為了獲得高性能的MEMS磁傳感器，首先要根據(jù)器件的應用對象對器件進行設計，由此確定器件的結構、使用的材料、應用的工作原理和感應技術等。MEMS設計人員可以根據(jù)模擬和建模工具選擇制造傳感器的最佳工藝
2018-04-11 09:40:11
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進行MEMS制造的最基本需求是能夠沉積1到100微米之間的材料薄膜。NEMS的制造過程是基本一致的，膜沉積的測量范圍從幾納米到一微米。
2022-10-11 09:12:591193 的核心器件——MEMS壓力傳感器，其市場應用規(guī)模極大。但在MEMS壓力傳感器實際設計及制造過程中，能夠同時滿足最優(yōu)狀態(tài)的設計結構和工藝較難達到。因此，研究如何設計及制造高靈敏度和線性度的MEMS壓力傳感器具有重要意義。
2022-12-14 09:52:531579 MEMS傳感器在各類電子產品上快速普及，我們身邊的智能手機、平板電腦等幾乎所有電子設備無不包含，然而大部分人對MEMS技術還是比較陌生的。 MEMS技術的應用主要有傳感器和執(zhí)行器兩部分，本文
2023-08-21 17:23:164251 
MEMS傳感器是當今最炙手可熱的傳感器制造技術，也是傳感器小型化、智能化的重要推動了，MEMS技術促進了傳感器的極大發(fā)展。
2023-11-05 10:13:46633 
MEMS工藝的器件。RF SOI是現(xiàn)在服役的制造工藝?；赗F SOI工藝的器件可以滿足當下的要求，但它們開始遇到一些技術問題。除此之外，市場還存在價格壓力，隨著器件從200mm遷移到300mm晶圓，也會
2017-07-13 08:50:15
層，該多晶硅層被圖案化為可移動的機械結構，并通過犧牲性蝕刻下面的氧化物層來釋放。叉指式梳狀電極用于產生平面內力并以電容方式檢測平面內運動。這種MEMS范例使制造低成本的加速度計成為可能適用于例如汽車
2021-01-05 10:33:12
從可穿戴設備到家庭助理，越來越多的設備利用麥克風準確捕捉幾乎任何聲音。麥克風構造中最常用的兩種技術是微機電系統(tǒng)（MEMS）麥克風和駐極體電容式麥克風（ECM），其中任何一種都有許多用例。本文將回
2019-02-23 14:05:47
的成本會非常高，甚至可能有危險，因為技術人員需要在高空作業(yè)。另外，如果該渦輪機接入到本地市政電網(wǎng)，計劃之外的停機可能引起能源生產損失，甚至電力服務中斷。一種新的工業(yè)檢測技術正在幫助制造商們優(yōu)化設備，它
2018-10-17 10:34:00
的成本會非常高，甚至可能有危險，因為技術人員需要在高空作業(yè)。另外，如果該渦輪機接入到本地市政電網(wǎng)，計劃之外的停機可能引起能源生產損失，甚至電力服務中斷。一種新的工業(yè)檢測技術正在幫助制造商們優(yōu)化設備，它
2018-10-18 11:35:34
的成本會非常高，甚至可能有危險，因為技術人員需要在高空作業(yè)。另外，如果該渦輪機接入到本地市政電網(wǎng)，計劃之外的停機可能引起能源生產損失，甚至電力服務中斷。一種新的工業(yè)檢測技術正在幫助制造商們優(yōu)化設備，它
2018-10-24 10:42:46
和控制電路、直至接口、通信和電源等集成于一塊或多塊芯片上的微型器件或系統(tǒng)。而MEMS傳感器就是采用微電子和微機械加工技術制造出來的新型傳感器。MEMS是用傳統(tǒng)的半導體工藝和材料，以半導體制造技術為
2016-12-09 17:46:21
關于MEMS傳感器的基礎知識，你了解多少？本文將從MEMS傳感器的概念、制造及工藝、MEMS傳感器與傳統(tǒng)傳感器的區(qū)別、MEMS傳感器的分類幾大部分詳解，幫助初識MEMS傳感器的讀者快速了解這一
2018-11-12 10:51:35
MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems)是微機電系統(tǒng)的縮寫，MEMS技術建立在微米/納米基礎上，是對微米/納米材料進行設計、加工、制造、測量和控制的技術，完整的MEMS是由微傳感器、微執(zhí)行器、信號處理和控制電路、通訊接口和電源等部件組成的一體化的微型器件系統(tǒng)。
2019-09-29 09:34:52
