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電子發(fā)燒友網(wǎng)>MEMS/傳感技術(shù)>MEMS的制造方式和優(yōu)勢(shì)

MEMS的制造方式和優(yōu)勢(shì)

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MEMS技術(shù)在標(biāo)準(zhǔn)實(shí)時(shí)時(shí)鐘(RTC)中的優(yōu)勢(shì)

本應(yīng)用筆記探討了MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))技術(shù)在標(biāo)準(zhǔn)實(shí)時(shí)時(shí)鐘(RTC)中相對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)晶體技術(shù)的優(yōu)勢(shì)。最明顯的優(yōu)勢(shì)是尺寸。還討論了MEMS技術(shù)優(yōu)越的其他領(lǐng)域-CMOS工藝和開(kāi)發(fā),制造與組裝以及環(huán)境耐用性
2021-05-13 07:50:003454

進(jìn)行MEMS制造的沉積方法

進(jìn)行MEMS制造的最基本需求是能夠沉積1到100微米之間的材料薄膜。NEMS的制造過(guò)程是基本一致的,膜沉積的測(cè)量范圍從幾納米到一微米。
2022-10-11 09:12:591193

什么是MEMSMEMS深度文章從原理制造到應(yīng)用全講透

MEMS傳感器在各類電子產(chǎn)品上快速普及,我們身邊的智能手機(jī)、平板電腦等幾乎所有電子設(shè)備無(wú)不包含,然而大部分人對(duì)MEMS技術(shù)還是比較陌生的。 MEMS技術(shù)的應(yīng)用主要有傳感器和執(zhí)行器兩部分,本文
2023-08-21 17:23:164251

闡述MEMS傳感器芯片的制造過(guò)程和原理

MEMS傳感器是當(dāng)今最炙手可熱的傳感器制造技術(shù),也是傳感器小型化、智能化的重要推動(dòng)了,MEMS技術(shù)促進(jìn)了傳感器的極大發(fā)展。
2023-11-05 10:13:46633

MEMS制造技術(shù)

層,該多晶硅層被圖案化為可移動(dòng)的機(jī)械結(jié)構(gòu),并通過(guò)犧牲性蝕刻下面的氧化物層來(lái)釋放。叉指式梳狀電極用于產(chǎn)生平面內(nèi)力并以電容方式檢測(cè)平面內(nèi)運(yùn)動(dòng)。這種MEMS范例使制造低成本的加速度計(jì)成為可能適用于例如汽車
2021-01-05 10:33:12

MEMS與ECM:比較麥克風(fēng)技術(shù)

顧兩種技術(shù)的基礎(chǔ)知識(shí),比較它們的差異并貫穿每種解決方案的優(yōu)勢(shì)。MEMS麥克風(fēng)MEMS麥克風(fēng)采用MEMS元件安裝在印刷電路板(PCB)上并由機(jī)械覆蓋物保護(hù), 機(jī)殼內(nèi)加工了一個(gè)小孔,可以讓聲音進(jìn)入設(shè)備。此孔
2019-02-23 14:05:47

MEMS傳感器技術(shù)為制造業(yè)改善預(yù)測(cè)維護(hù)

ADI公司產(chǎn)品營(yíng)銷工程師Max Liberman和業(yè)務(wù)開(kāi)發(fā)經(jīng)理Bob Scannell在工業(yè)制造運(yùn)營(yíng)中,被動(dòng)的設(shè)備維修是造成生產(chǎn)能力喪失的一個(gè)主要因素,這種維修本來(lái)是可以避免的。平均售價(jià)僅幾美元
2018-10-17 10:34:00

MEMS傳感器技術(shù)助力制造業(yè)改善預(yù)測(cè)維護(hù)

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2018-10-18 11:35:34

MEMS傳感器技術(shù)助力制造業(yè)改善預(yù)測(cè)維護(hù)

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2018-10-24 10:42:46

MEMS傳感器是什么?mems的工藝是什么?

