MEMS器件目前主要應(yīng)用于汽車和消費(fèi)電子，未來在醫(yī)療、工業(yè)、航空航天市場也將逐漸普及。那么MEMS是什么？有什么特點(diǎn)？MEMS設(shè)計(jì)與制造面臨哪些困難？本文將會一一解答。
2016-11-01 10:46:17
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硅基MEMS加工技術(shù)主要包括體硅MEMS加工技術(shù)和表面MEMS加工技術(shù)。體硅MEMS加工技術(shù)的主要特點(diǎn)是對硅
2018-04-12 08:40:449594 
隨著便攜消費(fèi)電子的走熱，MEMS器件得到了爆發(fā)式的增長。短短兩年時(shí)間MEMS器件成為消費(fèi)電子領(lǐng)域炙手可熱的器件，近幾年都會保持高速增長趨勢。現(xiàn)在讓我們一起來了解下MEMS各器件的走勢吧。
2013-01-23 14:43:052334 
MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展十分迅速，但是人們常常忽視對其的早期測試。乍一看來，MEMS器件和傳統(tǒng)IC器件的制造十分相似，但是，由于MEMS器件具有額外的機(jī)械部分（大多是可活動的）和封裝，這些部分的成本通常占其總成本的大部分，因此MEMS器件的特性比傳統(tǒng)IC器件要復(fù)雜得多，而且各不相同。
2016-11-05 07:25:471377 為了獲得高性能的MEMS磁傳感器，首先要根據(jù)器件的應(yīng)用對象對器件進(jìn)行設(shè)計(jì)，由此確定器件的結(jié)構(gòu)、使用的材料、應(yīng)用的工作原理和感應(yīng)技術(shù)等。MEMS設(shè)計(jì)人員可以根據(jù)模擬和建模工具選擇制造傳感器的最佳工藝
2018-04-11 09:40:118059 
據(jù)IHS iSuppli公司的MEMS與傳感器研究報(bào)告，由于價(jià)格相對較高，以及在汽車、醫(yī)療與工業(yè)等領(lǐng)域的應(yīng)用范圍不斷擴(kuò)大，壓力傳感器到2014年將成為銷售額最高的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)器件。
2011-10-21 09:06:24947 
鑒于MEMS工藝源自光刻微電子工藝，所以人們很自然會考慮用IC設(shè)計(jì)工具來創(chuàng)建MEMS器件的掩膜。
2011-12-09 11:44:16858 廣。 ? MEMS 重要類別——IMU ? 慣性測量單元一直是MEMS市場里重要的產(chǎn)品類型，主要包括加速度計(jì)、陀螺儀和磁力計(jì)。如今，由分立的慣性測量單元組合成的三軸、六軸、九軸IMU，將加速度傳感器、陀螺儀、磁傳感器等MEMS器件集成在一起，以滿足生產(chǎn)
2023-08-01 00:08:001007 本帖最后由 eehome 于 2013-1-5 09:51 編輯
MEMS器件的封裝形式是把基于MEMS的系統(tǒng)方案推向市場的關(guān)鍵因素。研究發(fā)現(xiàn)，當(dāng)今基于MEMS的典型產(chǎn)品中，封裝成本幾乎占去
2010-12-29 15:44:12
ＭＥＭＳ技術(shù)涉及到慣性器件如加速度計(jì)與陀螺、ＡＦＭ（原子力顯微鏡）、數(shù)據(jù)存儲、三維微型結(jié)構(gòu)的制作、微型閥門、泵和微型噴口、流量器件、微型光學(xué)器件、各種執(zhí)行器、微型機(jī)電器件性能模擬、各種制造工藝、封裝鍵合、醫(yī)用器件、實(shí)驗(yàn)表征器件、壓力傳感器、麥克風(fēng)以及聲學(xué)器件等領(lǐng)域。并在軍事、民用范圍內(nèi)廣泛應(yīng)用。
2019-06-20 06:03:09
和控制電路、直至接口、通信和電源等集成于一塊或多塊芯片上的微型器件或系統(tǒng)。而MEMS傳感器就是采用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)制造出來的新型傳感器。MEMS是用傳統(tǒng)的半導(dǎo)體工藝和材料，以半導(dǎo)體制造技術(shù)為
2016-12-09 17:46:21
