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電子發(fā)燒友網(wǎng)>制造/封裝>半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)跟蹤報告:ALD技術(shù)進(jìn)行薄膜沉積工藝優(yōu)勢

半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)跟蹤報告:ALD技術(shù)進(jìn)行薄膜沉積工藝優(yōu)勢

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2016-09-05 10:40:27

半導(dǎo)體濕法腐蝕設(shè)備

行業(yè)及高等院校、研究所等高科技領(lǐng)域的生產(chǎn)和研發(fā)。我們的每臺設(shè)備除標(biāo)準(zhǔn)化制作外,還可根據(jù)客戶的工藝需求和工作環(huán)境的具體要求,對設(shè)備進(jìn)行人性化、個性化設(shè)計。歡迎來電咨詢。電話:***,13771786452王經(jīng)理
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半導(dǎo)體生產(chǎn)行業(yè)檢測儀器遠(yuǎn)程在線式塵埃粒子計數(shù)器

的跨越,裝備產(chǎn)業(yè)將是重要環(huán)節(jié),其中需要更多的創(chuàng)新,才能引領(lǐng)中國半導(dǎo)體設(shè)備的發(fā)展,并推動我國芯片工藝制程和技術(shù)跨越式提升。3DFlash存儲器、人工智能芯片、MEMS/sensor芯片、GaN/SiC功率
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半導(dǎo)體電阻率測試方案解析

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半導(dǎo)體芯片行業(yè)的運作模式有哪些

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技術(shù)創(chuàng)新是半導(dǎo)體行業(yè)持續(xù)發(fā)展的源動力

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)輸人計算機(jī)的數(shù)據(jù)必須及時真實可靠,不得進(jìn)行人為篩選; (3)在數(shù)據(jù)波動比較大時,注意分析原材料、設(shè)備和環(huán)境等因素,避免盲目改變工藝條件,以免出現(xiàn)浪費。本文摘自《半導(dǎo)體技術(shù)
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[課件]半導(dǎo)體工藝

一個比較經(jīng)典的半導(dǎo)體工藝制作的課件,英文的,供交流……
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  ***********EMD代理美國SCI高精準(zhǔn)薄膜度量 系統(tǒng) 與 軟件分析 產(chǎn)品,美國SCI為世界薄膜度量系統(tǒng)和分析軟件行業(yè)的領(lǐng)軍者,其產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,OLED/LCD
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半導(dǎo)體行業(yè)2016年度報告》即將來襲|摩爾精英

`關(guān)注摩爾精英微信公眾號MooreRen獲取《半導(dǎo)體行業(yè)2016年度報告》,參與2016年半導(dǎo)體人薪資測評即有機(jī)會獲得華米手表、小米手環(huán)2、上千元紅包等新年賀禮!`
2016-12-14 16:39:59

半導(dǎo)體行業(yè)2016年度薪資報告》來襲|摩爾精英

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2016-12-16 16:17:28

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書籍:《炬豐科技-半導(dǎo)體工藝》文章:半導(dǎo)體行業(yè)的濕化學(xué)分析——總覽編號:JFSJ-21-075作者:炬豐科技網(wǎng)址:http://www.wetsemi.com/index.html對液體和溶液進(jìn)行
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《炬豐科技-半導(dǎo)體工藝》IC制造工藝

`書籍:《炬豐科技-半導(dǎo)體工藝》文章:IC制造工藝編號:JFSJ-21-046作者:炬豐科技網(wǎng)址:http://www.wetsemi.com/index.html摘要:集成電路的制造主要包括以下工藝
2021-07-08 13:13:06

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《炬豐科技-半導(dǎo)體工藝》硅納米柱與金屬輔助化學(xué)蝕刻的比較

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2021-07-09 10:26:01

【維信諾集團(tuán)】號外!號外!AMOLED熱門職位全面開放~~~

及以上學(xué)歷,物理、材料、化學(xué)、或半導(dǎo)體專業(yè),至少1年工作經(jīng)驗,CET-4以上;1.熟悉薄膜制備的方法和表征手段,具有PECVD、ALD、噴墨打印或閃蒸發(fā)等相關(guān)薄膜沉積工作經(jīng)驗;2.熟悉真空設(shè)備相關(guān)
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為什么說移動終端發(fā)展引領(lǐng)了半導(dǎo)體工藝新方向?

