國內(nèi)碳化硅襯底生產(chǎn)企業(yè)盤點

SiC碳化硅是由碳元素和硅元素組成的一種化合物半導(dǎo)體材料，是制作高溫、高頻、大功率、高壓器件的理想材料之一。

在碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈中，碳化硅襯底制造是碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈技術(shù)壁壘最高、價值量最大的環(huán)節(jié)，是未來碳化硅大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化推進(jìn)的核心環(huán)節(jié)。

碳化硅襯底的生產(chǎn)流程包括長晶、切片、研磨和拋光四個環(huán)節(jié)。

為讓大家更加了碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈，今天給大家盤點一下國內(nèi)碳化硅襯底生產(chǎn)企業(yè)，據(jù)初步統(tǒng)計，國內(nèi)共20余家碳化硅襯底企業(yè)，主要分布在浙江、廣東、山西等地。

如后是各企業(yè)的簡單介紹，以下排名不分先后，如有遺漏，歡迎加群補充。

山東天岳先進(jìn)科技股份有限公司（688234）

公司成立于 2010 年，主營業(yè)務(wù)是寬禁帶半導(dǎo)體（第三代半導(dǎo)體）碳化硅襯底材料的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，產(chǎn)品可應(yīng)用于微波電子、電力電子等領(lǐng)域。

碳化硅半導(dǎo)體材料項目計劃于 2026 年實現(xiàn)全面達(dá)產(chǎn)，對應(yīng) 6 英寸導(dǎo)電型 SiC 襯底產(chǎn)能為 30 萬片/年。公司已經(jīng)實現(xiàn)6英寸導(dǎo)電型襯底、6英寸半絕緣型襯底、4英寸半絕緣襯底等產(chǎn)品的批量供應(yīng)。

據(jù)2022年年報披露公司2022年碳化硅襯底年產(chǎn)量為71,147片。2022年，公司通過前期持續(xù)自主擴(kuò)徑，已制備高品質(zhì)8英寸導(dǎo)電型碳化硅襯底。

在 8 英寸產(chǎn)品布局上，公司具備量產(chǎn) 8 英寸產(chǎn)品能力，報告期內(nèi)已開展客戶送樣驗證，并實現(xiàn)了小批量銷售，預(yù)期產(chǎn)銷規(guī)模將持續(xù)擴(kuò)大。

2022-07-25 公司與某客戶簽訂了長期銷售合同，約定2023年至2025年，公司及公司全資子公司上海天岳半導(dǎo)體材料有限公司,向其銷售6英寸導(dǎo)電型碳化硅襯底產(chǎn)品，按照合同約定的年度基準(zhǔn)單價預(yù)測（美元兌人民幣匯率以6.7折算），三年合計銷售金額預(yù)計將達(dá)到人民幣13.93億元（含稅）。

2023-05-03 山東天岳先進(jìn)科技股份有限公司（688234.SH）與德國半導(dǎo)體制造商英飛凌科技股份公司簽訂了一項新的襯底和晶棒供應(yīng)協(xié)議。根據(jù)該協(xié)議，天岳先進(jìn)將為英飛凌供應(yīng)用于制造碳化硅半導(dǎo)體的高質(zhì)量并且有競爭力的150毫米碳化硅襯底和晶棒，第一階段將側(cè)重于150毫米碳化硅材料，但天岳先進(jìn)也將助力英飛凌向200毫米直徑碳化硅晶圓過渡。

2. 北京天科合達(dá)半導(dǎo)體股份有限公司

北京天科合達(dá)半導(dǎo)體股份有限公司是國內(nèi)首家專業(yè)從事第三代半導(dǎo)體碳化硅（SiC）晶片研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的國家級高新技術(shù)企業(yè)。公司為全球SiC晶片的主要生產(chǎn)商之一。

2023年8月8日上午，公司全資子公司江蘇天科合達(dá)半導(dǎo)體有限公司（簡稱“江蘇天科合達(dá)”）碳化硅晶片二期擴(kuò)產(chǎn)項目開工活動在徐州市經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)成功舉辦。江蘇天科合達(dá)二期項目將新增16萬片產(chǎn)能，并計劃明年6月份建設(shè)完成，同年8月份竣工投產(chǎn)，屆時江蘇天科合達(dá)總產(chǎn)能將達(dá)到23萬片。