受到相同的刺激，MEMS傳感器被粘附到PZT傳感器的外殼上。MEMS加速度計的單電源模擬輸出直接輸入到與PZT傳感器相同的數(shù)據(jù)記錄器的模擬輸入通道。數(shù)據(jù)采集??儀器（DAQ）被用作這些實驗的采集系統(tǒng)
2018-10-29 17:11:46
運算能力的應用日益廣泛，可以運行高級融合和傳感器誤差建模算法。新的精密慣性導航系統(tǒng)(INS)市場正在形成氣候，MEMS技術也在進入以往被FOG技術主導的市場。從FOG到MEMS技術的一個明顯轉變
2018-10-18 10:55:34
設計工具匱乏，當應力或其他影響因素沒有被合理評估時，就使得設計失敗。新型開發(fā)工具當前，用于封裝設計的新技術已經(jīng)接近了MEMS器件制造的水平。硅通孔（TSV）蝕刻技術可以實現(xiàn)高達100多μm的晶圓蝕刻深度
2010-12-29 15:44:12
MEMS技術制造開關的四個主要步驟。開關建構在一個高電阻率硅晶圓(1)上，晶圓上面沉積一層很厚的電介質，以便提供與下方襯底的優(yōu)良電氣隔離。利用標準后端CMOS互連工藝實現(xiàn)到MEMS開關的互連。低電阻率
2018-10-17 10:52:05
近年來射頻微電子系統(tǒng)(RF MEMS)器件以其尺寸小、功耗低而受到廣泛關注，特別是MEMS開關構建的移相器與天線，是實現(xiàn)上萬單元相控陣雷達的關鍵技術，在軍事上有重要意義。在通信領域上亦憑借超低
2019-07-08 08:02:54
電系統(tǒng)（MEMS），在歐洲也被稱為微系統(tǒng)技術，或在日本被稱為微機械，是一類器件，其特點是尺寸很小，制造方式特殊。MEMS器件的特征長度從1毫米到1微米——1微米可是要比人們頭發(fā)的直徑小很多?！ ?b class="flag-6" style="color: red">MEMS
2018-11-07 11:00:01
顯示應用。使用MEMS技術的創(chuàng)新型顯示應用MEMS中針對投影使用的技術進步正在為全新應用鋪路。從筆記本電腦到智能手機，再到平板電腦、個人計算設備等等，現(xiàn)在都配備有MEMS顯示技術。除了常見的個人計算任務
2018-09-06 14:58:52
哪位大佬可以詳細介紹下MEMS技術到底是什么
2020-11-25 07:23:59
要特性的能力高低直接相關。要評估特定MEMS加速度計在這方面的能力，首先必須從慣性運動角度對振動有一個基本了解。圖1是振動情況的物理示意圖，灰色部分表示中點，藍色部分表示一個方向的峰值位移，紅色部分表示
2017-08-16 09:06:31
微機電系統(tǒng) (MEMS) 將很快成為智能系統(tǒng)設計和構造不可或缺的部分。這些器件縮短了物理世界和電子世界之間的差距，它們用于眾多應用，涉及各種細分市場。在眾多細分市場中，價格降低、準確度要求提高和快速面市需求將對設計和制造性能提出新的約束條件。企業(yè)要獲得成功必須找到新的方法來應對這些挑戰(zhàn)。
2019-10-17 07:11:28
作為一項基于固態(tài)電子器件和內置半導體制造設施技術，MEMS向狀態(tài)監(jiān)控產品設計師提供了幾個極具吸引力且有價值的優(yōu)勢。撇開性能因素，我們就來說說狀態(tài)監(jiān)控領域的任何人都應對MEMS加速度計感興趣的主要原因
2018-10-12 11:01:36
很多通信系統(tǒng)發(fā)展到某種程度都會有小型化的趨勢。一方面小型化可以讓系統(tǒng)更加輕便和有效，另一方面，日益發(fā)展的IC制造技術可以用更低的成本生產出大批量的小型產品。MEMS
2019-06-24 06:27:01
進行設計，由此確定器件的結構、使用的材料、應用的工作原理和感應技術等。MEMS設計人員可以根據(jù)模擬和建模工具選擇制造傳感器的最佳工藝和材料，并預測MEMS磁傳感器的性能。同時設計人員必須考慮器件制作
2018-11-09 10:38:15
還有用于醫(yī)療(如藥品傳送)的微型泵和微型閥等，這些MEMS器件特別細小，甚至可以植入人體。目前MEMS并不都僅僅處于實驗室階段，有的已進入實用場合，例如已有制造廠商完成了MEMS光學系統(tǒng)的商品化，該系
2014-08-19 15:50:19
MEMS麥克風制造的推薦焊接參數(shù)（即焊膏厚度）是多少？以上來自于谷歌翻譯以下為原文 What are the recommended soldering parameters (i.e.