重要器件。傳感器發(fā)展到今天，小型化、智能化、集成化，已經(jīng)是升級換代的必由之路。今天，我們來為大家介紹一下傳感器家族的mini型產(chǎn)品——--MEMS傳感器。什么是MEMS傳感器？MEMS的全稱是微型電子機(jī)械
2018-11-12 10:51:35
傳感器曾經(jīng)被局限在汽車市場和工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域；今天，隨著MEMS傳感器越來越小，價(jià)格越來越低，能效越來越高，設(shè)計(jì)和應(yīng)用空間不斷擴(kuò)大，它在消費(fèi)類應(yīng)用市場的普及率正在不斷提高?！ ≈圃爝@些器件所采用的微加工
2018-10-31 16:56:44
MEMS傳感器，也就是我們常說的智能傳感器，是應(yīng)用最廣泛的MEMS器件。它一般是把信號處理電路和敏感單元集成制作在一個(gè)芯片上，這樣能夠感知被測參數(shù)，并且還能對所得到的信號進(jìn)行分析、處理和識別、判斷
2013-10-11 16:21:38
MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems)是微機(jī)電系統(tǒng)的縮寫，MEMS技術(shù)建立在微米/納米基礎(chǔ)上，是對微米/納米材料進(jìn)行設(shè)計(jì)、加工、制造、測量和控制的技術(shù)，完整的MEMS是由微傳感器、微執(zhí)行器、信號處理和控制電路、通訊接口和電源等部件組成的一體化的微型器件系統(tǒng)。
2019-09-29 09:34:52
器件或系統(tǒng)。MEMS是隨著半導(dǎo)體集成電路微細(xì)加工技術(shù)和超精密機(jī)械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的，目前MEMS加工技術(shù)還被廣泛應(yīng)用于微流控芯片與合成生物學(xué)等領(lǐng)域，從而進(jìn)行生物化學(xué)等實(shí)驗(yàn)室技術(shù)流程的芯片集成化
2018-09-07 15:24:09
mg或1.7%。圖2. PZT加速度計(jì)（上）和MEMS加速度計(jì)（下）的噪聲密度譜；在高達(dá)10 kHz時(shí)，結(jié)果幾乎相同；主要差別在MEMS加速度計(jì)的低頻響應(yīng)。不同于PZT器件，MEMS器件具有低頻
2018-10-23 14:29:49
1. MEMS IMU配置(ADIS16485)可用帶寬及其與跨軸相位匹配能力的關(guān)系對于多軸設(shè)計(jì)也至關(guān)重要。有些陀螺儀結(jié)構(gòu)帶寬有限，與總降噪有關(guān)，而有些結(jié)構(gòu)帶寬有限(通常低于100 Hz)是由于反饋電子器件
2018-10-18 10:55:34
Eric Carty、Padraig Fitzgerald和Padraig McDaidADI公司簡介過去30年來，
MEMS開關(guān)一直被標(biāo)榜為性能有限的機(jī)電繼電器的出色替代
器件，因?yàn)樗子谑褂?，尺?/div>
2018-10-17 10:52:05
性能、更多功能(技術(shù)推動)與更具創(chuàng)新力的設(shè)計(jì)方法(設(shè)計(jì)推動的創(chuàng)新) ，使最終的MEMS器件更適合消費(fèi)電子市場的需求[1]。
2019-11-05 06:19:06
MEMS器件目前主要應(yīng)用于汽車和消費(fèi)電子，未來在醫(yī)療、工業(yè)、航空航天市場也將逐漸普及。那么MEMS是什么？有什么特點(diǎn)？MEMS設(shè)計(jì)與制造面臨哪些困難？本文將會一一解答?！ ?b class="flag-6" style="color: red">MEMS是什么？ 微機(jī)
2018-11-07 11:00:01
DMD電輸入-光輸出器件，使得開發(fā)人員能夠執(zhí)行高速、高效和可靠空間光調(diào)制，來生成一個(gè)投射圖像。MEMS技術(shù)所取得的進(jìn)步基于MEMS的DMD的不斷創(chuàng)新正在為開發(fā)人員提供更多機(jī)會，將基于投影的顯示技術(shù)包含
2018-09-06 14:58:52