英飛凌科技股份公司（FSE代碼：IFX / OTCQX代碼：IFNNY）正推動其碳化硅（SiC）供應(yīng)商體系多元化，并與中國碳化硅供應(yīng)商北京天科合達(dá)半導(dǎo)體股份有限公司（以下簡稱“天科合達(dá)”）簽訂了一份長期協(xié)議，以確保獲得更多而且具有競爭力的碳化硅材料供應(yīng)。天科合達(dá)將為英飛凌供應(yīng)用于制造碳化硅半導(dǎo)體產(chǎn)品的高質(zhì)量并且有競爭力的150毫米碳化硅晶圓和晶錠，其供應(yīng)量預(yù)計將占到英飛凌長期需求量的兩位數(shù)份額。

根據(jù)該協(xié)議，第一階段將側(cè)重于150毫米碳化硅材料的供應(yīng)，但天科合達(dá)也將提供200毫米直徑碳化硅材料，助力英飛凌向200毫米直徑晶圓的過渡。

2022年11月15日，天科合達(dá)發(fā)布8英寸導(dǎo)電碳化硅襯底晶片。8英寸導(dǎo)電碳化硅襯底晶片由北京天科合達(dá)半導(dǎo)體股份有限公司生產(chǎn)，主要應(yīng)用新能源汽車、光伏等領(lǐng)域。天科合達(dá)8英寸導(dǎo)電型碳化硅產(chǎn)品的多項指標(biāo)均處于行業(yè)內(nèi)領(lǐng)先水平，已經(jīng)達(dá)到了量產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)，8英寸的小規(guī)模量產(chǎn)定在2023年。

3.? 山西爍科晶體有限公司

山西爍科晶體有限公司成立于2018年，位于山西省太原市山西綜改示范區(qū)，是國內(nèi)從事第三代半導(dǎo)體材料碳化硅生產(chǎn)和研發(fā)的領(lǐng)軍企業(yè)。

4英寸高純半絕緣SiC襯底已實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，月產(chǎn)能可達(dá)8000片，且在國內(nèi)市場占有率超過50%。2022年在高純半絕緣襯底穩(wěn)定生產(chǎn)的前提下，大幅度提升了6英寸N型襯底的產(chǎn)能，截至到去年年底已經(jīng)達(dá)到6000片/月。

2021年8月，山西爍科晶體有限公司成功研制出8英寸碳化硅晶體，解決大尺寸單晶制備的重要難題。

2022年1月，公司再次取得重大突破，實現(xiàn)8英寸N型碳化硅拋光片小批量生產(chǎn)，向8英寸國產(chǎn)N型碳化硅拋光片的批量化生產(chǎn)邁出了關(guān)鍵一步。

4.? 三安光電股份有限公司（600703）

公司主要從事化合物半導(dǎo)體材料與器件的研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，以氮化鎵、砷化鎵、碳化硅、磷化銦、氮化鋁、藍(lán)寶石等化合物半導(dǎo)體新材料所涉及的外延片、芯片為核心主業(yè)。

據(jù)2022年年報披露公司碳化硅產(chǎn)能已達(dá) 12,000 片/月，硅基氮化鎵產(chǎn)能 2,000 片/月，湖南三安二期工程將于2023 年貫通，達(dá)產(chǎn)后配套年產(chǎn)能將達(dá)到 36 萬片，襯底已通過幾家國際大客戶驗證，其中一家實現(xiàn)批量出貨，且 2023 年、2024 年供應(yīng)已基本鎖定。

湖南三安半導(dǎo)體有限責(zé)任公司半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)化項目主要從事碳化硅、硅基氮化鎵等第三代化合物半導(dǎo)體的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化，包括長晶—襯底制作—外延生長—芯片制備—封裝產(chǎn)業(yè)鏈。

9月6-8日，湖南三安攜碳化硅全產(chǎn)業(yè)鏈產(chǎn)品亮相SEMICON Taiwan 2023國際半導(dǎo)體展。湖南三安針對新能源行業(yè)的發(fā)展痛點，于展會上推出650V-1700V寬電壓范圍的SiC MOSFET，同時，三安還發(fā)布了適用于電力電子的8英寸碳化硅襯底。

6月7日，中國化合物半導(dǎo)體龍頭公司三安光電與全球排名前列的半導(dǎo)體龍頭公司意法半導(dǎo)體聯(lián)合宣布：雙方已簽署協(xié)議，擬在中國重慶共同建立一個新的8英寸碳化硅器件合資制造工廠。同時，三安光電將在當(dāng)?shù)鬲氋Y建立一個8英寸碳化硅襯底工廠作為配套。

