,所以要看是什么材料的氧化層。
2021-09-30 18:45:38

Verilog設(shè)計(jì)內(nèi)外延時(shí)

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為什么氮化(GaN)很重要?

% 的能源浪費(fèi),相當(dāng)于節(jié)省了 100 兆瓦時(shí)太陽能和1.25 億噸二氧化碳排放量。 氮化的吸引力不僅僅在于性能和系統(tǒng)層面的能源利用率的提高。當(dāng)我們發(fā)現(xiàn),制造一顆片氮化功率芯片,可以在生產(chǎn)制造環(huán)節(jié)減少80
2023-06-15 15:47:44

為什么氮化比硅更好?

,在半橋拓?fù)?b class="flag-6" style="color: red">結(jié)構(gòu)中結(jié)合了頻率、密度和效率優(yōu)勢(shì)。如有源鉗位反激式、圖騰柱PFC和LLC。隨著從硬開關(guān)拓?fù)?b class="flag-6" style="color: red">結(jié)構(gòu)到軟開關(guān)拓?fù)?b class="flag-6" style="color: red">結(jié)構(gòu)的改變,初級(jí)FET的一般損耗方程可以最小化,從而提升至10倍的高頻率。 氮化功率芯片前所未有的性能表現(xiàn),將成為第二次電力電子學(xué)革命的催化劑。
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為何碳化硅比氮化更早用于耐高壓應(yīng)用呢?

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氧化鈦白色和黑色的區(qū)別

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氧化二釩薄膜/電解液界面電化學(xué)研究

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什么是GaN透明晶體管?

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什么是RF MEMS?有哪些關(guān)鍵技術(shù)與器件?

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2019-08-01 06:17:43

什么是氮化功率芯片?

氮化(GaN)功率芯片,將多種電力電子器件整合到一個(gè)氮化芯片上,能有效提高產(chǎn)品充電速度、效率、可靠性和成本效益。在很多案例中,氮化功率芯片,能令先進(jìn)的電源轉(zhuǎn)換拓?fù)?b class="flag-6" style="color: red">結(jié)構(gòu),從學(xué)術(shù)概念和理論達(dá)到
2023-06-15 14:17:56

什么是氮化(GaN)?

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2019-07-31 06:53:03

什么是氮化(GaN)?

氮化,由(原子序數(shù) 31)和氮(原子序數(shù) 7)結(jié)合而來的化合物。它是擁有穩(wěn)定六邊形晶體結(jié)構(gòu)的寬禁帶半導(dǎo)體材料。禁帶,是指電子從原子核軌道上脫離所需要的能量,氮化的禁帶寬度為 3.4eV,是硅
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關(guān)于LED外延片生長

我想了解關(guān)于LED關(guān)于外延片生長的結(jié)構(gòu),謝謝
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分享一種有機(jī)可降解電路

的,有時(shí)甚至是有毒的材料,導(dǎo)致世界范圍內(nèi)嚴(yán)重的生態(tài)挑戰(zhàn)。此外,電子產(chǎn)品的生產(chǎn)制備過程中消耗了大量的比如銦等稀缺元素(銦氧化物已廣泛用于許多薄膜晶體管中,例如有源矩陣有機(jī)發(fā)光二極管背板,射頻識(shí)...
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如何解決紫銅編織帶氧化問題!

的存在,致使金屬腐蝕的時(shí)候形成致密結(jié)構(gòu),也叫薄膜。因此改變了金屬的表面狀態(tài),使金屬的電極電位向正方向改變,形成耐腐的鈍態(tài)。 2、防銹油:防銹油是利用油膜封閉金屬表面的氣孔,達(dá)到隔離與氧氣接觸,從而
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2009-03-16 09:26:3317

聚吡咯/二氧化鈦復(fù)合氨敏薄膜的制備及特性研究

采用靜電力自組裝和原位化學(xué)氧化聚合相結(jié)合的方法制備了聚吡咯/納米二氧化鈦(PPy/TiO2)復(fù)合薄膜,并進(jìn)行了表面電阻測(cè)試及紫外–可見光譜分析、原子力顯微鏡分析。利用平面叉
2009-05-12 21:38:2717