哪種半導(dǎo)體工藝最適合某一指定應(yīng)用?對此,業(yè)界存在著廣泛的爭論。雖然某種特殊工藝技術(shù)能更好地服務(wù)一些應(yīng)用,但其它工藝技術(shù)也有很大的應(yīng)用空間。像CMOS、BiCMOS、砷化鎵(GaAs)、磷化銦(InP
2019-08-02 08:23:59

仿真技術(shù)半導(dǎo)體和集成電路生產(chǎn)流程優(yōu)化中的應(yīng)用

在產(chǎn)品工序的繁多,對設(shè)備的高利用率要求,和最特殊的是,“再進(jìn)入”(Re-entry)的流程特點,也就是產(chǎn)品在加工過程中要多次返回到同一設(shè)備進(jìn)行不同工序的加工。這種特殊的工藝流程特點決定了半導(dǎo)體集成電路
2009-08-20 18:35:32

低阻抗功率半導(dǎo)體開關(guān)有哪些關(guān)鍵特性和應(yīng)用優(yōu)勢

什么是堆疊式共源共柵?低阻抗功率半導(dǎo)體開關(guān)有哪些關(guān)鍵特性?低阻抗功率半導(dǎo)體開關(guān)有哪些應(yīng)用優(yōu)勢
2021-06-26 06:14:32

全球半導(dǎo)體產(chǎn)值再創(chuàng)新高,AOI設(shè)備需求熱度有望保持

國家/地區(qū)半導(dǎo)體市場的萎縮;另外,在技術(shù)更新?lián)Q代潮來臨之前,部分行業(yè)龍頭企業(yè)將提前布局領(lǐng)先技術(shù)。2016全球半導(dǎo)體設(shè)備銷售規(guī)模比2015年將有小幅增長,尤其是半導(dǎo)體AOI設(shè)備。    圖2:全球半導(dǎo)體設(shè)備銷售(單位:億美元)  來源OFweek工控網(wǎng)
2016-02-16 11:33:37

關(guān)于半導(dǎo)體設(shè)備

想問一下,半導(dǎo)體設(shè)備需要用到溫度傳感器的有那些設(shè)備,比如探針臺有沒有用到,具體要求是那些,
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單片機(jī)晶圓制造工藝設(shè)備詳解

今日分享晶圓制造過程中的工藝及運用到的半導(dǎo)體設(shè)備。晶圓制造過程中有幾大重要的步驟:氧化、沉積、光刻、刻蝕、離子注入/擴(kuò)散等。這幾個主要步驟都需要若干種半導(dǎo)體設(shè)備,滿足不同的需要。設(shè)備中應(yīng)用較為廣泛
2018-10-15 15:11:22

國產(chǎn)設(shè)備如何立足半導(dǎo)體市場

。從產(chǎn)業(yè)政策方面講,國家對設(shè)備制造業(yè)的支持力度也不夠大,研發(fā)投入少得可憐。而且,國內(nèi)設(shè)備制造業(yè)與工藝生產(chǎn)相脫節(jié),缺乏工藝方面的支撐,其研發(fā)周期相對較長。更為重要的是,長期以來,我國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)落后
2008-08-16 23:05:04

常見的射頻半導(dǎo)體工藝,你知道幾種?

變化。SiGeBiCMOS工藝技術(shù)幾乎與硅半導(dǎo)體超大規(guī)模集成電路(VLSI)行業(yè)中的所有新技術(shù)兼容,包括絕緣體硅(SOI)技術(shù)和溝道隔離技術(shù)。不過硅鍺要想取代砷化鎵的地位還需要繼續(xù)在擊穿電壓、截止頻率
2016-09-15 11:28:41

提供半導(dǎo)體二手及翻新設(shè)備(前道和后道)

設(shè)備??晒?yīng)翻新半導(dǎo)體工藝設(shè)備包括:光刻機(jī) 步進(jìn)光刻機(jī) 涂膠顯影 化學(xué)濕臺 沉積設(shè)備 劃片及磨片設(shè)備 電子束蒸發(fā) CVD沉積設(shè)備 刻蝕設(shè)備 離子注入機(jī) 顯微鏡 探針臺 薄膜測厚儀 表面檢測設(shè)備 鍵合機(jī)
2009-10-14 11:05:53