微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS，Micro-Electro-Mechanical System）是指集微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、接口、通信和電源等于一體的微型器件或系統(tǒng)。其尺寸
2018-10-15 10:47:43
微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS) 將很快成為智能系統(tǒng)設(shè)計(jì)和構(gòu)造不可或缺的部分。這些器件縮短了物理世界和電子世界之間的差距，它們用于眾多應(yīng)用，涉及各種細(xì)分市場。在眾多細(xì)分市場中，價(jià)格降低、準(zhǔn)確度要求提高和快速面市需求將對設(shè)計(jì)和制造性能提出新的約束條件。企業(yè)要獲得成功必須找到新的方法來應(yīng)對這些挑戰(zhàn)。
2019-10-17 07:11:28
據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道，氣壓傳感器是一類非常有用的MEMS器件。它們在物聯(lián)網(wǎng)（IoT）中有非常廣泛的應(yīng)用，從氣象監(jiān)測到室內(nèi)資產(chǎn)跟蹤。
2020-08-07 07:11:41
作為一項(xiàng)基于固態(tài)電子器件和內(nèi)置半導(dǎo)體制造設(shè)施技術(shù)，MEMS向狀態(tài)監(jiān)控產(chǎn)品設(shè)計(jì)師提供了幾個(gè)極具吸引力且有價(jià)值的優(yōu)勢。撇開性能因素，我們就來說說狀態(tài)監(jiān)控領(lǐng)域的任何人都應(yīng)對MEMS加速度計(jì)感興趣的主要原因
2018-10-12 11:01:36
的主要設(shè)計(jì)、制作，傳感技術(shù)及器件性質(zhì)進(jìn)行綜述，并對其未來發(fā)展進(jìn)行展望?！ ?、MEMS磁傳感器設(shè)計(jì)及制作 1.1 MEMS磁傳感器設(shè)計(jì) 為了獲得高性能的MEMS磁傳感器，首先要根據(jù)器件的應(yīng)用對象對器件
2018-11-09 10:38:15
`作為一種新型封裝器件，微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)將成為21世紀(jì)電子領(lǐng)域的重要技術(shù)之一，但是對于如何在PCB上裝配MEMS，中國工程師仍知之甚少。要想在這一新興技術(shù)領(lǐng)域占有一席之地，除了開發(fā)設(shè)計(jì)外
2014-08-19 15:50:19
的巨大進(jìn)步，包括超小型制造結(jié)構(gòu)、出色的穩(wěn)定性和可重復(fù)性、低功耗，所有這些都已成為硅工業(yè)不折不扣的要求。迄今為止，MEMS麥克風(fēng)的功耗和噪聲水平還是相當(dāng)高，不宜用于助聽器，但滿足這兩項(xiàng)關(guān)鍵要求的新器件
2019-11-05 08:00:00
模塊的線性度影響，而且C/V和A/D的動態(tài)范圍要求可能會更加嚴(yán)格。相反，將MEMS傳感器放在負(fù)反饋閉環(huán)中使用有許多好處，例如改進(jìn)的帶寬、對MEMS器件的工藝和溫度變化具有較低的敏感性。另外，由于C/V
2018-12-05 15:12:05
我在原型中使用LPS331。除了可以選擇輸出數(shù)據(jù)速率之外，數(shù)據(jù)表不提供任何時(shí)序信息。 SPI的時(shí)序值是什么，例如最大時(shí)鐘頻率等。我搜索ST站點(diǎn)，找不到任何其他有用的信息。對于I2C，它表示它符合快速
2018-11-16 10:44:20
早在1979年，微電子機(jī)械開關(guān)就被用于轉(zhuǎn)換低頻電信號。從那時(shí)開始，開關(guān)設(shè)計(jì)就采用懸臂、旋轉(zhuǎn)和隔膜的布局來實(shí)現(xiàn)RF和微波頻率下的良好性能。RF MEMS表現(xiàn)出低損耗、低功耗和沒有互調(diào)失真。對于有微秒開關(guān)速度就足夠的應(yīng)用來說，這些器件用于取代傳統(tǒng)FET或p-i-n二極管開關(guān)極有吸引力。
2019-10-21 07:38:31