該合資項目公司將由三安光電控股，暫定名為“三安意法半導(dǎo)體(重慶)有限公司”，其中由三安光電全資子公司湖南三安持股51%，意法半導(dǎo)體（中國）投資有限公司持股49%。項目預(yù)計投資總額達(dá)32億美元，待監(jiān)管部門批準(zhǔn)后即開工建設(shè)，計劃于2025年第四季度開始生產(chǎn)，預(yù)計將于2028年全面落成，將采用意法半導(dǎo)體的碳化硅專利制造工藝技術(shù)，達(dá)產(chǎn)后可生產(chǎn)8吋碳化硅晶圓10,000片/周。三安光電獨資在重慶設(shè)立的8英寸碳化硅襯底工廠計劃投資約70億元，將利用自有的碳化硅襯底工藝單獨建立和運營，以滿足合資工廠的襯底需求，并與其簽訂長期供應(yīng)協(xié)議。

5.? 杭州乾晶半導(dǎo)體有限公司

杭州乾晶半導(dǎo)體有限公司，2020年7月成立于浙江大學(xué)杭州國際科創(chuàng)中心，專注于第三代半導(dǎo)體材料領(lǐng)域，是一家集半導(dǎo)體碳化硅單晶生長、晶片加工和設(shè)備開發(fā)為一體的高新技術(shù)企業(yè)。

2023年5月18日，浙大杭州科創(chuàng)中心先進(jìn)半導(dǎo)體研究院-杭州乾晶半導(dǎo)體聯(lián)合實驗室成功研制8英寸導(dǎo)電型碳化硅。

采用多段式電阻加熱的物理氣相傳輸（PVT）法生長了厚度達(dá)27毫米的8英寸n型碳化硅單晶錠，并加工獲得了8英寸碳化硅襯底片，成功躋身于8英寸碳化硅俱樂部。

2023年4月12日上午8點38分，乾晶半導(dǎo)體“功率器件用6/8英寸碳化硅拋光襯底研發(fā)、中試項目”于衢州市東港八路建設(shè)地塊隆重舉行。

乾晶半導(dǎo)體碳化硅拋光襯底研發(fā)/中試項目，總占地面積22畝，總建筑面積約19000平方米，總投資約3億元，計劃建成碳化硅6/8英寸單晶生長和襯底加工的中試基地，是衢州市重點招商引資的“乾晶半導(dǎo)體（衢州）有限公司年產(chǎn)60萬片碳化硅襯底材料項目”的第一期。

6.? 露笑半導(dǎo)體材料有限公司（002617）

合肥露笑半導(dǎo)體材料有限公司成立于2020年，公司目前注冊資金5.75億元，是一家專注第三代功率半導(dǎo)體材料碳化硅晶體生長、襯底片、外延片研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的高科技企業(yè)。

2021年11月7日，露笑科技發(fā)布公告稱，合肥露笑半導(dǎo)體一期已完成主要設(shè)備的安裝調(diào)試，進(jìn)入 正式投產(chǎn)階段。后續(xù)公司會根據(jù)市場訂單情況及一期投產(chǎn)情況完成產(chǎn)能的進(jìn)一步擴(kuò)張。

項目總投資100億元，占地面積88畝，主要建設(shè)第三代功率半導(dǎo)體（碳化硅）的設(shè)備制造、長晶生產(chǎn)、襯底加工、外延制作等產(chǎn)業(yè)鏈的研發(fā)和生產(chǎn)基地。

項目分三期建設(shè)，一期預(yù)計投資21億元，建成達(dá)產(chǎn)后，可形成年產(chǎn)24萬片導(dǎo)電型碳化硅襯底片和5萬片外延片的生產(chǎn)能力；二期預(yù)計投資39億元，建成達(dá)產(chǎn)后，將形成年產(chǎn)10萬片6英寸外延片和年產(chǎn)10萬片8英寸襯底片生產(chǎn)能力；三期預(yù)計投資40億元，達(dá)產(chǎn)后將形成年產(chǎn)10萬片8英寸外延片和年產(chǎn)15萬片8英寸襯底片生產(chǎn)能力。