多孔Al2O3薄膜感濕材料的濕敏特性研究

通過對(duì)陽極氧化多孔Al2O3 薄膜感濕材料的制備工藝及其電容濕敏特性進(jìn)行研究,將陽極氧化參數(shù)對(duì)多孔Al2O3 薄膜結(jié)構(gòu)和形態(tài)的影響與多孔Al2O3 薄膜作為濕度傳感器感濕材料的濕敏特
2009-06-22 11:24:5013

自旋閥結(jié)構(gòu)薄膜及其自由層的特性研究

自旋閥結(jié)構(gòu)薄膜及其自由層的特性研究劉 鵬(清華大學(xué)微電子學(xué)研究所,北京,100084)摘 要:基于自旋閥結(jié)構(gòu)的磁傳感器因其優(yōu)良的性能,在傳感器家族中具有越來越重要
2009-12-14 10:52:5534

GdFeCo/ TbFeCo 磁超分辨磁光記錄薄膜研究

GdFeCo/ TbFeCo 磁超分辨磁光記錄薄膜研究 用磁控濺射法制備了GdFeCo/ TbFeCo 交換耦合兩層薄膜,利用不同溫度的克爾磁滯回線和VSM 磁滯回線研究了讀出層( GdFeCo)
2010-02-22 15:31:1211

薄膜電子拉力試驗(yàn)機(jī)

。本文將介紹薄膜電子拉力試驗(yàn)機(jī)的原理、應(yīng)用及操作方法。二、薄膜電子拉力試驗(yàn)機(jī)的原理薄膜電子拉力試驗(yàn)機(jī)采用電子力學(xué)原理,通過高精度的力傳感器和精密的機(jī)械結(jié)構(gòu),對(duì)樣品
2023-10-25 16:03:00

美國深特公司獨(dú)特的超薄膜氧化鋁(HTF)水分傳感器技術(shù)

美國深特公司獨(dú)特的超薄膜氧化鋁(HTF)水分傳感器技術(shù)是在薄膜技術(shù)和氧化金屬學(xué)的基礎(chǔ)上發(fā)展而來,利用此技術(shù)制造的傳感器的測(cè)量靈敏性要遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于利用其它技術(shù)制造的傳感器,
2011-01-01 22:47:0925

熱壁外延(HWE)在導(dǎo)電玻璃上生長GaAs薄膜

熱壁外延(HWE)在導(dǎo)電玻璃上生長GaAs薄膜引 言  目前,太陽電池應(yīng)用最大的障礙就是成本高,世界商品化生產(chǎn)的太陽電池主要是單晶硅、多晶硅和非晶硅電池
2009-02-23 21:30:571108

硅單晶(或多晶)薄膜的沉積

硅單晶(或多晶)薄膜的沉積 硅(Si)單晶薄膜是利用氣相外延(VPE)技術(shù),在一塊單晶Si 襯底上沿其原來的結(jié)晶軸方向,生長一層導(dǎo)電類型
2009-03-09 13:23:416889

硅基GaN藍(lán)光LED外延材料轉(zhuǎn)移前后性能

利用外延片焊接技術(shù),把Si(111)襯底上生長的GaN藍(lán)光LED外延材料壓焊到新的Si襯底上.在去除原Si襯底和外延材料中緩沖層后,制備了垂直結(jié)構(gòu)GaN藍(lán)光LED.與外延材料未轉(zhuǎn)移的同側(cè)結(jié)構(gòu)相比,轉(zhuǎn)移
2011-04-14 13:29:3429

海洋薄膜發(fā)布PixelTec系列高性能圖案式氧化銦錫涂層

海洋薄膜(Ocean Thin Films)現(xiàn)發(fā)布其用于氧化銦錫(ITO)薄膜上的獨(dú)有的 PixelTecTM 圖案式光學(xué)涂層技術(shù)。
2011-10-10 09:58:44669