摩爾定律推動了整個半導(dǎo)體行業(yè)的變革

行業(yè)的“傳奇定律”——摩爾定律就此誕生,它不僅揭示了信息技術(shù)進(jìn)步的速度,更在接下來的半個實際中,猶如一只無形大手般推動了整個半導(dǎo)體行業(yè)的變革。
2019-07-01 07:57:50

有關(guān)半導(dǎo)體工藝的問題

circuit technique )(百度百科)電子集成技術(shù)工藝方法分為以硅平面工藝為基礎(chǔ)的單片集成電路、以薄膜技術(shù)為基礎(chǔ)的薄膜集成電路和以絲網(wǎng)印刷技術(shù)為基礎(chǔ)的厚膜集成電路。 半導(dǎo)體工藝是集成電路工藝
2009-09-16 11:51:34

有需要半導(dǎo)體設(shè)備的嗎

蘇州晶淼有限公司專業(yè)制作半導(dǎo)體設(shè)備、LED清洗腐蝕設(shè)備、硅片清洗、酸洗設(shè)備等王經(jīng)理***/13771786452
2016-07-20 11:58:26

標(biāo)題:群“芯”閃耀的半導(dǎo)體行業(yè)

的產(chǎn)品附加值保證了產(chǎn)業(yè)利潤仍大幅提升,盈利能力也大大增強(qiáng)。另外,我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集中度很低,上市公司大多是各個細(xì)分行業(yè)的龍頭,但行業(yè)代表性并不高。由于在技術(shù)和規(guī)模上的優(yōu)勢,其利潤率水平也要高于行業(yè)平均水平
2008-09-23 15:43:09

氮化鎵功率半導(dǎo)體技術(shù)解析

氮化鎵功率半導(dǎo)體技術(shù)解析基于GaN的高級模塊
2021-03-09 06:33:26

淺析化合物半導(dǎo)體技術(shù)

美元增長到2022年25億美元1。此外,隨著通信行業(yè)對器件性能的要求逐漸提高,GaN、GaAs等化合物半導(dǎo)體器件的優(yōu)勢逐漸顯現(xiàn),傳統(tǒng)硅工藝器件逐漸被取代,預(yù)計到2025年,化合物半導(dǎo)體將占據(jù)射頻器件市場份額的80%以上。
2019-06-13 04:20:24

蘇州華林科納半導(dǎo)體設(shè)備

蘇州華林科納半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)有限公司成立于2008年3月,投資4500萬元。主要從事半導(dǎo)體、太陽能、FPD領(lǐng)域濕制程設(shè)備的設(shè)計、研發(fā)、生產(chǎn)及銷售;同時代理半導(dǎo)體、太陽能、FPD領(lǐng)域其它國外設(shè)備,負(fù)責(zé)
2015-04-02 17:26:21

蘇州華林科納半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)有限公司招賢納士

刻蝕工藝以滿足工藝集成要求; 3、 與其他工程師緊密配合,進(jìn)行半導(dǎo)體工藝流程分析 任職要求: 1、大學(xué)本科學(xué)歷(含)以上 2、掌握半導(dǎo)體基礎(chǔ)理論,制品及器件技術(shù),熟悉設(shè)備 、工藝 、 制造等相關(guān)內(nèi)容
2016-10-26 17:05:04

請問一下8寸 原子層沉積設(shè)備ALD,單晶片。國內(nèi)設(shè)備大約在什么價位???

請問一下8寸 原子層沉積設(shè)備ALD,單晶片。國內(nèi)設(shè)備大約在什么價位啊?
2023-06-16 11:12:27

赴新加坡半導(dǎo)體工程師

、物理學(xué)等相關(guān)專業(yè)是否應(yīng)屆要求不限性別要求男女不限年齡要求-薪金面議詳細(xì)描述受新加坡公司委托***半導(dǎo)體工程師數(shù)名。主要包括:半導(dǎo)體制成整合,光刻,蝕刻,薄膜,擴(kuò)散等工藝設(shè)備工程師要求:本科及以上
2009-10-12 11:10:18