2023年8月24日 半年報公告披露2020年度非公開發(fā)行股票的募投項目“新建碳化硅襯底片產(chǎn)業(yè)化項目”、“碳化硅研發(fā)中心項目”予以終止，并將剩余募集資金用于永久補充流動資金。

7. 浙江東尼電子股份有限公司（603595）

東尼通過多年的技術(shù)沉淀和前期的市場調(diào)研，引進(jìn)了領(lǐng)軍型創(chuàng)新團(tuán)隊，專注于碳化硅半導(dǎo)體材料研究。其中項目負(fù)責(zé)人擁有豐富的碳化硅單晶襯底材料制備經(jīng)驗，團(tuán)隊成員包括彼得辛格博士、肯尼斯博士等。

東尼采用的前沿技術(shù)突破了碳化硅單晶材料的大直徑生長、多型控制、應(yīng)力和位錯缺陷降低等關(guān)鍵問題，解決了碳化硅晶體生長缺陷數(shù)量的控制和晶體品質(zhì)的瓶頸問題，從而得到高質(zhì)量、大尺寸的碳化硅單晶材料。

2022年報顯示，2022年，東尼電子半導(dǎo)體業(yè)務(wù)營收1676.56萬元，營業(yè)成本2042.13萬元，毛利率為-21.81%。公司2022年生產(chǎn)碳化硅襯底6750片，銷售碳化硅襯底4190片。

2023年1月9日，公司子公司東尼半導(dǎo)體與下游客戶T簽訂《采購合同》，約定東尼半導(dǎo)體2023年向該客戶交付6英寸碳化硅襯底13.50萬片，含稅銷售金額合計人民幣6.75億元；2024年、2025年分別向該客戶交付6英寸碳化硅襯底30萬片和50萬片。24年定價4750/片，25年定價4510/片，長約訂單為三年43.55億。

2022年11月11日，東尼電子(603595.SH)在業(yè)績說明會上表示，9月，公司子公司東尼半導(dǎo)體與下游客戶簽訂《采購合同》，約定東尼半導(dǎo)體向該客戶交付6寸碳化硅襯底2萬片，含稅銷售金額合計人民幣1億元。目前公司正處于量產(chǎn)交貨階段，根據(jù)現(xiàn)有機(jī)臺產(chǎn)能情況，綜合良率在60%左右。

8.? 廣州南砂晶圓半導(dǎo)體技術(shù)有限公司

廣州南砂晶圓半導(dǎo)體技術(shù)有限公司成立于2018年9月，是一家從事碳化硅單晶材料研發(fā)、生產(chǎn)和銷售三位一體的國家高新技術(shù)企業(yè)。

2021年9月18日總部基地項目封頂?？偛炕仨椖靠偼顿Y9億元，用地面積36.8畝，規(guī)劃建筑面積91372.47㎡，項目建成穩(wěn)定運營后可年產(chǎn)碳化硅各類襯底片15萬片。

公司以山東大學(xué)近年來研發(fā)的最新碳化硅單晶生長和襯底加工技術(shù)成果為基礎(chǔ)，同山東大學(xué)開展全方位產(chǎn)學(xué)研合作。

2022年聯(lián)合山東大學(xué)晶體材料國家重點實驗室經(jīng)過多年的理論和技術(shù)攻關(guān)，實現(xiàn)了高質(zhì)量8英寸導(dǎo)電型4H-SiC單晶和襯底的制備。

9.? 浙江晶越半導(dǎo)體有限公司

現(xiàn)階段公司主要聚焦于6-8英寸導(dǎo)電型碳化硅襯底材料的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售。

2021-07-02 浙江紹興市生態(tài)環(huán)境局發(fā)布公告稱，受理了晶越半導(dǎo)體的碳化硅項目環(huán)評文件。據(jù)介紹，該項目一期擬投資約1.35億元，年1.2萬片6英寸SiC晶片，2021年將良率達(dá)產(chǎn)。

2020年6月20日，當(dāng)?shù)厥薪?jīng)開區(qū)與溢起投資合伙企業(yè)、高冰博士(團(tuán)隊)在上海正式簽署“晶越碳化硅晶圓項目”三方投資協(xié)議書。據(jù)悉，該項目簽約共分三期，總投資達(dá)100億元，一期投產(chǎn)后將具備月產(chǎn)1500片碳化硅晶圓的能力。