氧化物無機(jī)半導(dǎo)體材料的光電效應(yīng)及其應(yīng)用

本文將著重介紹氧化物無機(jī) 半導(dǎo)體材料 的光電化學(xué)研究領(lǐng)域的一些新進(jìn)展. 本文簡述了二氧化薄膜氧化薄膜、ZnO/TiO 復(fù)合涂層、SnO2: F 薄膜的發(fā)展概況及應(yīng)用
2011-11-01 17:49:4847

壓電薄膜的制備、結(jié)構(gòu)與應(yīng)用

壓電薄膜的制備、結(jié)構(gòu)與應(yīng)用
2017-10-17 14:16:1229

薄膜電容器結(jié)構(gòu)及分類

薄膜電容(Film Capacitor)器又稱塑料薄膜電容(Plastic Film Capacitor)。其以塑料薄膜為電介質(zhì)。 薄膜電容器結(jié)構(gòu) 薄膜電容內(nèi)部構(gòu)成方式主要是: 以金屬箔片(或者是
2017-12-01 17:16:4510905

微弧氧化脈沖電源的介紹和設(shè)計(jì)研究

微弧氧化是在金屬及其合金表面生成陶瓷膜的一種表面處理技術(shù),微弧氧化生成的陶瓷膜具有耐高溫、耐腐蝕、耐磨損、絕緣等優(yōu)良性能,在航天、航空、汽車、電子、造船等領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。微弧氧化已經(jīng)成為一個(gè)研究熱點(diǎn),電源是制約微弧氧化發(fā)展的一個(gè)重要因素,本文針對(duì)微弧氧化電源展開研究。
2018-11-26 08:00:006

中科院在石墨烯外延深紫外LED研究中取得新進(jìn)展

中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所照明研發(fā)中心與北京大學(xué)納米化學(xué)研究中心、北京石墨烯研究院劉忠范團(tuán)隊(duì)合作,開發(fā)出了石墨烯/藍(lán)寶石新型外延襯底,并提出了等離子體預(yù)處理改性石墨烯,促進(jìn)AlN薄膜生長實(shí)現(xiàn)深紫外LED的新策略。
2019-04-26 11:06:262919

薄膜開關(guān)有哪些特性_薄膜開關(guān)的應(yīng)用領(lǐng)域

薄膜開關(guān)是整體結(jié)構(gòu)密封,不易氧化,具有良好的防水、防塵、防油、防有害氣體侵蝕的特點(diǎn),適合用于各種惡劣環(huán)境。
2019-11-14 11:53:072774

薄膜氧化物半導(dǎo)體評(píng)估系統(tǒng)的系統(tǒng)概述

本文介紹了用μ-PCD方法對(duì)氧化物半導(dǎo)體薄膜晶體管的遷移率和Vth漂移的評(píng)價(jià)結(jié)果。
2021-12-20 15:22:23855

氧化鋅半導(dǎo)體在酸溶液中濕性能的研究

引言 近年來,氧化薄膜因其低成本、低光敏性、無環(huán)境問題、特別是高遷移率而被研究作為薄膜晶體管中的有源層來代替非晶硅。此外,氧化鋅的低溫制造使得在塑料薄膜上制造成為可能。氧化鋅(ZnO)半導(dǎo)體由于
2022-01-06 13:47:53582

關(guān)于氧化鋅半導(dǎo)體在酸溶液中的濕刻蝕研究

引言 氧化鋅(ZnO)半導(dǎo)體由于在低沉積溫度下具有高電子遷移率,非常適用于有機(jī)發(fā)光二極管器件。其作為一種新的半導(dǎo)體層取代了薄膜晶體管中使用的非晶硅半導(dǎo)體,在表征方面取得了重大進(jìn)展。氧化鋅的濕法圖形化
2022-01-14 13:15:45872