和控制電路、直至接口、通信和電源等集成于一塊或多塊芯片上的微型器件或系統(tǒng)。而MEMS傳感器就是采用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)制造出來(lái)的新型傳感器。MEMS是用傳統(tǒng)的半導(dǎo)體工藝和材料,以半導(dǎo)體制造技術(shù)為
2016-12-09 17:46:21

MEMS傳感器概念和分類等基礎(chǔ)知識(shí)詳解

的微型器件研究,還有很多創(chuàng)新工作要做,不然就會(huì)面臨發(fā)展停滯的風(fēng)險(xiǎn)。技術(shù)優(yōu)勢(shì):用MEMS工藝制造傳感器、執(zhí)行器或者微結(jié)構(gòu), 具有微型化、集成化、智能化、成本低、效能高、可大批量生產(chǎn)等特點(diǎn), 產(chǎn)能高,良品率
2018-11-12 10:51:35

MEMS傳感器用于各種創(chuàng)新的消費(fèi)類產(chǎn)品設(shè)計(jì)

、機(jī)械和熱屬性都非常出色。此外,半導(dǎo)體廠商還意識(shí)到,如果使用成熟的芯片量產(chǎn)制造技術(shù),在晶片上一次可以制造數(shù)以萬(wàn)計(jì)的MEMS器件。這就是說(shuō),MEMS可以利用微電子器件現(xiàn)有的規(guī)模經(jīng)濟(jì),獲得更大的成本優(yōu)勢(shì)
2018-10-31 16:56:44

MEMS傳感器的市場(chǎng)需求有多大?

MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems)是微機(jī)電系統(tǒng)的縮寫(xiě),MEMS技術(shù)建立在微米/納米基礎(chǔ)上,是對(duì)微米/納米材料進(jìn)行設(shè)計(jì)、加工、制造、測(cè)量和控制的技術(shù),完整的MEMS是由微傳感器、微執(zhí)行器、信號(hào)處理和控制電路、通訊接口和電源等部件組成的一體化的微型器件系統(tǒng)。
2019-09-29 09:34:52

MEMS元器件的組成部分

微小。采用以硅為主的材料,采用與集成電路(IC)類似的生成技術(shù),可大量利用IC生產(chǎn)中的成熟技術(shù)、工藝,進(jìn)行大批量、低成本生產(chǎn),使性價(jià)比相對(duì)于傳統(tǒng)“機(jī)械”制造技術(shù)大幅度提高。完整的MEMS是由微傳感器
2018-09-07 15:24:09

MEMS器件可以滿足物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用的哪些需求?

據(jù)麥姆斯咨詢介紹,物聯(lián)網(wǎng)(IoT)可以利用MEMS的幾個(gè)核心功能和優(yōu)勢(shì)MEMS器件可以有效地滿足許多物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用的要求:
2020-12-23 07:09:36

MEMS器件的封裝級(jí)設(shè)計(jì)

設(shè)計(jì)流程中都必須對(duì)封裝策略和如何折中進(jìn)行考慮和給與極大的關(guān)注。許多MEMS產(chǎn)品供應(yīng)商都會(huì)把產(chǎn)品封裝作為進(jìn)行市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)的主要產(chǎn)品差異和競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。封裝選擇規(guī)則設(shè)計(jì)MEMS器件的封裝往往比設(shè)計(jì)普通集成電路的封裝
2010-12-29 15:44:12

MEMS開(kāi)關(guān)技術(shù)基本原理

很小,能夠以極小的損耗可靠地傳送0 Hz/dc至數(shù)百GHz信號(hào),有望徹底改變電子系統(tǒng)的實(shí)現(xiàn)方式。這種性能優(yōu)勢(shì)會(huì)對(duì)大量不同的設(shè)備和應(yīng)用產(chǎn)生重要影響。在MEMS開(kāi)關(guān)技術(shù)的幫助下,很多領(lǐng)域都將達(dá)到前所未有
2018-10-17 10:52:05

MEMS開(kāi)關(guān)缺陷改進(jìn)

在通信領(lǐng)域上亦憑借超低損耗、高隔離度、成本低等優(yōu)勢(shì)在手機(jī)上得到應(yīng)用。然而RF MEMS開(kāi)關(guān)普遍存在驅(qū)動(dòng)電壓高、開(kāi)關(guān)時(shí)間長(zhǎng)的問(wèn)題,劣于FET場(chǎng)效應(yīng)管開(kāi)關(guān)和PIN二極管開(kāi)關(guān)。相對(duì)于國(guó)外已取得的成果,國(guó)內(nèi)的研究尚處于起步階段。下文將針對(duì)MEMS開(kāi)關(guān)的缺陷做一些改進(jìn)。
2019-07-29 07:57:25

MEMS慣性傳感器的優(yōu)勢(shì)是什么?