2018-09-27 16:16:47
中國初創(chuàng)企業(yè)（芯奧微、敏芯），所以樓氏電子的市場份額將繼續(xù)下滑。MEMS麥克風廠商們都在研發(fā)創(chuàng)新的技術和制造解決方案，并及時申請專利來保護自己的發(fā)明。蘋果iPhone6中的MEMS麥克風在一項專利侵權
2015-05-15 15:17:00
的應用，為新型麥克風技術的發(fā)展創(chuàng)造了機會。新技術應當能改善上述缺點，讓制造商生產出更高質量、更加可靠的設備。微機電系統(tǒng)(MEMS)技術是電容麥克風變革的中堅力量。MEMS麥克風利用了過去數(shù)十年來硅技術
2019-11-05 08:00:00
/Spark大數(shù)據(jù)平臺之上。內容包括 MATLAB 數(shù)據(jù)分析基礎 基于智能算法的嵌入式前端應用 基于 MATLAB的預測性分析和案例分析 大數(shù)據(jù)應用的發(fā)布和部署主題2: 從系統(tǒng)建模、算法設計到產品實現(xiàn)
2017-09-29 09:32:09
模擬這些進程，如何有效且迅速完成實物和模型之間的模擬，不但是現(xiàn)代工業(yè)面臨的問題，也是所有行業(yè)亟待解決問題。 “模擬”在工業(yè)中的運用 現(xiàn)階段，我們使用的模擬技術主要是3D建模技術。因為在現(xiàn)代工業(yè)制造中
2017-03-17 10:21:34
MEMS的工作原理和建模機制。典型MEMS傳感器的檢測部分行為就像是一個二階集總式質量塊（阻尼器）彈簧機械系統(tǒng)，具有單一的諧振頻率，其傳遞函數(shù)如下： 其中Fin（s）是輸入的力（在使用陀螺儀時是科里奧利力
2018-12-05 15:12:05
近日，麻省理工學院微系統(tǒng)技術實驗室的研究人員開發(fā)出了一種使用桌面型3D打印機制造高質量微電機系統(tǒng)(MEMS)的方法。用這種方法制造MEMS，其成本僅有市場上現(xiàn)有技術的百分之一，而且質量一點不差
2015-12-24 16:27:44
MEMS工藝的器件。RF SOI是現(xiàn)在服役的制造工藝?；赗F SOI工藝的器件可以滿足當下的要求，但它們開始遇到一些技術問題。除此之外，市場還存在價格壓力，隨著器件從200mm遷移到300mm晶圓，也會
2017-07-13 09:14:06
作為一項基于固態(tài)電子器件和內置半導體制造設施技術，MEMS向狀態(tài)監(jiān)控產品設計師提供了幾個極具吸引力且有價值的優(yōu)勢。撇開性能因素，我們就來說說狀態(tài)監(jiān)控領域的任何人都應對MEMS加速度計感興趣的主要原因
2018-10-11 10:31:14
PCB板從電路設計到制造生產，其 可制造性設計 （Design for Manufacturing，DFM）尤其不容忽略！
一、DFM，為中國PCB制造生產保駕護航
在電子制造領域，DFM是一個至關重要
2023-12-26 16:00:17
BSIMProPlus?是業(yè)界領先的半導體器件SPICE建模平臺，在其產品二十多年的歷史中一直為全球SPICE建模市場和技術的領導者，被全球一百多家領先的集成電路制造和設計公司作為標準SPICE
2020-07-01 09:36:55
的技術，但涉及相當復雜的制造過程，其中每個單獨的諧振器都被調諧到所需的頻率，通常是通過用離子束燒蝕金屬電極。 該步驟發(fā)生在封裝晶體之前，并導致諧振器容易受到污染。 這一過程以及其他石英制造的復雜性導致
2021-11-12 08:00:00