紫外輔助清洗對(duì)非晶氧化物半導(dǎo)體薄膜晶體管穩(wěn)定性的影響

薄膜晶體管TFTs采用氧化鋅等非晶氧化物半導(dǎo)體,如ZnO, Ga-In-Zn-O, or Hf-InZn-O HIZO,由于其在平板顯示器上的高應(yīng)用潛力,目前是深入研究的課題。由于其相對(duì)于
2022-01-14 13:54:35434

關(guān)于薄膜光伏組件中的腐蝕效應(yīng)的研究報(bào)告

引言 對(duì)于在涂有氧化錫的玻璃基板上制造的薄膜光伏組件中,有時(shí)會(huì)觀察到電化學(xué)腐蝕效應(yīng)。電化學(xué)腐蝕效應(yīng)可能發(fā)生在薄膜光伏(PV)模塊中,這些組件在氧化錫鍍覆玻璃上制造,在高壓和高溫下工作。目前的研究表明
2022-01-17 13:27:47589

用濕化學(xué)工藝制備的超薄氧化結(jié)構(gòu)

近十年來,濕化學(xué)法制備超薄二氧化硅/硅和超薄二氧化硅/硅結(jié)構(gòu)的技術(shù)和研究取得了迅速發(fā)展。這種結(jié)構(gòu)最重要是與大尺寸硅晶片上氧化物層的均勻生長有關(guān)。
2022-03-11 13:57:22828

通過濕法化學(xué)刻蝕制備多孔氧化薄膜

)、掃描電子顯微鏡(SEM)和光致發(fā)光(PL)光譜進(jìn)行表征,以允許對(duì)它們的結(jié)構(gòu)和光學(xué)性質(zhì)進(jìn)行檢查。XRD結(jié)果表明,當(dāng)薄膜在不同的氫氮濃度下刻蝕不同的時(shí)間時(shí),ZnO的強(qiáng)度降低。上述觀察歸因于氧化鋅的溶解
2022-04-24 14:58:20930

多孔ZnO薄膜表面形貌和粗糙度的研究

本文介紹了我們?nèi)A林科納研究了蝕刻時(shí)間和氧化劑對(duì)用氫氧化銨(銨根OH)形成的多孔氧化鋅(氧化鋅)薄膜的表面形貌和表面粗糙度的影響。在本工作中,射頻磁控管濺射的ZnO薄膜在氫氧化銨(NH4OH)溶液中腐蝕,全面研究了刻蝕時(shí)間和添加H2O2溶液對(duì)多孔ZnO薄膜表面形貌和粗糙度的影響。
2022-05-09 15:19:34563

采用射頻磁控濺射系統(tǒng)制備氧化薄膜

本文介紹了我們?nèi)A林科納采用射頻磁控濺射系統(tǒng),在襯底溫度為275°C的氬氣氣氛下,在玻璃襯底上制備了氧化薄膜,將沉積的氧化薄膜在稀釋的鹽酸中蝕刻,制備出表面紋理的氧化鋅。研究了合成膜的形貌、光學(xué)和電學(xué)性質(zhì)對(duì)蝕刻劑濃度的影響,得到了具有良好捕光特性的高效表面紋理氧化薄膜
2022-05-09 17:01:311343

基于ITO導(dǎo)電薄膜的雷達(dá)/紅外兼容隱身輕質(zhì)超材料結(jié)構(gòu)

據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,近期,一支由中國礦業(yè)大學(xué)、中國空間技術(shù)研究院、哈爾濱工業(yè)大學(xué)的研究人員組成的團(tuán)隊(duì)設(shè)計(jì)并研制出一種基于超材料的寬帶微波/紅外兼容隱身結(jié)構(gòu)器件,該結(jié)構(gòu)包括基于氧化銦錫(ITO)薄膜制備
2022-09-28 09:50:362397

半導(dǎo)體之選擇性外延工藝介紹

通過圖形化硅氧化或氮化硅掩蔽薄膜生長,可以在掩蔽膜和硅暴露的位置生長外延層。這個(gè)過程稱為選擇性外延生長(SEG)。
2022-09-30 15:00:385893

二維半導(dǎo)體薄膜在任意表面的異質(zhì)外延技術(shù)

