關(guān)于光譜共焦傳感器的精密測(cè)量方案

光譜共焦傳感器

光譜共焦傳感器可測(cè)量任何材料的物體表面，如金屬、玻璃、陶瓷、塑料、織物等。不論什么顏色，物體表面是漫反射還是高光面，乃至是鏡面，法國(guó)STIL光譜共焦傳感器都能輕松測(cè)量。光譜共焦傳感器，按類型可分為點(diǎn)光譜共焦、線光譜共焦、線陣視覺檢測(cè)系統(tǒng)、多點(diǎn)式傳感器，及3D測(cè)量系統(tǒng)。

↑STIL EVEREST-K1/K2 光學(xué)筆

針對(duì)觸控行業(yè)3D玻璃的測(cè)量需要，STIL開發(fā)出超大測(cè)量角度的EVEREST-K1產(chǎn)品，在1mm的測(cè)量行程內(nèi)，鏡面測(cè)量角度最高達(dá)±44?，相比常規(guī)光譜共焦傳感器25?的測(cè)量角度，此產(chǎn)品在保證產(chǎn)品分辨率小于50nm、測(cè)量精度100nm的情況下，最大可能地覆蓋了3D玻璃測(cè)量所需的角度。2019年推出的EVEREST-K2，量程由1mm提高到2mm，滿足了大量程測(cè)量的需求。

涂層測(cè)厚傳感器

↑涂層測(cè)厚傳感器

可在移動(dòng)產(chǎn)線上對(duì)涂層進(jìn)行非接觸、實(shí)時(shí)快速、無損測(cè)量。工作距離2-50cm，可測(cè)量厚度為：10nm-1μm(亞微米涂層)，1μm–500μm(涂料/聚合物)，1μm-1mm(金屬涂層)。可在高溫環(huán)境、易碎或潮濕環(huán)境等各種工業(yè)環(huán)境中工作。適用于各種基材上的各種涂層，如粉末和干濕油漆、汽車涂層、金屬防腐合金涂層、等離子噴涂減摩涂層、金屬盤的PTFE涂層、玻璃油墨檢測(cè)、陽極氧化鋁、金屬表面的橡膠涂層、鋁部件上的熱噴涂等。

優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)：

【非接觸】測(cè)量涂層厚度時(shí)與部件無任何接觸。激光和紅外傳感器可分析2至50厘米距離的涂層。這意味著可以在工業(yè)涂層環(huán)境中測(cè)量工件，即使它們位于移動(dòng)產(chǎn)線上、在高溫環(huán)境中，甚至易碎或潮濕環(huán)境中。

【無損測(cè)量】由于激光束產(chǎn)生的熱量極少，因此測(cè)量過程中涂層和工件都不會(huì)被損壞或改變。對(duì)于那些迄今已有的方法會(huì)破壞測(cè)試樣品的工業(yè)運(yùn)用，它可以系統(tǒng)地測(cè)量每個(gè)工件。

【實(shí)時(shí)快速】測(cè)量通常不到一秒鐘，具有高度重復(fù)性。這樣可以控制高達(dá)100％的涂層部件，嚴(yán)格遵循涂層工藝性能并實(shí)時(shí)反應(yīng)以保持最佳狀態(tài)。

白光干涉位移傳感器

白光干涉測(cè)量專用于非接觸式快速測(cè)量，精密零部件之重點(diǎn)部位的表面粗糙度、平面度、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、面形輪廓及臺(tái)階段差尺寸，其測(cè)量精度可以達(dá)到納米級(jí)。目前，在3D測(cè)量領(lǐng)域，白光干涉儀是精度最高的測(cè)量?jī)x器之一，具有以下優(yōu)點(diǎn)：

非接觸三維表面輪廓測(cè)量。

噪音小，測(cè)量重復(fù)性好。

納米級(jí)分辨率：Z軸分辨率最高可達(dá)0.1nm

測(cè)量的點(diǎn)云數(shù)多：一個(gè)面最多可以達(dá)到500萬個(gè)點(diǎn)，點(diǎn)間距小，XY分辨率高。

多種視野范圍可供選擇，快速切換物鏡變換視野。

測(cè)量速度快，可實(shí)現(xiàn)在線測(cè)量。

可以測(cè)量更大傾斜角的產(chǎn)品，漫反射面可測(cè)接近90度的斜面。

軟件包MountainsMap可用于復(fù)雜的測(cè)量任務(wù)，如粗糙度，表面結(jié)構(gòu)，微觀幾何形狀和輪廓。自動(dòng)化有多種選擇：可使用SDK，I/O模塊和幾條工業(yè)產(chǎn)線解決方案。

attocube激光干涉位移傳感器

Attocube systems AG，因其在工業(yè)研究領(lǐng)域的納米技術(shù)尖端解決方案的開發(fā)、生產(chǎn)和分銷的卓越創(chuàng)新而享譽(yù)國(guó)際。其產(chǎn)品組合包括，超精密驅(qū)動(dòng)單元，干涉位移傳感器和低溫顯微鏡系統(tǒng)及低溫恒溫器，其工作接近技術(shù)和物理的極限。其新建的納米工廠，具有現(xiàn)代化工作設(shè)備和生產(chǎn)設(shè)施；認(rèn)證和合規(guī)，致力于引領(lǐng)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。