、制造、銷售與服務于一體的無源光通信器件OEM/ODM廠商，主要生產和銷售光纖連接類產品（光纖連接器、適配器、跳線），WDM波分復用器，PLC光分路器，MEMS光開關等核心光無源基礎器件，廣泛應用于光纖到戶、4G/5G移動通信、互聯(lián)網(wǎng)數(shù)據(jù)中心、國防通信等領域。`
2020-05-12 17:27:14
盡管MEMS（微機電系統(tǒng)）技術在氣囊和汽車壓力傳感器中的應用已有大約20年，但促使大眾認識到慣性傳感器作用的是任天堂的 Wii?和Apple? iPhone?手機。然而，在一定程度上，流行的看法
2019-07-16 06:49:53
元件來最小化寄生電容。因此，MEMS可提供比所有傳統(tǒng)制造的慣性傳感器組合更多的優(yōu)勢?！ irst Sensor 傳感器在測量傾斜度，加速度和振動方面的優(yōu)勢： · 靈活的MEMS設計：測量范圍從1到
2020-07-07 09:36:40
設計與優(yōu)化時需要正確理解MEMS的工作原理和建模機制。典型MEMS傳感器的檢測部分行為就像是一個二階集總式質量塊（阻尼器）彈簧機械系統(tǒng)，具有單一的諧振頻率，其傳遞函數(shù)如下： 其中Fin（s
2018-11-06 16:07:28
隨著半導體工業(yè)的飛速發(fā)展，新型電力電子器件不斷涌現(xiàn)，用戶對器件建模的需求越來越迫切，對專用建模工具的開發(fā)提出了新的挑戰(zhàn)。設計射頻器件建模工具，我們具體該怎么做呢？
2019-08-20 06:20:17
Bob Scannell，ADI公司MEMS和傳感器技術部業(yè)務開發(fā)經(jīng)理運動是生命中不可或缺的重要組成部分。能夠移動的人似乎在一刻不停地運動著，而不能移動的人則可能需要借助某種形式的機械助力來幫助實現(xiàn)
2018-11-01 10:49:28
微機電系統(tǒng)(MEMS)感測器制造技術邁入新里程碑。意法半導體(ST)宣布成功結合面型微加工(Surface-micromachining)和體型微加工(Bulk-micromachining)制程
2020-05-05 06:36:14
，從吉他擴音器到腕表，從智能手機到叉車等，其中絕大多數(shù)都使用晶體或晶體振蕩器(XO)。由于電子市場每年要用到無數(shù)的晶體，龐大的規(guī)模經(jīng)濟促進了石英晶體和石英振蕩器的制造精密程度達到了新高——提供了更小、更
2014-08-20 15:39:07
智能制造（smart manufacture）是當下最熱門的話題。 預示著將是工業(yè)的未來。制造業(yè)如此之復雜，以至于給人一種瞎子摸象的感覺?；ヂ?lián)網(wǎng)公司更多地是從新的商業(yè)模式來理解智能制造，提出了從
2021-07-19 07:56:15
，從而才可加入編程實現(xiàn)智能制造或是3D打印，但木雕雕刻的紋理復雜精細，傳統(tǒng)三維建模存在兩大制約障礙：1、建模周期長且人工成本高2、建模師很難對雕刻極為復雜的木雕精準建模。因此，一種簡單快速高效的三維建模
2017-07-31 11:49:49
嗨，我在模擬在布局中建模和模擬的組件時出錯，并插回到ADS 2011.10的原理圖中。關于從布局到原理圖彼此不對應的引腳，我收到錯誤。我遵循了從ADS文檔插入組件的概述說明，但仍未找到解決方案。以下
2019-01-24 12:55:02
求劉勝編著的 微電子封裝組件的建模和仿真:制造、可靠性與測試:manufacturing, reliability and testing資源
2017-01-18 17:35:32
MEMS有各種尺寸和功能，從微型化的傳感器芯片，到獨特的微納米架構，可以感知、測量、傳輸并控制幾乎所有傳感模式。MEMS實現(xiàn)了具有感知、控制和執(zhí)行能力的增強型微系統(tǒng)，這在十多年前幾乎無法想象。