二維半導(dǎo)體薄膜在任意表面的異質(zhì)外延技術(shù) 上海超級(jí)計(jì)算中心用戶北京大學(xué)陳基研究員與合作者提出了一種在不同晶體對(duì)稱性、不同晶格常數(shù)和三維架構(gòu)基底上異質(zhì)外延生長半導(dǎo)體2H-MoTe2薄膜的通用合成技術(shù)
2022-10-19 20:20:571531

卷繞式和疊片式薄膜電容有什么區(qū)別?薄膜電容器的結(jié)構(gòu)介紹

如果按薄膜電容的內(nèi)部結(jié)構(gòu)來劃分,我們可以把薄膜電容分為卷繞式結(jié)構(gòu)和疊片式結(jié)構(gòu),如果沒有見過薄膜電容生產(chǎn)過程的人,估計(jì)很難想象它們內(nèi)部到底有什么區(qū)別,今天就來用詳細(xì)的圖片介紹薄膜電容的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。
2022-11-28 16:07:031290

嵌入式源漏選擇性外延(Embedded Source and Drain Selective Epitaxy)

源漏選擇性外延一般采用氮化硅或二氧化硅作為硬掩模遮蔽層,利用刻蝕氣體抑制遮蔽層上的外延生長,僅在曝露出硅的源漏極區(qū)域?qū)崿F(xiàn)外延生長。
2022-11-29 16:05:151708

國產(chǎn)氧化研究,取得新進(jìn)展

如何開發(fā)出有效的邊緣終端結(jié)構(gòu),緩解肖特基電極邊緣電場(chǎng)是目前氧化鎵肖特基二極管研究的熱點(diǎn)。由于氧化鎵P型摻雜目前尚未解決,PN結(jié)相關(guān)的邊緣終端結(jié)構(gòu)一直是難點(diǎn)。
2022-12-21 10:21:58557

硅基氮化鎵外延片是什么 硅基氮化鎵外延片工藝

氮化鎵外延片指采用外延方法,使單晶襯底上生長一層或多層氮化鎵薄膜而制成的產(chǎn)品。近年來,在國家政策支持下,我國氮化鎵外延片行業(yè)規(guī)模不斷擴(kuò)大。
2023-02-06 17:14:353012

GaN HEMT外延材料表征技術(shù)研究進(jìn)展

氮化鎵 ( GaN) 作為第三代半導(dǎo)體材料的典型代表,具有高擊穿電場(chǎng)強(qiáng)度和高熱導(dǎo)率 等優(yōu)異的物理特性,是制作高頻微波器件和大功率電力電子器件的理想材料。GaN 外延材料的 質(zhì)量決定了高電子遷移率
2023-02-20 11:47:22876

一文解析氧化鎵襯底的長晶與外延工藝

氧化鎵能帶結(jié)構(gòu)的價(jià)帶無法有效進(jìn)行空穴傳導(dǎo),因此難以制造P型半導(dǎo)體。近期斯坦福、復(fù)旦等團(tuán)隊(duì)已在實(shí)驗(yàn)室實(shí)現(xiàn)了氧化鎵P型器件,預(yù)計(jì)將逐步導(dǎo)入產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。
2023-02-27 18:06:43944

氮化鎵(GaN)的晶體結(jié)構(gòu)與性質(zhì)

到目前為止我們已知的GaN有三種晶體結(jié)構(gòu),它們分別為纖鋅礦(Wurtzite)、閃鋅礦(Zincblende)和巖鹽礦(Rocksalt)。通常的情況下纖鋅礦是最穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)。目前學(xué)術(shù)上在薄膜外延
2023-04-29 16:41:0012113

SiC外延工藝基本介紹

外延層是在晶圓的基礎(chǔ)上,經(jīng)過外延工藝生長出特定單晶薄膜,襯底晶圓和外延薄膜合稱外延片。其中在導(dǎo)電型碳化硅襯底上生長碳化硅外延層制得碳化硅同質(zhì)外延片,可進(jìn)一步制成肖特基二極管、MOSFET、 IGBT 等功率器件,其中應(yīng)用最多的是4H-SiC 型襯底。
2023-05-31 09:27:092828