近年來射頻微電子系統(tǒng)(RF MEMS)器件以其尺寸小、功耗低而受到廣泛關(guān)注，特別是MEMS開關(guān)構(gòu)建的移相器與天線，是實(shí)現(xiàn)上萬單元相控陣?yán)走_(dá)的關(guān)鍵技術(shù)，在軍事上有重要意義。在通信領(lǐng)域上亦憑借超低
2019-07-29 08:31:54
ST是否為其MEMS器件提供特性數(shù)據(jù)？ #mems #characterization以上來自于谷歌翻譯以下為原文 Does ST provide characterization data for its MEMS devices? #mems #characterization
2018-11-09 09:46:51
作為一項(xiàng)基于固態(tài)電子器件和內(nèi)置半導(dǎo)體制造設(shè)施技術(shù)，MEMS向狀態(tài)監(jiān)控產(chǎn)品設(shè)計(jì)師提供了幾個(gè)極具吸引力且有價(jià)值的優(yōu)勢。撇開性能因素，我們就來說說狀態(tài)監(jiān)控領(lǐng)域的任何人都應(yīng)對MEMS加速度計(jì)感興趣的主要原因
2018-10-11 10:31:14
兩個(gè)橫隔（傳感器橫隔上部、傳感器下部）之間的間距變化，導(dǎo)致隔板之間的電容變化，據(jù)此可以測算出壓力大小。（2）MEMS加速度傳感器MEMS加速度傳感器，顧名思義，是一種能夠測量加速度的MEMS器件。加速度
2021-04-09 07:00:00
兩個(gè)橫隔（傳感器橫隔上部、傳感器下部）之間的間距變化，導(dǎo)致隔板之間的電容變化，據(jù)此可以測算出壓力大小。（2）MEMS加速度傳感器MEMS加速度傳感器，顧名思義，是一種能夠測量加速度的MEMS器件。加速度
2021-05-25 07:00:00
什么是RF MEMS？有哪些關(guān)鍵技術(shù)與器件？微電子機(jī)械系統(tǒng)(MicroElectroMechanicalSystem)，簡稱MEMS，是以微電子技術(shù)為基礎(chǔ)而興起發(fā)展的，以硅、砷化鎵、藍(lán)寶石等為襯底
2019-08-01 06:17:43
等，同時(shí)在機(jī)械結(jié)構(gòu)上制備了電極，以便通過電子技術(shù)進(jìn)行控制。生活中有哪些MEMS器件？第一個(gè)可轉(zhuǎn)動的MEMS馬達(dá)于1988年誕生于加州大學(xué)伯克利分校，如圖1所示；之后于1989年，美國桑迪亞國家實(shí)驗(yàn)室
2020-05-12 17:27:14
基于MEMS的TI TI DLP? Pico? 投影顯示技術(shù)的核心是一組高反射性鋁制微鏡，被稱為數(shù)字微鏡器件 (DMD)。一個(gè)DMD可以包含數(shù)百萬個(gè)單獨(dú)控制的微鏡，每個(gè)微鏡位于相關(guān)的補(bǔ)償金屬氧化物
2022-11-18 06:41:21
PZT加速度計(jì)（上）和MEMS加速度計(jì)（下）的噪聲密度譜；在高達(dá)10 kHz時(shí)，結(jié)果幾乎相同；主要差別在MEMS加速度計(jì)的低頻響應(yīng)。不同于PZT器件，MEMS器件具有低頻響應(yīng)性能（可測量0.1 Hz
2018-11-01 11:01:00
易譜科技有限公司代理 Radant MEMS 公司在中國區(qū)的產(chǎn)品銷售與技術(shù)支持服務(wù)。Radant 是一家專業(yè)設(shè)計(jì)、生產(chǎn)射頻/微波開關(guān)的廠商，目前產(chǎn)品已在美國以及亞洲市場有了廣泛的應(yīng)用，與無線通信
2014-10-24 11:36:26
，壓力傳感器、加速度計(jì)、陀螺儀與流量傳感器四類器件合計(jì)占汽車MEMS系統(tǒng)的99%。MEMS壓力傳感器MEMS壓力傳感器是汽車中應(yīng)用最多的傳感器， 至少18個(gè)汽車應(yīng)用領(lǐng)域促進(jìn)壓力傳感器的增長，包括：輪胎壓力，電子
2016-12-07 15:42:36
。這并沒有妨礙狀態(tài)監(jiān)控產(chǎn)品設(shè)計(jì)師在新產(chǎn)品中使用噪音性能優(yōu)良的MEMS。作為一項(xiàng)基于固態(tài)電子器件和內(nèi)置半導(dǎo)體制造設(shè)施技術(shù)，MEMS向狀態(tài)監(jiān)控產(chǎn)品設(shè)計(jì)師提供了幾個(gè)極具吸引力且有價(jià)值的優(yōu)勢。撇開性能因素，下面是狀態(tài)監(jiān)控領(lǐng)域的任何人都應(yīng)對MEMS加速度計(jì)感興趣的主要原因。