意法半導(dǎo)體公司推出一系列慣性傳感器,極具誘惑力的價(jià)格配合卓越的產(chǎn)品性能,讓意法半導(dǎo)體迅速擴(kuò)大了在消費(fèi)電子MEMS傳感器市場(chǎng)的份額。公司在MEMS技術(shù)特性上實(shí)現(xiàn)了兩全其美:更小尺寸、更低價(jià)格、更高
2019-11-05 06:19:06

MEMS技術(shù)及其應(yīng)用詳解

電系統(tǒng)(MEMS),在歐洲也被稱為微系統(tǒng)技術(shù),或在日本被稱為微機(jī)械,是一類器件,其特點(diǎn)是尺寸很小,制造方式特殊。MEMS器件的特征長(zhǎng)度從1毫米到1微米——1微米可是要比人們頭發(fā)的直徑小很多?! ?b class="flag-6" style="color: red">MEMS
2018-11-07 11:00:01

MEMS技術(shù)的原理制造及應(yīng)用

哪位大佬可以詳細(xì)介紹下MEMS技術(shù)到底是什么
2020-11-25 07:23:59

MEMS技術(shù)的黑科技

了安全、快速、衛(wèi)生、無(wú)痛、無(wú)創(chuàng)的胃部舒適檢查新時(shí)代。傳統(tǒng)胃鏡檢查對(duì)患有胃部疾病的人來(lái)說(shuō)簡(jiǎn)直如同噩夢(mèng),而采用MEMS技術(shù)制作的膠囊胃鏡,采用自然吞服的方式,極大減輕痛苦,其內(nèi)置高清攝像頭,可在體內(nèi)全方位
2018-10-15 10:47:43

MEMS振蕩器是什么?跟我們常說(shuō)的石英晶振比有什么特別的呢?

,這是修修補(bǔ)補(bǔ)的改造所不能實(shí)現(xiàn)的效果。由于MEMS振蕩器的實(shí)現(xiàn)原理完全不同于以往的石英晶振,因此它可以克服現(xiàn)有石英晶振的很多先天劣勢(shì)。具體總結(jié)如下:由采用全硅MEMS技術(shù)所帶來(lái)的優(yōu)勢(shì),下面從體積到性能
2016-06-04 10:18:38

MEMS是如何進(jìn)行建模的?

微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS) 將很快成為智能系統(tǒng)設(shè)計(jì)和構(gòu)造不可或缺的部分。這些器件縮短了物理世界和電子世界之間的差距,它們用于眾多應(yīng)用,涉及各種細(xì)分市場(chǎng)。在眾多細(xì)分市場(chǎng)中,價(jià)格降低、準(zhǔn)確度要求提高和快速面市需求將對(duì)設(shè)計(jì)和制造性能提出新的約束條件。企業(yè)要獲得成功必須找到新的方法來(lái)應(yīng)對(duì)這些挑戰(zhàn)。
2019-10-17 07:11:28

MEMS狀態(tài)監(jiān)控是什么

作為一項(xiàng)基于固態(tài)電子器件和內(nèi)置半導(dǎo)體制造設(shè)施技術(shù),MEMS向狀態(tài)監(jiān)控產(chǎn)品設(shè)計(jì)師提供了幾個(gè)極具吸引力且有價(jià)值的優(yōu)勢(shì)。撇開(kāi)性能因素,我們就來(lái)說(shuō)說(shuō)狀態(tài)監(jiān)控領(lǐng)域的任何人都應(yīng)對(duì)MEMS加速度計(jì)感興趣的主要原因
2018-10-12 11:01:36

MEMS的幾種RF相關(guān)應(yīng)用產(chǎn)品

很多通信系統(tǒng)發(fā)展到某種程度都會(huì)有小型化的趨勢(shì)。一方面小型化可以讓系統(tǒng)更加輕便和有效,另一方面,日益發(fā)展的IC制造技術(shù)可以用更低的成本生產(chǎn)出大批量的小型產(chǎn)品。MEMS
2019-06-24 06:27:01

MEMS的基本振動(dòng)特性

作者:Mark Looney簡(jiǎn)介MEMS加速度計(jì)終于達(dá)到了能夠測(cè)量廣泛機(jī)器平臺(tái)振動(dòng)的階段。其最近的能力進(jìn)步,加上MEMS加速度計(jì)已有的相對(duì)于傳統(tǒng)振動(dòng)傳感器的諸多優(yōu)勢(shì)(尺寸、重量、成本、抗沖擊性
2019-07-22 06:31:06

MEMS組裝技術(shù)淺談

還有用于醫(yī)療(如藥品傳送)的微型泵和微型閥等,這些MEMS器件特別細(xì)小,甚至可以植入人體。目前MEMS并不都僅僅處于實(shí)驗(yàn)室階段,有的已進(jìn)入實(shí)用場(chǎng)合,例如已有制造廠商完成了MEMS光學(xué)系統(tǒng)的商品化,該系
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MEMS陀螺儀的原理與應(yīng)用優(yōu)勢(shì)分析

本帖最后由 eehome 于 2013-1-5 09:52 編輯 MEMS陀螺儀的原理與應(yīng)用優(yōu)勢(shì)分析
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MEMS麥克風(fēng)制造的推薦焊接參數(shù)(即焊膏厚度)是多少?以上來(lái)自于谷歌翻譯以下為原文 What are the recommended soldering parameters (i.e.
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ATA-2000系列 高壓放大器——MEMS光柵控制驅(qū)動(dòng)中的典型應(yīng)用

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2016-08-04 15:08:50

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Why MEMS狀態(tài)監(jiān)控?這四點(diǎn)實(shí)情須知

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XENSIV?MEMS消除音頻鏈的瓶頸!