10.? 山東粵海金半導(dǎo)體科技有限公司

山東粵海金半導(dǎo)體科技有限公司（原名：山東國宏中能科技發(fā)展有限公司）山東國宏中能科技發(fā)展有限公司目前主要生產(chǎn)4英寸、6英寸4-H N型導(dǎo)電碳化硅襯底片和4-H半絕緣碳化硅襯底片。

在工藝技術(shù)上依托中科鋼研、國宏中宇“第三代半導(dǎo)體材料制備關(guān)建共性技術(shù)北京市工程實驗室”的強大科研能力，已形成了具有自主知識產(chǎn)權(quán)的關(guān)鍵核心技術(shù)體系。

山東國宏中能年產(chǎn)11萬片碳化硅襯底片項目總投資6.5億元，總建筑面積3萬平方米。該項目于2020年2月入選山東省新舊動能轉(zhuǎn)換重大項目庫第一批優(yōu)選項目名單，是市、區(qū)兩級重點項目。通過在材料制備技術(shù)體系、核心裝備研制上的持續(xù)科研投入，同時緊密結(jié)合研發(fā)成果的產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)轉(zhuǎn)化，目前本項目已經(jīng)具備投產(chǎn)條件。

11.? 哈爾濱科友半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)裝備與技術(shù)研究院有限公司

公司是一家專注于第三代半導(dǎo)體裝備研發(fā)、襯底制作、器件設(shè)計、科研成果轉(zhuǎn)化的國家級高新技術(shù)企業(yè)，研發(fā)覆蓋半導(dǎo)體裝備研制、長晶工藝、襯底加工等多個領(lǐng)域。

已形成自主研發(fā)的6-8英寸碳化硅晶體生長關(guān)鍵技術(shù)及2-4英寸氮化鋁晶體生長關(guān)鍵技術(shù)，6英寸碳化硅晶體厚度成功突破40mm。

科友半導(dǎo)體現(xiàn)已正式步入產(chǎn)業(yè)化道路，現(xiàn)有長晶爐生產(chǎn)線1條，年產(chǎn)長晶爐200臺，高純石墨加工設(shè)備、高純度碳化硅原料制備設(shè)備各一套；6-8寸碳化硅晶體生產(chǎn)線1條，年產(chǎn)6-8寸碳化硅襯底10萬片。

科友半導(dǎo)體突破了8英寸SiC量產(chǎn)關(guān)鍵技術(shù)，在晶體尺寸、厚度、缺陷控制、生長速率、制備成本、及裝備穩(wěn)定性等方面取得可喜成績。

2023年4月，科友半導(dǎo)體8英寸SiC中試線正式貫通并進(jìn)入中試線生產(chǎn)，打破了國際在寬禁帶半導(dǎo)體關(guān)鍵材料的限制和封鎖。

目前，科友半導(dǎo)體突破了8英寸SiC量產(chǎn)關(guān)鍵技術(shù)，8英寸SiC中試線平均長晶良率已突破50%，晶體厚度15mm以上。

12.? 中國電子科技集團(tuán)

2020年中國電科（山西）碳化硅材料產(chǎn)業(yè)基地已經(jīng)實現(xiàn)4英寸晶片的大批量產(chǎn)，6英寸高純半絕緣碳化硅單晶襯底也已經(jīng)開始工程化驗證，為客戶提供小批量的產(chǎn)品試用，預(yù)計年底達(dá)到產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用與國際水平相當(dāng)。

2020年3月，中國電科（山西）碳化硅材料產(chǎn)業(yè)基地在山西轉(zhuǎn)型綜合改革示范區(qū)正式投產(chǎn)，第一批設(shè)備正式啟動?；匾黄陧椖靠扇菁{600臺碳化硅單晶生長爐，項目建成后將具備年產(chǎn)10萬片4-6英寸N型碳化硅單晶晶片、5萬片4-6英寸高純半絕緣型碳化硅單晶晶片的生產(chǎn)能力，是目前國內(nèi)最大的碳化硅材料產(chǎn)業(yè)基地。

13.? 安徽微芯長江半導(dǎo)體材料有限公司

安徽微芯長江半導(dǎo)體材料有限公司由上海申和投資有限公司、中國科學(xué)院上海硅酸鹽研究所、銅陵市國有資本運營控股集團(tuán)有限公司等投資建設(shè)，主要從事碳化硅錠、碳化硅片碳化硅材料及相關(guān)產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售。