2019-07-17 06:38:53
是否可以使用Agilent 4284a LCR儀表檢查MEMS器件的動態(tài)性能？如果是的話，請轉(zhuǎn)到我的應(yīng)用說明。謝謝。 以上來自于谷歌翻譯 以下為原文Is it possible to check
2019-07-12 10:33:33
本帖最后由 gk320830 于 2015-3-7 11:21 編輯
釋放MEMS機(jī)械結(jié)構(gòu)的干法刻蝕技術(shù)濕法刻蝕是MEMS 器件去除犧牲材料的傳統(tǒng)工藝，總部位于蘇格蘭的Point 35
2013-11-04 11:51:00
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)運(yùn)動IC在走向更高的集成度、更小的芯片尺寸、更低的成本以及更高的性能和可靠性。這些趨勢在最新的加速度計(jì)、陀螺儀和慣性測量單元(IMU)上得到了體現(xiàn)，使得MEMS器件得以滿足多種下一代電子產(chǎn)品，特別是消費(fèi)電子產(chǎn)品的需求。
2019-10-29 07:52:04
隨著傳感器、物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用的大規(guī)模落地，微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）在近些年應(yīng)用越來越廣泛，MEMS的存在可以減小電子器件的大小。同時(shí)，與之相對應(yīng)的MEMS封裝也開始備受關(guān)注。
2020-05-12 10:23:29
論述了微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)器件縮減模型的建立是進(jìn)行MEMS系統(tǒng)級模擬的關(guān)鍵。論證了基于線性正交振型建立MEMS器件縮減模型是一種有效的方法，導(dǎo)出了MEMS器件動態(tài)縮減模型的微分方
2009-05-28 11:19:06
17 微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)在通信領(lǐng)域中有著廣泛的應(yīng)用前景，本文介紹了在無線通信和光通信中的MEMS 器件如MEMS 電感、電容、開關(guān)、濾波器、光檢測器等MEMS 器件的原理、結(jié)構(gòu)
2009-11-16 16:41:3715 RF-MEMS 不僅在體積上小于傳統(tǒng)射頻器件，易于單片集成，且其性能也優(yōu)于傳統(tǒng)射頻器件，此外，RF-MEMS 還可以實(shí)現(xiàn)器件多功能配置，如可重構(gòu)天線。因此，RF-MEMS近年來已成為全世
2009-11-26 15:59:3921 隨著MEMS 系統(tǒng)級設(shè)計(jì)成為研究的熱點(diǎn)，MEMS 系統(tǒng)級CAD 的開發(fā)日益重要。論文介紹了一種基于降階宏模型MEMS 系統(tǒng)級仿真平臺，通過有限元方法提取MEMS 器件幾何物理數(shù)據(jù)，建立MEMS 器件
2009-12-19 14:05:2914 MEMS規(guī)范概述
許多擁有晶圓廠的半導(dǎo)體制造商尋求通過為無晶圓廠MEMS開發(fā)商制造MEMS器件來利用他們舊生產(chǎn)線的產(chǎn)能，但是若
2010-03-11 14:35:31530 MEMS器件的封裝形式是把基于MEMS的系統(tǒng)方案推向市場的關(guān)鍵因素。研究發(fā)現(xiàn)，當(dāng)今基于MEMS的典型產(chǎn)品中，封裝成本幾
2010-11-29 09:23:131596 mems（微機(jī)電系統(tǒng)）傳感器;有三項(xiàng)MEMS技術(shù)產(chǎn)品：紅外傳感器、磁性傳感器、測角傳感器;在高檔汽車中，大約采用25至40只MEMS傳感器;
2012-12-11 14:31:37931 近年來，隨著消費(fèi)電子領(lǐng)域的快速發(fā)展，MEMS器件正式進(jìn)入了人們的視線。面對當(dāng)前的MEMS器件熱，電子發(fā)燒友網(wǎng)在這里先為大家整理了ADI近年來發(fā)布的MEMS器件新品來供大家認(rèn)識與了解。