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關(guān)于MEMS的技術(shù)簡(jiǎn)介

制造、銷售與服務(wù)于一體的無(wú)源光通信器件OEM/ODM廠商,主要生產(chǎn)和銷售光纖連接類產(chǎn)品(光纖連接器、適配器、跳線),WDM波分復(fù)用器,PLC光分路器,MEMS光開(kāi)關(guān)等核心光無(wú)源基礎(chǔ)器件,廣泛應(yīng)用于光纖到戶、4G/5G移動(dòng)通信、互聯(lián)網(wǎng)數(shù)據(jù)中心、國(guó)防通信等領(lǐng)域。`
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2020-05-30 13:25:53

詳解狀態(tài)監(jiān)控的MEMS加速度計(jì)

。這并沒(méi)有妨礙狀態(tài)監(jiān)控產(chǎn)品設(shè)計(jì)師在新產(chǎn)品中使用噪音性能優(yōu)良的MEMS。作為一項(xiàng)基于固態(tài)電子器件和內(nèi)置半導(dǎo)體制造設(shè)施技術(shù),MEMS向狀態(tài)監(jiān)控產(chǎn)品設(shè)計(jì)師提供了幾個(gè)極具吸引力且有價(jià)值的優(yōu)勢(shì)。撇開(kāi)性能因素,下面是狀態(tài)監(jiān)控領(lǐng)域的任何人都應(yīng)對(duì)MEMS加速度計(jì)感興趣的主要原因。
2019-07-17 06:38:53

高性能MEMS傳感器在汽車中有什么應(yīng)用?

微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)是通過(guò)使用先進(jìn)的微制造技術(shù)將機(jī)械器件、傳感器和電子組件部署在單個(gè)硅基板上而實(shí)現(xiàn)。如今,這些技術(shù)已經(jīng)逐漸取代了汽車市場(chǎng)各種車型使用的大部分傳感裝置,并帶來(lái)系統(tǒng)在降低成本、持續(xù)可靠性(由于固有的穩(wěn)健性)、空間利用(由于其緊湊的尺寸)以及工作性能等方面相當(dāng)大的設(shè)計(jì)優(yōu)勢(shì)。
2019-08-02 06:35:04

SPEA H3560 - MEMS取放傳送裝置

 SPEA在MEMS半導(dǎo)體測(cè)試分類機(jī)、分選設(shè)備設(shè)計(jì)制造有數(shù)十年的歷史,公司推出的的H3560 - MEMS取放傳送裝置性能凸出,優(yōu)勢(shì)明顯。H3560 具有所有的接觸和界面被測(cè)器件所需
2022-09-23 11:18:36

ST mems陀螺儀

ST mems陀螺儀 基于ST專有的MEMS技術(shù)的優(yōu)勢(shì)和世界
2008-09-23 10:41:202137

MEMS的應(yīng)用與機(jī)遇”研討會(huì)探索MEMS廣闊市場(chǎng)

MEMS的應(yīng)用與機(jī)遇”研討會(huì)探索MEMS廣闊市場(chǎng)  MEMS是多學(xué)科交叉融合的前沿技術(shù),是未來(lái)的主導(dǎo)產(chǎn)業(yè)之一。MEMS以其微型化的優(yōu)勢(shì),在消費(fèi)電子、醫(yī)療電子集汽車電子等
2010-02-22 11:18:02502

MEMS規(guī)范概述

MEMS規(guī)范概述     許多擁有晶圓廠的半導(dǎo)體制造商尋求通過(guò)為無(wú)晶圓廠MEMS開(kāi)發(fā)商制造MEMS器件來(lái)利用他們舊生產(chǎn)線的產(chǎn)能,但是若
2010-03-11 14:35:31530

MEMS光開(kāi)關(guān)的優(yōu)勢(shì)有發(fā)展動(dòng)態(tài)簡(jiǎn)介

MEMS光開(kāi)關(guān)的優(yōu)勢(shì)有發(fā)展動(dòng)態(tài)簡(jiǎn)介 摘要 本文介紹了基于MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))技術(shù)的光開(kāi)關(guān)的技術(shù)優(yōu)勢(shì)及主要制造商情況,并概要分
2010-03-20 11:15:341065