2020-08-05 07:06:14
電子設備和通信系統(tǒng)設備的振蕩器選擇是影響系統(tǒng)性能的主要因素。目前振蕩器有兩種：石英晶體振蕩器是由石英晶體的基本結構構成，和一個簡單的振蕩器電路。全硅MEMS諧振器，鎖向電路，溫度補償，以及制造校準
2020-05-30 13:25:53
。這并沒有妨礙狀態(tài)監(jiān)控產品設計師在新產品中使用噪音性能優(yōu)良的MEMS。作為一項基于固態(tài)電子器件和內置半導體制造設施技術，MEMS向狀態(tài)監(jiān)控產品設計師提供了幾個極具吸引力且有價值的優(yōu)勢。撇開性能因素，下面是狀態(tài)監(jiān)控領域的任何人都應對MEMS加速度計感興趣的主要原因。
2019-07-17 06:38:53
SPEA在MEMS半導體測試分類機、分選設備設計制造有數(shù)十年的歷史，公司推出的的H3560 - MEMS取放傳送裝置性能凸出，優(yōu)勢明顯。H3560 具有所有的接觸和界面被測器件所需
2022-09-23 11:18:36
論述了微機電系統(tǒng)(MEMS)器件縮減模型的建立是進行MEMS系統(tǒng)級模擬的關鍵。論證了基于線性正交振型建立MEMS器件縮減模型是一種有效的方法，導出了MEMS器件動態(tài)縮減模型的微分方
2009-05-28 11:19:06
17 UML-OOPN 集成建模方法及其在柔性制造系統(tǒng)的應用:針對柔性制造系統(tǒng)FMS（Flexible manufacturing system）建模特點，提出了UML—OOPN 集成建模方法。該方法是用UML（the Unified Modeling Language）建
2009-10-12 18:24:2722 MEMS規(guī)范概述
許多擁有晶圓廠的半導體制造商尋求通過為無晶圓廠MEMS開發(fā)商制造MEMS器件來利用他們舊生產線的產能，但是若
2010-03-11 14:35:31530 MEMS 日益增加的復雜性需要設計流程允許工程師在構造實際硅片之前模擬整個制造分布、所有環(huán)境和操作條件的整個多模系統(tǒng)。這使工程師能夠快速、積極
2010-07-01 11:27:12998 
MEMS及其應用
MEMS技術是采用微制造技術，在一個公共硅片基礎上整合了傳感器、機械元件、致動器（actuator）與電
2010-07-26 10:13:15471 基于可重用IP(Intellectual Property)的設計方法為微機電系統(tǒng)( MEMS )系統(tǒng)級建模與仿真技術提供了新的思路，有望成為未來的主流。它將MEMS分解為梁、質量塊、可變電容器等多個功能結構部件
2011-08-23 16:07:140 MEMS加速度計的溫度誤差建模及補償_秦麗
2017-01-12 18:09:582 MEMS制造中精確測量薄膜厚度的方法研究與比較_陳莉
2017-03-19 18:58:182 MEMS器件動態(tài)特性的光學測量就是一種有效的測試手段。先進的光學測量技術對MEMS器件在開發(fā)過程中了解其全視野動態(tài)響應，完成各種不同的物理特性的多種參數(shù)（尺寸、薄膜厚度、臺階高度、橫截面、粗糙度、壓力、靜摩擦、彈性模量、響應時間、熱膨脹、諧振頻率，等等）的測量。
2018-07-13 14:40:0015577 公司實為MEMS 晶圓純代工廠前列，產能及利用率雙雙提升，充分受益行業(yè)景氣。Yole 統(tǒng)計，2017 年公司名列MEMS 晶圓代工廠第三名。當前Silex MEMS 制造產能達4000