2022年4月29在銅陵經(jīng)開區(qū)安徽微芯長江半導(dǎo)體材料公司的碳化硅晶體生產(chǎn)車間，來自中科院的專家技術(shù)團(tuán)隊正在對設(shè)備進(jìn)行安裝調(diào)試。微芯長江半導(dǎo)體項目預(yù)計今年6月份即可正式生產(chǎn)。

2021年11月27日，安徽微芯長江半導(dǎo)體材料有限公司舉行年產(chǎn)15萬片碳化硅晶圓片項目建設(shè)工程竣工儀式。

2020年，碳化硅單晶襯底研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項目順利開工，項目投資13.50億人民幣，建設(shè)工期4年，項目從2020年10月起至2024年10月止，計劃2021年3季度完成廠房建設(shè)和設(shè)備安裝調(diào)試，2021年12月底完成中試并開始試銷，投產(chǎn)后前3年生產(chǎn)負(fù)荷分別為33%、67%、100%。達(dá)成后預(yù)計年產(chǎn)4英寸碳化硅晶圓片3萬片、6英寸12萬片。

14.? 河北天達(dá)晶陽半導(dǎo)體技術(shù)股份有限公司

天達(dá)晶陽以北京天科合達(dá)半導(dǎo)體股份有限公司以中國科學(xué)院物理研究所、北京天科合達(dá)半導(dǎo)體股份有限公司為技術(shù)依托，采用的技術(shù)綜合實力在碳化硅單晶襯底行業(yè)排名國內(nèi)第一、世界第四，達(dá)到了國內(nèi)領(lǐng)先和國際先進(jìn)水平。

2022年4月再投資7.31億元，建設(shè)（擁有）400臺套完整（設(shè)備）的碳化硅晶體生產(chǎn)線。屆時，4-8英寸碳化硅晶片的年產(chǎn)能將達(dá)到12萬片。

2021年4月3日消息，清河經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)官方微信公眾號發(fā)布消息稱，目前，天達(dá)晶陽碳化硅單晶體項目正在進(jìn)行無塵車間改造，一期54臺碳化硅單晶生長爐已全部到場，30臺已安裝到位，預(yù)計4月底進(jìn)行調(diào)試。

15.? 中電化合物半導(dǎo)體有限公司

中電化合物公司是由華大半導(dǎo)體投資的一家做碳化硅SiC晶體、襯底、外延片和GaN外延片產(chǎn)品的材料制造企業(yè)，持股比例超過48.93%。

2023年6月，中電化合物宣布與韓國Power Master公司簽署了長期供應(yīng)SiC材料的協(xié)議，包括8吋。

2022年10月22日，中電化合物總投資10.5億元建設(shè)的寬禁帶半導(dǎo)體材料項目，并計劃在2021-2025年投入8億元資金。

中電化合物將分二期建設(shè)該項目：一期計劃投資2.2億元，租用杭州灣數(shù)字產(chǎn)業(yè)園1萬平方米廠房，二期征用土地70畝，形成年產(chǎn)8萬片4-6寸碳化硅襯底及外延片、碳化硅基氮化鎵N外延片生產(chǎn)能力。

16.? 山西天成半導(dǎo)體材料有限公司

山西天成半導(dǎo)體有限公司成立于2021年，經(jīng)營范圍包括半導(dǎo)體器件專用設(shè)備制造，電子專用材料研發(fā)，新興能源技術(shù)研發(fā)等。

2022年4月21日，山西天成半導(dǎo)體材料有限公司僅用半年時間將4英寸的碳化硅襯底，升級至6英寸碳化硅襯底，并即將投產(chǎn)。二期項目，包括廠房擴(kuò)建、設(shè)備擴(kuò)充以及構(gòu)建一條全自動線切割打磨拋光清洗加工線。項目完成后將為公司貢獻(xiàn)年產(chǎn)導(dǎo)電型和半絕緣型碳化硅襯底2萬片的生產(chǎn)能力。

目前二期廠房10000平米已接近驗收，規(guī)劃年產(chǎn)10萬片正分階段進(jìn)行中，預(yù)計2023年1月二期一單元建成，預(yù)計產(chǎn)能達(dá)到月產(chǎn)1000片，并已有客戶提前預(yù)定。