MEMS振蕩器與傳統(tǒng)石英晶振的比較優(yōu)勢(shì)

中心議題: MEMS振蕩器與傳統(tǒng)石英晶振的比較優(yōu)勢(shì) Stime最新的MEMS晶振性能介紹 解決方案: MEMS振蕩器體積更小巧,厚度可低至0.25毫米 MEMS振蕩器的穩(wěn)固程度為傳統(tǒng)石英晶振的十倍 MEMS
2012-09-14 23:09:332323

MEMS麥克風(fēng)優(yōu)勢(shì):抗干擾、抗射頻、有效改善音質(zhì)

MEMS麥克風(fēng)在移動(dòng)設(shè)備中的應(yīng)用優(yōu)勢(shì),MEMS麥克風(fēng)不僅提供極佳的音頻質(zhì)量,而且具有優(yōu)良的抗電磁干擾功能
2012-12-10 14:01:592977

Multitest設(shè)備全面支持MEMS振蕩器的相關(guān)優(yōu)勢(shì)

  面向世界各地的集成元件制造商(IDM)和最終測(cè)試分包商,設(shè)計(jì)和制造最終測(cè)試分選機(jī)、測(cè)試座和負(fù)載板的廠商Multitest公司,日前宣布其設(shè)備全面支持MEMS振蕩器的相關(guān)優(yōu)勢(shì)。
2012-12-21 14:09:25731

MEMS制造中精確測(cè)量薄膜厚度的方法研究與比較_陳莉

MEMS制造中精確測(cè)量薄膜厚度的方法研究與比較_陳莉
2017-03-19 18:58:182

淺談MEMS在狀態(tài)監(jiān)控領(lǐng)域的優(yōu)勢(shì)

作為一項(xiàng)基于固態(tài)電子器件和內(nèi)置半導(dǎo)體制造設(shè)施技術(shù),MEMS向狀態(tài)監(jiān)控產(chǎn)品設(shè)計(jì)師提供了幾個(gè)極具吸引力且有價(jià)值的優(yōu)勢(shì)。撇開(kāi)性能因素,我們就來(lái)說(shuō)說(shuō)狀態(tài)監(jiān)控領(lǐng)域的任何人都應(yīng)對(duì)MEMS加速度計(jì)感興趣的主要原因。
2018-07-07 11:25:00590

意法半導(dǎo)體談MEMS的發(fā)展 非??春闷嚭凸I(yè)

MEMS傳感器的新聞發(fā)布會(huì),ST談?wù)摿?b class="flag-6" style="color: red">MEMS的發(fā)展現(xiàn)狀,ST做了20年的MEMS 傳感器,優(yōu)勢(shì)是經(jīng)過(guò)市場(chǎng)檢驗(yàn)的制造技術(shù),更是集成市場(chǎng)領(lǐng)先者,MEMS傳感器起始于汽車和工業(yè),真正的助力卻是消費(fèi)類電子。所以ST MEMS的下一波發(fā)展機(jī)會(huì)將會(huì)再次回到消費(fèi)電子行業(yè)。
2018-01-19 16:14:522220

MEMS晶圓制造滿產(chǎn),募投新產(chǎn)線增發(fā)在即

公司實(shí)為MEMS 晶圓純代工廠前列,產(chǎn)能及利用率雙雙提升,充分受益行業(yè)景氣。Yole 統(tǒng)計(jì),2017 年公司名列MEMS 晶圓代工廠第三名。當(dāng)前Silex MEMS 制造產(chǎn)能達(dá)4000
2018-07-25 11:08:002544

全面屏CNC切割方式優(yōu)勢(shì)

全面屏CNC切割方式在全面屏加工中是有優(yōu)勢(shì)的,那具體有哪些優(yōu)勢(shì)
2018-03-06 10:32:358064

MEMS制造對(duì)MEMS產(chǎn)業(yè)來(lái)說(shuō)是福是禍?