2018-07-25 11:08:002544 MEMS代工主要有兩種類型：IDM廠商提供的MEMS代工，獨立的代工廠提供的MEMS代工，其中獨立的代工廠包括集成電路代工廠和純MEMS代工廠。近幾年Fabless模式的MEMS器件制造商發(fā)展迅速
2018-07-31 09:24:002544 MEMS產業(yè)增長潛力巨大，而MEMS制造是產業(yè)持續(xù)發(fā)展的瓶頸還是將潛力兌現(xiàn)成現(xiàn)實的關鍵路徑?據(jù)麥姆斯咨詢報道，漫長的開發(fā)周期、繁多的制造平臺、研發(fā)期間的用量少帶來的高報價是阻礙新產品快速研發(fā)的主要絆腳石。
2018-05-21 23:27:003239 
IMT公司專項獎學金支持未來之才開展創(chuàng)新研究，推動MEMS制造工藝技術快速發(fā)展。
2019-05-06 14:22:04809 MEMS系統(tǒng)在設計、制造與測試上都有難點，像模擬產品設計一樣，市場要求MEMS產品性能出色。
2019-05-31 08:32:093342 深度反應離子刻蝕或DRIE是一種相對較新的制造技術，已被MEMS社區(qū)廣泛采用。
2020-03-14 11:04:075187 
MEMS(微電子機械系統(tǒng))技術是一種使產品集成化、微型化、智能化的微型機電系統(tǒng)。在半導體集成電路技術之上發(fā)展起來的硅基MEMS制造技術目前使用十分廣泛。 國外技術發(fā)展日趨成熟 上世紀80年代
2020-04-03 15:27:421773 深度反應離子刻蝕或DRIE是一種相對較新的制造技術，已被MEMS社區(qū)廣泛采用。這項技術可以在硅基板上執(zhí)行非常高的縱橫比蝕刻。蝕刻的孔的側壁幾乎是垂直的，并且蝕刻深度可以是進入硅襯底的數(shù)百甚至數(shù)千微米。
2020-04-12 17:24:002592 
敏芯股份稱，MEMS芯片的制造工藝和集成電路芯片完全不同，且一種MEMS芯片對應一種制造工藝。芯片研發(fā)公司要想做出性能出色的MEMS芯片，首先要有自主開發(fā)生產工藝的能力。這是MEMS芯片企業(yè)創(chuàng)業(yè)艱難的核心所在，也是公司推動MEMS產業(yè)鏈全國產化的原因。
2020-05-30 11:08:1413787 MEMS器件利用半導體加工技術來制造三維機械結構，三種最常用的MEMS制造技術包括體微加工（Bulk Micro Machining）、表面微加工（Surface Micro Machining）和LIGA。
2020-07-29 17:42:586928 MEMS器件和集成電路（IC）芯片是通過類似的過程制造的。兩者都始于基礎襯底晶圓（通常是硅或玻璃），然后通過后續(xù)步驟進行構建和雕刻。
2020-08-11 16:24:151603 
敏芯股份是全球領先的MEMS微傳感器制造商。經(jīng)過長達十幾年的研發(fā)，我們擁有基于自主研發(fā)、自有知識產權的MEMS / ASIC芯片的MEMS硅麥克風、壓力傳感器以及加速度傳感器產品線。同時，公司擁有基于中國大陸完整的本土化產業(yè)鏈。
2020-09-03 10:27:493069 蚌埠發(fā)布消息顯示，蚌埠與214所共同建設的8英寸MEMS制造與微系統(tǒng)集成工程建設項目建設周期為2年、總投資10億元，建設目標是打造國內領先的8英寸MEMS智能傳感器產業(yè)化平臺，建成后將擁有年產5萬片的MEMS晶圓制造能力和每年4億顆MEMS芯片封測能力。