17.? 江蘇超芯星半導(dǎo)體有限公司

超芯星成立于2019年4月，總部位于江蘇南京，是國內(nèi)第一家專注于大尺寸碳化硅襯底產(chǎn)業(yè)化的公司，目前已經(jīng)實現(xiàn)6英寸碳化硅襯底的量產(chǎn)出貨。超芯星創(chuàng)始團(tuán)隊源自國際頂尖HTCVD法的Norstel公司，曾主導(dǎo)了1、2、3、4、6英寸碳化硅襯底的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化。

超芯星是國內(nèi)極少數(shù)具備國際競爭力的碳化硅襯底供應(yīng)商，目前公司6英寸碳化硅襯底已經(jīng)順利進(jìn)入美國一流器件廠商，這也是國內(nèi)碳化硅襯底公司在國際市場上的首次突破。為滿足全球市場的旺盛需求，公司正在有序交貨和積極擴(kuò)產(chǎn)，預(yù)計6-8英寸碳化硅襯底產(chǎn)能未來將提升至150萬片/年。

18.? 河北同光半導(dǎo)體股份有限公司

河北同光半導(dǎo)體成立于2012年，公司致力于SiC單晶襯底的研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，是國內(nèi)率先量產(chǎn)SiC單晶襯底的制造商之一，也是國際上少數(shù)同時掌握高純半絕緣襯底和導(dǎo)電型襯底制備技術(shù)的企業(yè)。

河北同光半導(dǎo)體歷經(jīng)2年多的研發(fā)，8英寸導(dǎo)電型碳化硅晶體樣品已經(jīng)出爐，工作人員正在攻關(guān)加工成碳化硅單晶襯底。預(yù)計這款新產(chǎn)品2023年底可實現(xiàn)小批量生產(chǎn)，將被客戶制為功率芯片。

2022年河北同光的碳化硅襯底產(chǎn)能約為10萬片/年，并規(guī)劃建設(shè)2000臺碳化硅晶體生長爐生長基地和年產(chǎn)60萬片碳化硅單晶襯底加工基地，預(yù)計2025年末達(dá)產(chǎn)。

19.? 合肥世紀(jì)金芯半導(dǎo)體有限公司

合肥世紀(jì)金芯半導(dǎo)體有限公司是一家致力于第三代半導(dǎo)體碳化硅功能材料研發(fā)與生產(chǎn)的技術(shù)企業(yè)。一期廠區(qū)位于合肥市高新區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)園A1棟具備含碳化硅單晶生長、晶體加工、材料表征為一體的生產(chǎn)線。

2022 年 9 月 9 日，合肥世紀(jì)金芯半導(dǎo)體有限公司年產(chǎn)3萬片6英寸碳化硅單晶襯底項目投產(chǎn)儀式在合肥市高新區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)園隆重舉行。據(jù)悉，世紀(jì)金芯產(chǎn)品目前已實現(xiàn)對下游客戶批量交付。

20.? 深圳市國碳半導(dǎo)體科技有限公司

深圳市國碳半導(dǎo)體科技有限公司成立于2020年，技術(shù)研發(fā)工作始于1990年，是一家致力于碳化硅襯底晶體生長、加工及關(guān)鍵設(shè)備的技術(shù)開發(fā)、生產(chǎn)及銷售的創(chuàng)新型企業(yè)。

目前項目6-8英寸碳化硅襯底研發(fā)已落地深圳市中清欣達(dá)膜技術(shù)研究院，公司計劃投資10億元，在深圳新建年產(chǎn)24萬片6寸碳化硅襯底生產(chǎn)線項目。

2022年10月16日國碳半導(dǎo)體車規(guī)級碳化硅襯底項目正式投產(chǎn)。

21.? 浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司

浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司成立于2012年，是一家快速成長的國家高新技術(shù)企業(yè)。公司采用國際領(lǐng)先的光學(xué)、半導(dǎo)體制備工藝技術(shù)，利用先進(jìn)的新型半導(dǎo)體材料加工設(shè)備，主要致力于GaN基LED芯片（圖形化）襯底及第三代半導(dǎo)體材料的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化。

2020年7月23日，金華博藍(lán)特電子材料有限公司第三代半導(dǎo)體碳化硅及用于Mini/Micro-LED顯示技術(shù)的大尺寸藍(lán)寶石襯底研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項目開工奠基儀式隆重舉行。

2019年12月2日，浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司與金華經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)就年產(chǎn)15萬片第三代半導(dǎo)體碳化硅襯底及年產(chǎn)200萬片用于Mini/Micro-LED顯示技術(shù)的大尺寸藍(lán)寶石襯底研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化合作項目舉行簽約儀式。