MEMS產(chǎn)業(yè)增長(zhǎng)潛力巨大,而MEMS制造是產(chǎn)業(yè)持續(xù)發(fā)展的瓶頸還是將潛力兌現(xiàn)成現(xiàn)實(shí)的關(guān)鍵路徑?據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,漫長(zhǎng)的開(kāi)發(fā)周期、繁多的制造平臺(tái)、研發(fā)期間的用量少帶來(lái)的高報(bào)價(jià)是阻礙新產(chǎn)品快速研發(fā)的主要絆腳石。
2018-05-21 23:27:003239

談?wù)?b class="flag-6" style="color: red">MEMS技術(shù)原理及優(yōu)勢(shì)

可能大部分對(duì)MEMS還是比較陌生,但其實(shí)MEMS在生活中早已無(wú)處不在了,智能手機(jī)、手環(huán)、汽車、無(wú)人機(jī)、VR/AR頭戴式設(shè)備等,都應(yīng)用了MEMS器件。
2018-07-15 08:40:2421882

SiTime MEMS OCXO恒溫振蕩器的應(yīng)用優(yōu)勢(shì)及領(lǐng)域

除了5G通信,Emerald MEMS OCXO還適合物聯(lián)網(wǎng)和汽車應(yīng)用。在物聯(lián)網(wǎng)領(lǐng)域,MEMS 時(shí)鐘具有體積小、重量輕和低功耗的優(yōu)勢(shì)。而在汽車領(lǐng)域,嚴(yán)苛環(huán)境下的穩(wěn)定性以及智能汽車對(duì)時(shí)鐘精度的高要求都使得MEMS OCXO極具競(jìng)爭(zhēng)力。
2020-02-12 09:05:001816

IMT再次頒發(fā)2018年度MEMS專項(xiàng)獎(jiǎng)學(xué)金 以鼓勵(lì)在MEMS制造領(lǐng)域的創(chuàng)新

IMT公司專項(xiàng)獎(jiǎng)學(xué)金支持未來(lái)之才開(kāi)展創(chuàng)新研究,推動(dòng)MEMS制造工藝技術(shù)快速發(fā)展。
2019-05-06 14:22:04809

關(guān)于MEMS技術(shù)的原理和性能分析

源自微電子,MEMS制造優(yōu)勢(shì)在于批處理。就像其它任何產(chǎn)品,MEMS器件規(guī)模量產(chǎn)加大了它的經(jīng)濟(jì)效益。如同集成電路制造MEMS制造中光刻方法往往最具成本效益,當(dāng)然也是最常用的技術(shù)。然而,其它處理方式,同時(shí)兼具優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn),也在使用,包括化學(xué)/物理氣相沉積(CVD/ PVD)、外延和干法蝕刻。
2019-08-29 15:10:579161

MEMS麥克風(fēng)的內(nèi)部組成及應(yīng)用優(yōu)勢(shì)分析

MEMS(微型機(jī)電系統(tǒng)) 麥克風(fēng)是基于MEMS技術(shù)制造的麥克風(fēng),簡(jiǎn)單的說(shuō)就是一個(gè)電容器集成在微硅晶片上,使用表貼工藝貼裝到電路板上并搭配合適的ASIC,最后進(jìn)行蓋外殼完成封裝。MEMS麥克風(fēng)在簡(jiǎn)潔的外觀之余,同時(shí)提供高性能、保真度及可靠性,適用于攜帶式裝置。
2019-08-15 14:40:157195

4種高縱橫比MEMS制造技術(shù)詳解

深度反應(yīng)離子刻蝕或DRIE是一種相對(duì)較新的制造技術(shù),已被MEMS社區(qū)廣泛采用。
2020-03-14 11:04:075187

硅基MEMS制造技術(shù)分析

MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))技術(shù)是一種使產(chǎn)品集成化、微型化、智能化的微型機(jī)電系統(tǒng)。在半導(dǎo)體集成電路技術(shù)之上發(fā)展起來(lái)的硅基MEMS制造技術(shù)目前使用十分廣泛。 國(guó)外技術(shù)發(fā)展日趨成熟 上世紀(jì)80年代
2020-04-03 15:27:421773

MEMS加速度計(jì)有什么優(yōu)勢(shì)

MEMS是指可批量制作的,將微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號(hào)處理和控制電路、直至接口、通信和電源等集成于一塊或多塊芯片上的微型器件或系統(tǒng)。 用MEMS工藝制造的傳感器具有微型化、集成化
2020-04-16 16:17:461001

三級(jí)鐘MEMS振蕩器的特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)

三級(jí)鐘MEMS振蕩器的問(wèn)世,讓MEMS技術(shù)順利切入高端精密頻率組件市場(chǎng),對(duì)石英振蕩器帶來(lái)全面性的威脅,原本石英晶體精準(zhǔn)、穩(wěn)定度高等特性固守高端頻率組件領(lǐng)域的優(yōu)勢(shì)已不復(fù)存在。
2020-05-04 17:41:002154

