使用靜電計(jì)測量儀表實(shí)現(xiàn)低電平高精準(zhǔn)的測量

精準(zhǔn)測量高范圍電阻的方法

許多測試應(yīng)用要求測量高級(jí)別材料的電阻率（面電阻率和體電阻率）。傳統(tǒng)測量方法是對(duì)樣本施加足夠高的電壓，測量流經(jīng)樣本的電流，然后利用歐姆定律（R=V/I）計(jì)算其電阻。由于高阻材料和器件產(chǎn)生很小的電流，很難準(zhǔn)確進(jìn)行測量，即使利用高精度儀器，材料中固有的背景電流也使得進(jìn)行準(zhǔn)確測量較為困難，吉時(shí)利 6517B 型靜電計(jì)/高阻表旨在解決這些問題，并為各種材料和元件提供一致、可重復(fù)和精準(zhǔn)的測量。

靜電計(jì)用于精準(zhǔn)測量高范圍電阻

靜電計(jì)是一種高度精密的直流多用測量儀表，不僅可以完成一般直流數(shù)字多用表的測量功能，憑借特殊的輸入特性和高靈敏度，靜電計(jì)也可勝任常規(guī)多用表力所不能及的電壓，電流，電阻和電荷測量。它可以同時(shí)測量非常微弱的電流和高阻抗電壓。使用靜電計(jì)還可以進(jìn)行電容漏電流測量和絕緣電阻測量。靜電計(jì)具備 10fc 的電荷測量分辨率，100aA 的電流分辨率，以及高達(dá) 200TΩ 的阻抗測量能力，超越了標(biāo)準(zhǔn)的數(shù)字萬用表。也可用于需要極端靈敏度或者需要多種類型的靈敏電子線路測量的場合。

其應(yīng)用場景多為：表征高兆歐級(jí)電阻、確定絕緣體的電阻率和測量印刷電路板的絕緣電阻。

Keithley 6500 系列靜電計(jì)

吉時(shí)利5 位半 6517B 靜電計(jì)/高阻表提供的精度和靈敏度指標(biāo)高于其他同類型儀表。它還具有完備的功能，使測量高阻和絕緣材料電阻率變得簡單。6517B 具有425 讀數(shù)/秒的測試速率，比同類型的靜電計(jì)快很多，可以提供快速、簡易的弱電流測量能力測量弱電流。

半機(jī)架型 6517B 靜電計(jì)/高阻表具有特殊的低電流輸入放大器，其輸入偏置電流《3fA，噪聲僅0.75fA p-p （峰-峰） ，輸入端壓降《20μV。對(duì)于接近理想的電路負(fù)載，其電壓和電阻測量的輸入阻抗是 200TΩ。這些性能指標(biāo)確保物理、光學(xué)、納米技術(shù)和材料科學(xué)等研究領(lǐng)域低電流和高阻抗電壓、電阻和電荷測量所需的準(zhǔn)確度和靈敏度。內(nèi)置±1kV的電壓源具有掃描能力，從而簡化漏流測試、擊穿電壓測試和電阻測試，以及絕緣材料的體電阻率（Ω-cm） 及表面電阻率（Ω/square） 的測量。

6517B 靜電計(jì)/高阻表

（1）電阻測量可達(dá) 10E16Ω

（2）電流測量范圍 1fA - 20mA

（3）最小電流量程輸入端壓降《20μV

（4）200TΩ 輸入阻抗

（5）《3fA 偏置電流

（6）測試速率高達(dá) 425 rdgs/s

（7）噪聲0.75fA p-p

（8）內(nèi)置±1kV電壓源

（9）獨(dú)特的高電阻測量電壓反接方法

（10）可選的插件式掃描卡

精準(zhǔn)測量微弱電流的方法

皮安表用于精準(zhǔn)測量微弱電流

在較高的電流水平上，普通數(shù)字多用表的輸入電壓降（電壓負(fù)擔(dān)）高達(dá)幾百毫伏，不可能完成精確的電流測量。

皮安表實(shí)質(zhì)上是靜電計(jì)中安培表功能的延續(xù)。與靜電計(jì)相比皮安表具有類似的低輸入端壓降，相同或稍快的測量速率，較低的電流靈敏度和低廉的價(jià)格。皮安表的低電壓負(fù)擔(dān)，使得它的功能更像是一個(gè)理想的電流表，因此它可以實(shí)現(xiàn)高精度的電流測量，即使是在測試具有非常低的源電壓的電路時(shí)也是如此。皮安表還可能具有其他特殊的性能，如高速對(duì)數(shù)響應(yīng)或內(nèi)置的電壓源等。

Keithley 6400 系列皮安表

吉時(shí)利的皮安表具備了數(shù)字萬用表的經(jīng)濟(jì)性和易用性，以及接近于靜電計(jì)的、對(duì)微弱電流的靈敏度。

經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的5?位 6485 型皮安表可以測量 10fA 至20mA 的電流，速度高達(dá)每秒 1000 個(gè)讀數(shù)。它結(jié)合了Keithley 在高靈敏度電流測量方面的專業(yè)技術(shù)，有更快的處理速度，堅(jiān)固的設(shè)計(jì)。帶有八路電流測量范圍和高速自動(dòng)量程，電流測量范圍為 20fA-20mA。運(yùn)用最新的電流測量技術(shù)，相較于其他類似功能的儀器，價(jià)格大大降低。6485型皮安表適用于大部分實(shí)驗(yàn)室和生產(chǎn)環(huán)境。

6485型皮安表

（1）測量電流分辨率 10fA

（2）5? 數(shù)字精度

（3）負(fù)載電壓小于 200μV

（4）內(nèi)置 Model 485 模擬模式

（5）IEEE-488 與 rs-232 接口

6482 型雙通道皮安表/電壓源提供兩個(gè)獨(dú)立的皮安表/電壓源通道，它提供比 6485型更高的測量分辨率和雙獨(dú)立30V電壓偏置源。適合需要雙通道測量的多種低電平測量應(yīng)用。

由于具有雙通道測量能力，6482 型雙通道皮安表/電壓源成為一個(gè)強(qiáng)大的測量工具，適合分析多通道器件，監(jiān)控材料中多個(gè)位置的電流，并立即記錄來自多傳感器的數(shù)據(jù)。雙通道能力更容易實(shí)現(xiàn)控制和數(shù)據(jù)聚集。更高的通道密度增加了受限空間內(nèi)的儀器數(shù)量（和通道）。

6482 型雙通道皮安表/電壓源適合與電子材料及器件特性分析有關(guān)的各種應(yīng)用，包括實(shí)驗(yàn)室、研究與開發(fā)以及工廠的低電流操作。應(yīng)用領(lǐng)域包括：元器件制程測試、雙二極管測試、半導(dǎo)體元件測試、多管腳元件測試、暗電流測試、離子束監(jiān)測、電子顯微鏡。

6482型雙通道皮安表/電壓源

（1）雙通道 6 位半測量能力

（2）雙±30V 偏置電源

（3）測量電流高達(dá) 20mA

（4）測量電流分辨率 1fA

（5）0–10V 模擬輸出用于高分辨率測量反饋

（6）支持裝配工藝、最終測試、部件binning和技術(shù)規(guī)范

（7）每通道具 3000 點(diǎn)緩存，支持測試完成后數(shù)據(jù)發(fā)送

（8）觸發(fā)連接，用于器件進(jìn)倉與掃描測試操作

（9）IEEE-488與RS-232接口

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