22.? 浙江晶盛機(jī)電股份有限公司

晶盛機(jī)電圍繞硅、藍(lán)寶石、碳化硅三大主要半導(dǎo)體材料開發(fā)一系列關(guān)鍵設(shè)備，并延伸至化合物襯底材料領(lǐng)域，為半導(dǎo)體、光伏行業(yè)提供全球極具競爭力的高端裝備和高品質(zhì)服務(wù)。

晶盛機(jī)電瞄準(zhǔn)碳化硅、藍(lán)寶石、金剛石等新材料領(lǐng)域，深化上下游產(chǎn)業(yè)鏈合作，向上游裝備制造和下游晶體材料深加工延伸，解決國家核心材料自主供給，保障國家戰(zhàn)略安全。晶盛機(jī)電掌握行業(yè)領(lǐng)先的8英寸碳化硅晶體生長技術(shù)，具備自主可控的大尺寸碳化硅晶體生長和加工技術(shù)。

23.? 寧波合盛新材料有限公司

寧波合盛新材料有限公司成立于2018年，為主板上市公司合盛硅業(yè)（股票代碼：SH.603260）旗下的全資子公司，是一家從事新材料及其產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售的高新技術(shù)企業(yè)。

公司致力于通過材料的更新?lián)Q代推動國家綠色能源發(fā)展、助力節(jié)能減排，為用戶創(chuàng)造輕便美好的生活，其中材料的開發(fā)主要基于硅元素在下游應(yīng)用的拓展及延伸，產(chǎn)品包括第三代半導(dǎo)體碳化硅晶片、高強度硅鋁復(fù)合材料及其輕量化構(gòu)件等，廣泛應(yīng)用于新能源汽車、太陽能光伏、物流運輸?shù)刃袠I(yè)。

24.? 深圳市重投天科半導(dǎo)體有限公司

深圳市重投天科半導(dǎo)體有限公司成立于2020年12月15日，是一家專業(yè)從事第三代半導(dǎo)體碳化硅（SiC）晶片研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的高新技術(shù)企業(yè)。

重投天科的成立是深圳市政府黨組（擴(kuò)大）會議審定通過的項目建設(shè)方案，是由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)有限公司、北京天科合達(dá)半導(dǎo)體股份有限公司、深圳市和合創(chuàng)芯微半導(dǎo)體合伙企業(yè)（有限合伙）以及產(chǎn)業(yè)資本出資構(gòu)成的項目實施主體。

25.? 北京晶格領(lǐng)域半導(dǎo)體有限公司

北京晶格領(lǐng)域半導(dǎo)體有限公司于2020年6月成立，是集碳化硅（SiC）襯底研發(fā)、生產(chǎn)及銷售于一體，北京市及順義區(qū)重點關(guān)注的創(chuàng)新型高新技術(shù)企業(yè)。

2020年7月6日，液相法生長碳化硅半導(dǎo)體襯底項目落戶中關(guān)村順義園。據(jù)“三代半風(fēng)向”了解，該項目是中科院物理所科技成果轉(zhuǎn)化項目，由晶格領(lǐng)域?qū)嵤┻\營，分三期落地實施，計劃總投資7.5億元。一期投資5000萬元，在中關(guān)村順義園租賃廠房1050平方米，建設(shè)4—6英寸液相法碳化硅晶體中試生產(chǎn)線。2021年4月8日，第一批設(shè)備全部進(jìn)場，并開始試生產(chǎn)。

26.? 臺灣盛新材料科技股份有限公司

盛新材料成立于2020年，是中國臺灣為數(shù)不多可同時生產(chǎn)6英寸導(dǎo)電型和半絕緣型SiC襯底的廠商，其在高品質(zhì)長晶領(lǐng)域，有著技術(shù)優(yōu)勢。從成立不久后就成功生長出了直徑4英寸SiC晶體，隨后又向6英寸開始進(jìn)發(fā)。

根據(jù)此前的相關(guān)報道，盛新材料去年的6英寸SiC襯底大概月產(chǎn)能在400片左右，后又將SiC長晶爐的數(shù)量增加至65臺，其中5臺來自美國，10臺來自日本，其余50臺來自與股東廣運集團(tuán)（Kenmec）的合作自制，65臺長晶爐能夠達(dá)到1200~1600片的月產(chǎn)能。

編輯：黃飛

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