敏芯股份:MEMS芯片的制造工藝和集成電路芯片完全不同

敏芯股份稱,MEMS芯片的制造工藝和集成電路芯片完全不同,且一種MEMS芯片對(duì)應(yīng)一種制造工藝。芯片研發(fā)公司要想做出性能出色的MEMS芯片,首先要有自主開(kāi)發(fā)生產(chǎn)工藝的能力。這是MEMS芯片企業(yè)創(chuàng)業(yè)艱難的核心所在,也是公司推動(dòng)MEMS產(chǎn)業(yè)鏈全國(guó)產(chǎn)化的原因。
2020-05-30 11:08:1413787

三級(jí)鐘MEMS振蕩器的性能特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)

三級(jí)鐘MEMS振蕩器的問(wèn)世,讓MEMS技術(shù)順利切入高端精密頻率組件市場(chǎng),對(duì)石英振蕩器帶來(lái)全面性的威脅,原本石英晶體精準(zhǔn)、穩(wěn)定度高等特性固守高端頻率組件領(lǐng)域的優(yōu)勢(shì)已不復(fù)存在。
2020-06-19 09:49:082059

MEMS硅晶振與石英晶振區(qū)別

MEMS硅晶振采用硅為原材料,采用先進(jìn)的半導(dǎo)體工藝制造而成。因此在高性能與低成本方面,有明顯于石英的優(yōu)勢(shì)
2020-07-17 17:08:392422

三種最常用的MEMS制造技術(shù)解析

MEMS器件利用半導(dǎo)體加工技術(shù)來(lái)制造三維機(jī)械結(jié)構(gòu),三種最常用的MEMS制造技術(shù)包括體微加工(Bulk Micro Machining)、表面微加工(Surface Micro Machining)和LIGA。
2020-07-29 17:42:586928

什么是MEMS制造技術(shù),它的作用又是什么

MEMS是一種制造技術(shù),諸如杠桿、齒輪、活塞、發(fā)動(dòng)機(jī)甚至蒸汽機(jī)都是由MEMS制造的。相比于芯片制造業(yè)越來(lái)越被普通人熟知,而與芯片采用相同工藝的MEMS技術(shù)顯得有些神秘。什么是MEMSMEMS
2021-02-20 11:05:316656

MEMS工藝——半導(dǎo)體制造技術(shù)

MEMS工藝——半導(dǎo)體制造技術(shù)說(shuō)明。
2021-04-08 09:30:41237

什么是MEMS傳感器,MEMS傳感器的使用原理說(shuō)明

MEMS IC的制造可以用硅來(lái)完成,然后以其他方式放置少量的材料層并將其固定在Si襯底上。然后,將其選擇性地固定,從而留下微小的3D結(jié)構(gòu),例如膜片,橫梁,杠桿,彈簧和齒輪。
2021-06-19 14:56:0510195

SiTime MEMS硅晶振五大優(yōu)勢(shì)

使用SiTime MEMS硅晶振有許多好處 - 從低功耗和高性能到可靠性和彈性。 MEMS作為微電子機(jī)械系統(tǒng)身就很小。硅晶振可實(shí)現(xiàn)極端擴(kuò)展。無(wú)論是單獨(dú)的諧振器還是與其控制電子器件(例如,振蕩器IC
2021-10-27 17:00:131299

MEMS芯片制造工藝流程

贊助商廣告展示 原文標(biāo)題:MEMS芯片制造工藝流程詳解 文章出處:【微信公眾號(hào):今日半導(dǎo)體】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明出處。 ? ? ? 審核編輯:彭靜
2022-07-11 16:20:185860

推薦!這是我看過(guò)最棒的MEMS介紹文章,從原理制造到應(yīng)用全講透

MEMS技術(shù)日益成熟,并已在在各類電子產(chǎn)品上快速普及,從產(chǎn)值來(lái)看,有數(shù)據(jù)顯示目前MEMS傳感器約占整體傳感器市場(chǎng)一半以上產(chǎn)值。MEMS傳感器如此重要,然而大部分人,包括技術(shù)人員對(duì)MEMS技術(shù)還是比較
2022-10-25 10:14:19976

基于MEMS微橋結(jié)構(gòu)技術(shù)制造的微測(cè)輻射熱計(jì)器件

隨著微加工技術(shù)的發(fā)展,基于MEMS微橋結(jié)構(gòu)技術(shù)制造的微測(cè)輻射熱計(jì)器件,具備與半導(dǎo)體讀出電路單芯片集成并實(shí)現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)的能力,逐漸成為非制冷紅外探測(cè)器的主流制造技術(shù)。
2023-02-21 17:10:221213