2020-12-04 14:27:553359 蚌埠市與中國兵器工業(yè)集團214所共同建設的8英寸MEMS制造與微系統(tǒng)集成工程建設項目建設周期為2年，總投資10億元，建設目標是打造國內領先的8英寸MEMS智能傳感器產業(yè)化平臺，建成后將擁有年產5萬片的MEMS晶圓制造能力和每年4億顆MEMS芯片封測能力。
2020-12-23 16:05:472430 MEMS是一種制造技術，諸如杠桿、齒輪、活塞、發(fā)動機甚至蒸汽機都是由MEMS制造的。相比于芯片制造業(yè)越來越被普通人熟知，而與芯片采用相同工藝的MEMS技術顯得有些神秘。什么是MEMS？ MEMS
2021-02-20 11:05:316656 MEMS工藝——半導體制造技術說明。
2021-04-08 09:30:41237 贊助商廣告展示 原文標題：MEMS芯片制造工藝流程詳解 文章出處：【微信公眾號：今日半導體】歡迎添加關注！文章轉載請注明出處。 ? ? ? 審核編輯：彭靜
2022-07-11 16:20:185860 MEMS技術日益成熟，并已在在各類電子產品上快速普及，從產值來看，有數(shù)據(jù)顯示目前MEMS傳感器約占整體傳感器市場一半以上產值。MEMS傳感器如此重要，然而大部分人，包括技術人員對MEMS技術還是比較
2022-10-25 10:14:19976 隨著微加工技術的發(fā)展，基于MEMS微橋結構技術制造的微測輻射熱計器件，具備與半導體讀出電路單芯片集成并實現(xiàn)大規(guī)模生產的能力，逐漸成為非制冷紅外探測器的主流制造技術。
2023-02-21 17:10:221213 提出了一種利用飛秒激光誘導化學蝕刻（FLICE）制造壓電致動的石英晶體MEMS諧振器的方法。
2023-04-20 09:10:46878 在電子醫(yī)療器械領域，MEMS傳感器正被用于不同功能的醫(yī)療設備。雖然MEMS技術仍存在瑕疵，如制造成本較高，精度不夠……但是這些問題都會隨著制造及MEMS測試技術的進步而改善?？梢灶A見，MEMS將有
2022-09-09 15:51:17580 
MEMS 器件通常使用兩個芯片制造：一個來自 CMOS 晶圓，另一個來自 MEMS 晶圓。這種兩芯片制造工藝給制造商帶來了一些挑戰(zhàn)。為 MEMS 和 CMOS 生產單獨的晶圓成本高昂，會延長上市時間，而且只能生產小批量（特別是在硅短缺的情況下）。
2023-08-15 16:14:40550 
本文整理自公眾號芯生活SEMI Businessweek中關于MEMS制造工藝的多篇系列內容，全面、專業(yè)地介紹了MEMS芯片制造中的常用工藝情況，推薦！ ? 作為現(xiàn)代傳感器重要的制造技術，MEMS
2023-10-20 16:10:351408 
MEMS傳感器是當今最炙手可熱的傳感器制造技術，也是傳感器小型化、智能化的重要推動了，MEMS技術促進了傳感器的極大發(fā)展。 MEMS主要采用微電子技術，在微納米的體積下塑造傳感器的機械結構。本文
2023-11-02 08:37:09777 
和封裝成本。本文討論不同的半導體 MEMS 制造方法及其進展。 半導體 MEMS 的重要性 MEMS 主要是傳感器系統(tǒng)，可以控制或感測化學、光學或物理量，例如流體、加速度或輻射。MEMS 設備/傳感器擁有與外界的電氣接口，通常通過 IC 實現(xiàn)，IC 提供必要的智能，使設備能
2023-11-24 09:19:31287 膜厚測試在MEMS制造工藝中至關重要，它不僅關乎工藝質量，更直接影響著最終成品的性能。為了確保每一片MEMS器件的卓越品質，精確測量薄膜厚度是不可或缺的一環(huán)。
2024-01-08 09:40:54262 
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