2012-12-12 14:25:012394 
石英振蕩器與硅基MEMS技術(shù)（硅晶圓級封裝技術(shù)）結(jié)合的時(shí)鐘器件，該方案利用硅基MEMS技術(shù)真空封裝石英振蕩器。
2013-02-25 14:52:361239 
MEMS技術(shù)在THz無源器件中的應(yīng)用
2017-02-07 18:05:378 近年來，MEMS 慣性器件取得了飛速發(fā)展，基于 MEMS 慣性器件的慣導(dǎo)系統(tǒng)也逐漸成熟，應(yīng)用范圍越來越廣，特別是在航天和軍事上具有巨大的發(fā)展?jié)摿?。本文闡述了 MEMS 慣性器件特點(diǎn)、發(fā)展過程及在航天
2017-10-19 14:50:0616 MEMS器件動態(tài)特性的光學(xué)測量就是一種有效的測試手段。先進(jìn)的光學(xué)測量技術(shù)對MEMS器件在開發(fā)過程中了解其全視野動態(tài)響應(yīng)，完成各種不同的物理特性的多種參數(shù)（尺寸、薄膜厚度、臺階高度、橫截面、粗糙度、壓力、靜摩擦、彈性模量、響應(yīng)時(shí)間、熱膨脹、諧振頻率，等等）的測量。
2018-07-13 14:40:0015577 MEMS是一種結(jié)合微電子和微機(jī)械的半導(dǎo)體技術(shù)，在計(jì)算機(jī)和智能手機(jī)中可以找到，包括傳感器、執(zhí)行器和微齒輪等機(jī)械微結(jié)構(gòu)。MEMS現(xiàn)在幾乎無處不在，從智能手機(jī)到汽車安全氣囊、生物傳感器件以及光學(xué)器件等，MEMS可以借助典型計(jì)算機(jī)芯片中的半導(dǎo)體技術(shù)完成制造。
2018-03-12 15:29:001623 MEMS代工主要有兩種類型：IDM廠商提供的MEMS代工，獨(dú)立的代工廠提供的MEMS代工，其中獨(dú)立的代工廠包括集成電路代工廠和純MEMS代工廠。近幾年Fabless模式的MEMS器件制造商發(fā)展迅速
2018-07-31 09:24:002544 MEMS器件，尤其是MEMS傳感器已成為智能手機(jī)中的標(biāo)準(zhǔn)配置。同時(shí)，智能手機(jī)應(yīng)用軟件日益龐大的生態(tài)系統(tǒng)很大程度上要?dú)w功于MEMS傳感器。蘋果iPhone和Research in Motion
2018-04-28 15:24:001543 
即便您要重新設(shè)計(jì)傳動電機(jī)的MEMS傳感器，目標(biāo)也是讓工作盡可能輕松快捷地完成。利用Tanner L-Edit中的MEMS庫，您可以從大量MEMS器件不同的基本單元中進(jìn)行選擇，然后迅速裝配出您的MEMS版圖。
2018-05-09 14:48:114669 
MEMS器件的封裝形式是把基于MEMS的系統(tǒng)方案推向市場的關(guān)鍵因素。研究發(fā)現(xiàn)，當(dāng)今基于MEMS的典型產(chǎn)品中，封裝成本幾乎占去了所有物料和組裝成本的20%～40%。由于生產(chǎn)因素的影響，使得封裝之后的測試成本比器件級的測試成本更高，這就使MEMS產(chǎn)品的封裝選擇和設(shè)計(jì)更加重要。
2018-06-12 14:33:005752 
可能大部分對MEMS還是比較陌生，但其實(shí)MEMS在生活中早已無處不在了，智能手機(jī)、手環(huán)、汽車、無人機(jī)、VR/AR頭戴式設(shè)備等，都應(yīng)用了MEMS器件。
2018-07-15 08:40:2421882 創(chuàng)建基于傳感器的物聯(lián)網(wǎng)（IoT）邊緣器件會涉及多個(gè)設(shè)計(jì)領(lǐng)域，因此極具挑戰(zhàn)性（圖1）。但是，在同一硅片上創(chuàng)建一個(gè)既有采用傳統(tǒng)CMOS IC流程制作的電子器件，又有MEMS傳感器的邊緣器件似乎不大現(xiàn)實(shí)
2018-08-02 18:55:164557 據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道，加拿大魁北克Universite de Sherbrooke（舍布魯克大學(xué)）的研究人員已經(jīng)成功地在MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）器件中設(shè)計(jì)了一種AI（人工智能）技術(shù)，這標(biāo)志著MEMS器件