IDS3010是超緊湊型干涉式位移測(cè)量傳感器，配備了三個(gè)基于光纖的傳感器頭。非常適合機(jī)器集成，并兼容各種工業(yè)網(wǎng)絡(luò)。由于集成了網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器，因此可以隨時(shí)對(duì)傳感器進(jìn)行遠(yuǎn)程校準(zhǔn)，初始化和（重新）配置。

無與倫比的技術(shù)規(guī)格使系統(tǒng)性能倍增：IDS3010以10-12m的亞原子分辨率提供10MHz的數(shù)據(jù)采集帶寬。靈敏度非常出色的前提下，仍可達(dá)到5米的工作距離，并能夠跟蹤高達(dá)2m/s的目標(biāo)速度。

IDS3010干涉式位移傳感器，是attocube激光干涉儀的最新和小型化版本，用于測(cè)量納米范圍內(nèi)的位移（增量距離）。IDS3010的模塊化和小型化設(shè)計(jì)，使三個(gè)測(cè)量軸都能輕松適應(yīng)各種應(yīng)用。IDS3010非常緊湊便攜，可直接集成到機(jī)器中，是具有挑戰(zhàn)性的OEM和同步加速器應(yīng)用的首選產(chǎn)品。被動(dòng)冷卻的外殼可最大程度地減少噪聲和振動(dòng)，避免干擾其他光學(xué)和電氣組件。

傳感器可直接集成到機(jī)床、半導(dǎo)體設(shè)備、三坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)等設(shè)備上。能夠在三個(gè)軸上測(cè)量，可實(shí)現(xiàn)從幾毫米到幾米的大工作距離測(cè)量，可對(duì)不同材料進(jìn)行最精確的測(cè)量。提供模塊化測(cè)量設(shè)置和極其緊湊的激光傳感器頭已獲得專利，該技術(shù)還可以進(jìn)行振動(dòng)測(cè)量，旋轉(zhuǎn)跳動(dòng)測(cè)量或機(jī)床校準(zhǔn)。

attocube壓電納米精密定位臺(tái)

Attocube的室溫和低溫納米精度移動(dòng)平臺(tái), 專為納米定位而設(shè)計(jì)，在極端環(huán)境條件下（如低溫，高磁場(chǎng)和超高真空）具有最高精度。適用于大氣和真空條件，并且可根據(jù)客戶的應(yīng)用提供各種不同的選擇，如使用重量輕的強(qiáng)鋁用于大氣層，而不銹鋼外殼兼容高達(dá)真空條件。壓電納米精密定位臺(tái)具有如下特點(diǎn)：

【高負(fù)荷】借助獨(dú)特的壓電驅(qū)動(dòng)技術(shù)，剛性機(jī)械設(shè)計(jì)及交叉滾子軸承的應(yīng)用，ECS定位器能夠在納米級(jí)上移動(dòng)，可承受高達(dá)幾千克的負(fù)載。

【材料＆預(yù)期壽命】室溫優(yōu)化的驅(qū)動(dòng)機(jī)制，再加上不銹鋼鋁作為主體材料，與高端系列閥門定位器相比，可顯著降低成本，同時(shí)可實(shí)現(xiàn)約500000次循環(huán)壽命。

【多軸操作】attocube的ECS定位器具有多種設(shè)計(jì)，尺寸和行程范圍。它們可以直接堆疊在一起進(jìn)行多軸操作。

【閉環(huán)控制】結(jié)合三軸驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備ECS100，ECS定位器能夠?qū)崿F(xiàn)1nm（1μ°)的閉環(huán)定位分辨率，同時(shí)提供最高可達(dá)4.5 mm/s (10°/s)的速度。50nm（50μ°)的位置可重復(fù)性是工業(yè)生產(chǎn)線的最高標(biāo)準(zhǔn)。

【大行程范圍】ECS系列定位器，采用了基于attocube慣性驅(qū)動(dòng)技術(shù)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)專門對(duì)大行程范圍為厘米的、環(huán)境溫度下的應(yīng)用進(jìn)行了修改。

【真空兼容】工業(yè)產(chǎn)線的定位器，用于室溫和超高真空到環(huán)境的壓力范圍。所有平臺(tái)均可采用陽極氧化鋁或不銹鋼制成，滿足光學(xué)和特高壓應(yīng)用。

編輯：黃飛

?