介電常數(shù)對(duì)薄膜陶瓷基板性能的影響研究

近年來,薄膜陶瓷基板在電子器件中的應(yīng)用逐漸增多。在制備和應(yīng)用過程中,介電常數(shù)是一個(gè)極其重要的參數(shù),不同介電常數(shù)的薄膜陶瓷基板在性能方面存在較大差異。本文旨在研究介電常數(shù)對(duì)薄膜陶瓷基板性能的影響,為薄膜陶瓷基板的制備和應(yīng)用提供理論依據(jù)和實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)。
2023-06-21 15:13:35632

異質(zhì)外延單晶金剛石及其相關(guān)電子器件的研究進(jìn)展

金剛石異質(zhì)外延已發(fā)展 30 年有余,而基于 Ir 襯底的大面積、高質(zhì)量的異質(zhì)外延單晶金剛石已取得較大進(jìn)展。本文主要從關(guān)于異質(zhì)外延單晶金剛石及其電子器件兩個(gè)方面對(duì)異質(zhì)外延單晶金剛石的發(fā)展進(jìn)行了闡述。
2023-07-12 15:22:23845

液相外延碲鎘汞薄膜缺陷綜述

液相外延是碲鎘汞(MCT)薄膜生長領(lǐng)域最成熟的一種方法,被眾多紅外探測(cè)器研究機(jī)構(gòu)和生產(chǎn)商所采用。
2023-08-07 11:10:20734

氧化薄膜外延電子結(jié)構(gòu)研究

氧化鎵(Ga2O3)半導(dǎo)體具有4.85 eV的超寬帶隙、高的擊穿場(chǎng)強(qiáng)、可低成本制作大尺寸襯底等突出優(yōu)點(diǎn)。
2023-08-17 14:24:16412

深紫外透明導(dǎo)電Si摻雜氧化鎵異質(zhì)外延薄膜研究

近年來,氧化鎵(Ga2O3)半導(dǎo)體受到世界各國科研和產(chǎn)業(yè)界的普遍關(guān)注。氧化鎵具有4.9 eV的超寬禁帶,高于第三代半導(dǎo)體碳化硅(SiC)的3.2 eV和氮化鎵(GaN)的3.39 eV。
2023-09-11 10:24:44266

Si(111)襯底上脈沖激光沉積AlN外延薄膜的界面反應(yīng)控制及其機(jī)理

通過有效控制AlN薄膜與Si襯底之間的界面反應(yīng),利用脈沖激光沉積(PLD)在Si襯底上生長高質(zhì)量的AlN外延薄膜。英思特對(duì)PLD生長的AlN/Si異質(zhì)界面的表面形貌、晶體質(zhì)量和界面性能進(jìn)行了系統(tǒng)研究
2023-11-23 15:14:40232

三種碳化硅外延生長爐的差異

碳化硅襯底有諸多缺陷無法直接加工,需要在其上經(jīng)過外延工藝生長出特定單晶薄膜才能制作芯片晶圓,這層薄膜便是外延層。幾乎所有的碳化硅器件均在外延材料上實(shí)現(xiàn),高質(zhì)量的碳化硅同質(zhì)外延材料是碳化硅器件研制的基礎(chǔ),外延材料的性能直接決定了碳化硅器件性能的實(shí)現(xiàn)。
2023-12-15 09:45:53607

薄膜電容的工藝與結(jié)構(gòu)介紹

薄膜電容是一種常見的電子元件,其具有體積小、重量輕、容量大、可靠性高等優(yōu)點(diǎn),廣泛應(yīng)用于各種電子設(shè)備中。薄膜電容的工藝與結(jié)構(gòu)對(duì)其性能和可靠性有著重要的影響。本文將對(duì)薄膜電容的工藝與結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)的介紹
2024-01-10 15:41:54444

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