2018-11-18 10:30:00992 據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道，MEMS器件領(lǐng)先供應(yīng)商Sensera將其MEMS技術(shù)應(yīng)用到了生物工程領(lǐng)域的新應(yīng)用。該公司的MEMS技術(shù)被Harvard University（美國哈佛大學(xué)）用于“打造”微流控器件，以模仿人體器官的功能，包括肺、腸、腎、皮膚、骨髓和血腦屏障。
2019-01-23 14:41:08997 MEMS器件以硅為主要材料。硅的強(qiáng)度、硬度和楊氏模量與鐵相當(dāng)。密度類似于鋁，熱傳導(dǎo)率接近銅和鎢，因此MEMS器件機(jī)械電氣性能優(yōu)良。它集中了當(dāng)今科學(xué)技術(shù)發(fā)展的許多尖端成果。通過微型化、集成化可以探索新原理、新功能的元件和系統(tǒng)，將開辟一個(gè)新技術(shù)領(lǐng)域。
2019-02-12 15:12:1512525 MEMS器件的行為模式通常與尺寸較大的器件類似，但有一些明顯的差異。能夠?qū)⒋罅?b class="flag-6" style="color: red">MEMS器件裝進(jìn)智能手機(jī)等尺寸稍大的設(shè)備中，絕對是一個(gè)很關(guān)鍵的差異化優(yōu)勢。一系列傳感器和其他MEMS器件都可以集成到僅有口袋大小的智能手機(jī)中。
2019-05-17 09:35:37865 MEMS生物傳感器目前處于發(fā)展初期。MEMS生物傳感器是利用生物分子探測生物反應(yīng)信息的器件。
2019-07-25 14:19:253567 
隨著光通信網(wǎng)絡(luò)的快速發(fā)展，傳統(tǒng)以電為核心的通信器件已經(jīng)不能滿足高速大容量的光通信需求，MEMS光開關(guān)由于其體積小，易集成，容量大等特點(diǎn)，已成為全光通信網(wǎng)中的重要器件之一。 MEMS光開關(guān)是基于微機(jī)
2020-03-24 15:36:567880 自從蘋果手機(jī)使用了MEMS器件以來，市場上掀起了一股MEMS熱，同時(shí)也激活了我們的全硅設(shè)計(jì)的MEMS振蕩器。MEMS振蕩器因其可以實(shí)現(xiàn)更小的體積，和較低的功耗，成本上跟石英晶振基本相當(dāng)，所以有很多有這些相關(guān)要求的產(chǎn)品開始選用MEMS產(chǎn)品來替代石英晶振。
2020-04-20 16:58:042653 隨著傳感器、物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用的大規(guī)模落地，微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）在近些年應(yīng)用越來越廣泛，MEMS的存在可以減小電子器件的大小。同時(shí)，與之相對應(yīng)的MEMS封裝也開始備受關(guān)注。
2020-05-11 17:27:55988 
那MEMS傳感器又是什么？MEMS傳感器就是把一顆MEMS芯片和一顆專用集成電路芯片（ASIC芯片）封裝在一塊后形成的器件。左圖是一張典型的MEMS麥克風(fēng)內(nèi)部構(gòu)造的放大圖，圖內(nèi)右邊的芯片是MEMS芯片，左邊的芯片是ASIC芯片。右圖是封裝后的MEMS麥克風(fēng)。
2020-06-12 09:42:2275919 微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)使用半導(dǎo)體制造工藝來生產(chǎn)尺寸范圍從小于一微米到幾毫米的小型化機(jī)械和機(jī)電元件。MEMS設(shè)備可以從沒有運(yùn)動元件的相對簡單的結(jié)構(gòu)到具有多個(gè)運(yùn)動元件的復(fù)雜的機(jī)電系統(tǒng)。
2020-07-22 18:06:094553 
實(shí)際上，許多IoT邊緣器件會在單個(gè)封裝中集成多個(gè)芯片，將電子器件與MEMS設(shè)計(jì)分開。Tanner AMS IC設(shè)計(jì)流程支持單芯片或多芯片技術(shù)，因而有助于成功實(shí)現(xiàn)IoT邊緣器件的設(shè)計(jì)和驗(yàn)證。