飛秒激光輔助制造石英晶體MEMS諧振器

提出了一種利用飛秒激光誘導(dǎo)化學(xué)蝕刻(FLICE)制造壓電致動(dòng)的石英晶體MEMS諧振器的方法。
2023-04-20 09:10:46878

RF MEMS開(kāi)關(guān)的運(yùn)作、優(yōu)勢(shì)

RF MEMS開(kāi)關(guān)是一種小型微機(jī)械開(kāi)關(guān),具有低功耗,可以使用傳統(tǒng)的MEMS制造技術(shù)生產(chǎn)。它們類似于房間里的開(kāi)關(guān),通過(guò)打開(kāi)或關(guān)閉接觸點(diǎn)來(lái)傳導(dǎo)信號(hào)。 在RF MEMS設(shè)備的情況下,開(kāi)關(guān)的機(jī)械部件僅有幾微米大小。與普通開(kāi)關(guān)不同的是,RF MEMS開(kāi)關(guān)傳導(dǎo)的信號(hào)處于射頻范圍內(nèi)。
2023-05-23 14:58:51862

MEMS振蕩器與傳統(tǒng)OSC 可以互相替換嗎?(二)MEMS振蕩器的優(yōu)勢(shì)

MEMS振蕩器的優(yōu)勢(shì)照比傳統(tǒng)OSC的主要優(yōu)勢(shì)
2022-02-08 17:08:36564

這家公司,重新構(gòu)想MEMS制造

MEMS 器件通常使用兩個(gè)芯片制造:一個(gè)來(lái)自 CMOS 晶圓,另一個(gè)來(lái)自 MEMS 晶圓。這種兩芯片制造工藝給制造商帶來(lái)了一些挑戰(zhàn)。為 MEMS 和 CMOS 生產(chǎn)單獨(dú)的晶圓成本高昂,會(huì)延長(zhǎng)上市時(shí)間,而且只能生產(chǎn)小批量(特別是在硅短缺的情況下)。
2023-08-15 16:14:40550

制造MEMS芯片需要什么工藝?對(duì)傳感器有什么影響?這次終于講明白了?。ㄍ扑])

本文整理自公眾號(hào)芯生活SEMI Businessweek中關(guān)于MEMS制造工藝的多篇系列內(nèi)容,全面、專業(yè)地介紹了MEMS芯片制造中的常用工藝情況,推薦! ? 作為現(xiàn)代傳感器重要的制造技術(shù),MEMS
2023-10-20 16:10:351408

什么是MEMS?4步圖解MEMS芯片制造

以最清晰明了的方式,圖解直觀闡述MEMS傳感器芯片的制造過(guò)程和原理! MEMS是Micro Electro Mechanical Systems(微機(jī)電系統(tǒng))的縮寫(xiě),具有微小的立體結(jié)構(gòu)(三維結(jié)構(gòu)),是處理各種輸入、輸出信號(hào)的系統(tǒng)的統(tǒng)稱。 ? 是利用微細(xì)加工技術(shù),將機(jī)械零零件、電子電路
2023-11-02 08:37:09777

MEMS制造方法展望

和封裝成本。本文討論不同的半導(dǎo)體 MEMS 制造方法及其進(jìn)展。 半導(dǎo)體 MEMS 的重要性 MEMS 主要是傳感器系統(tǒng),可以控制或感測(cè)化學(xué)、光學(xué)或物理量,例如流體、加速度或輻射。MEMS 設(shè)備/傳感器擁有與外界的電氣接口,通常通過(guò) IC 實(shí)現(xiàn),IC 提供必要的智能,使設(shè)備能
2023-11-24 09:19:31287

MEMS制造工藝過(guò)程中膜厚測(cè)試詳解

膜厚測(cè)試在MEMS制造工藝中至關(guān)重要,它不僅關(guān)乎工藝質(zhì)量,更直接影響著最終成品的性能。為了確保每一片MEMS器件的卓越品質(zhì),精確測(cè)量薄膜厚度是不可或缺的一環(huán)。
2024-01-08 09:40:54262

MEMS差分振蕩器與傳統(tǒng)差分振蕩器的比較

,而MEMS差分振蕩器則采用微機(jī)械元件實(shí)現(xiàn),因此能夠在尺寸和功耗上實(shí)現(xiàn)更大的優(yōu)化。本文將深入探討MEMS差分振蕩器與傳統(tǒng)差分振蕩器之間的區(qū)別和優(yōu)勢(shì)。 首先,MEMS差分振蕩器的最大優(yōu)勢(shì)在于其微機(jī)械元件的制造方式。傳統(tǒng)差分振蕩器使用的元件需
2024-01-26 14:20:52128

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