2020-12-26 00:45:04269 美泰電子科技有限公司 美泰電子科技有限公司是中國MEMS行業(yè)協(xié)會理事長單位。專門致力于MEMS（微電子機(jī)械系統(tǒng)）器件與系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。是國內(nèi)最大的MEMS高端核心芯片、器件和系統(tǒng)產(chǎn)品供應(yīng)商
2021-05-13 13:50:202230 測試MEMS器件需要不同的方法，因?yàn)橛行?b class="flag-6" style="color: red">MEMS芯片包含可動作的機(jī)械器件，測試時(shí)需要搖動器件來測試移動范圍與結(jié)構(gòu)的一致性，但是這種測試各自有相應(yīng)的問題，例如成本。 “用大型ATE設(shè)備測試成本敏感
2021-07-19 17:36:522253 許多MEMS器件需要保護(hù)，以免受到外部環(huán)境的影響，或者只能在受控氣氛或真空下運(yùn)行。當(dāng)今MEMS器件與CMOS芯片的高度集成，還需要專門用于MEMS器件的先進(jìn)晶圓級封裝解決方案。
2022-07-15 12:36:013396 
MEMS器件具有重量輕、體積小、成本低、功耗小等優(yōu)點(diǎn)，非常有利于MEMS器件在電信和消費(fèi)電子等行業(yè)中的應(yīng)用。近年來，MEMS技術(shù)在汽車行業(yè)尤其是包括安全氣囊系統(tǒng)在內(nèi)的車輛安全系統(tǒng)中越來越受到青睞。
2022-09-07 09:16:181536 微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）器件，例如MEMS加速度計(jì)，廣泛應(yīng)用于汽車電子、消費(fèi)電子和生物醫(yī)療等行業(yè)。利用半導(dǎo)體制造技術(shù)可有效地大批量生產(chǎn)MEMS器件，但對于具有成本效益的專用MEMS器件的中小
2022-10-19 17:30:121148 隨著微加工技術(shù)的發(fā)展，基于MEMS微橋結(jié)構(gòu)技術(shù)制造的微測輻射熱計(jì)器件，具備與半導(dǎo)體讀出電路單芯片集成并實(shí)現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)的能力，逐漸成為非制冷紅外探測器的主流制造技術(shù)。
2023-02-21 17:10:221213 隨著微電子技術(shù)的飛速發(fā)展，微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）逐漸成為眾多領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)。MEMS器件在諸如傳感器、執(zhí)行器等方面表現(xiàn)出卓越的性能，但要實(shí)現(xiàn)這些優(yōu)越特性，對其封裝結(jié)構(gòu)和制造工藝要求極高。本文將詳細(xì)介紹MEMS器件真空封裝結(jié)構(gòu)及其制造工藝。
2023-04-21 14:18:181042 
最新消息！知芯傳感，作為國產(chǎn)MEMS器件領(lǐng)域的踐行者，于2023年8月18日發(fā)布了令人振奮的搬遷公告。這一重要舉措意味著知芯傳感邁向了新的征程，進(jìn)一步鞏固其在國內(nèi)MEMS市場踐行者的地位。
2023-08-25 17:20:52416 
傳輸?shù)阮I(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。 MEMS交換的原理是利用微機(jī)電系統(tǒng)中的微結(jié)構(gòu)來實(shí)現(xiàn)光路的開關(guān)。該系統(tǒng)由一個(gè)微型光學(xué)器件和一個(gè)驅(qū)動電路組成。光學(xué)器件包括多個(gè)微型反射鏡或折射器，它們能夠通過機(jī)械運(yùn)動來改變光路的傳輸方向。驅(qū)動電路則負(fù)責(zé)控制
2024-02-02 14:41:31119 
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