赴新加坡半導(dǎo)體工程師

、物理學(xué)等相關(guān)專業(yè)是否應(yīng)屆要求不限性別要求男女不限年齡要求-薪金面議詳細(xì)描述受新加坡公司委托***半導(dǎo)體工程師數(shù)名。主要包括:半導(dǎo)體制成整合,光刻,蝕刻,薄膜,擴(kuò)散等工藝設(shè)備工程師要求:本科及以上
2009-10-12 11:15:49

半導(dǎo)體設(shè)備治具清洗爐-新工藝

半導(dǎo)體設(shè)備用治具的清洗爐(Vacuum Bake Cleaner)●該設(shè)備用于去除附著在 MOCVD 托盤和零部件上的沉積物(GaN、AlN 等)。采用潔凈氣體的干式清洗法,因此不需要濕法后道處
2022-01-14 14:21:00

半導(dǎo)體制程之薄膜沉積

半導(dǎo)體制程之薄膜沉積半導(dǎo)體組件工業(yè)中,為了對所使用的材料賦與某種特性,在材料表面上常以各種方法形成被膜而加以使用,假如
2009-03-06 17:14:585558

#半導(dǎo)體制造工藝 硅的熱氧化過程和特定氧化物的ALD沉積

制造工藝半導(dǎo)體制造集成電路工藝
電子技術(shù)那些事兒發(fā)布于 2022-10-15 14:27:32

ALD技術(shù)半導(dǎo)體工藝領(lǐng)域發(fā)展及應(yīng)用

由于低溫沉積、薄膜純度以及絕佳覆蓋率等固有優(yōu)點,ALD(原子層淀積)技術(shù)早從21世紀(jì)初即開始應(yīng)用于半導(dǎo)體加工制造。DRAM電容的高k介電質(zhì)沉積率先采用此技術(shù),但近來ALD在其它半導(dǎo)體工藝領(lǐng)域也已發(fā)展
2018-02-13 03:16:0025903

泛林集團(tuán)宣布推出一種用于沉積低氟填充鎢薄膜的新型原子層沉積ALD工藝

泛林集團(tuán)宣布推出一種用于沉積低氟填充鎢薄膜的新型原子層沉積ALD工藝,標(biāo)志著其業(yè)界領(lǐng)先的 ALTUS? 產(chǎn)品系列又添新成員。通過業(yè)內(nèi)首創(chuàng)的低氟鎢(LFW) ALD 工藝,ALTUS Max
2018-05-24 17:19:002398

全球薄膜沉積設(shè)備市場規(guī)模至2025年有望達(dá)到340億美元

沉積半導(dǎo)體制造工藝中的一個非常重要的技術(shù),其是一連串涉及原子的吸附、吸附原子在表面擴(kuò)散及在適當(dāng)?shù)奈恢孟戮劢Y(jié),以漸漸形成薄膜并成長的過程。在一個新晶圓投資建設(shè)中,晶圓廠80%的投資用于購買設(shè)備。其中,薄膜沉積設(shè)備是晶圓制造的核心步驟之一,占據(jù)著約25%的比重。
2020-09-07 15:50:106019

淺談ALD半導(dǎo)體先進(jìn)制程的應(yīng)用

說明:若有考慮不周,歡迎留言指正。 原子層沉積半導(dǎo)體先進(jìn)制程的應(yīng)用 隨著集成電路工藝技術(shù)的不斷提高,晶體管的特征尺寸及刻蝕溝槽不斷減小,溝槽及其側(cè)壁的鍍膜技術(shù)面臨嚴(yán)峻的挑戰(zhàn),物理氣相沉積(PVD
2021-04-17 09:43:2116607

第三代半導(dǎo)體熱潮“帶貨”沉積設(shè)備需求,供應(yīng)鏈與服務(wù)本地化成關(guān)鍵考量

業(yè)界主流的薄膜沉積工藝主要有原子層沉積ALD)、物理式真空鍍膜(PVD)和化學(xué)式真空鍍膜(CVD)等,其中ALD屬于CVD的一種,屬于當(dāng)下最先進(jìn)的薄膜沉積技術(shù)。
2021-09-03 11:12:421149

原子層沉積ALD工藝助力實現(xiàn)PowderMEMS技術(shù)平臺

Fraunhofer ISIT的PowderMEMS是一項新研發(fā)的創(chuàng)新技術(shù),用于在晶圓級上從多種材料中創(chuàng)建三維微結(jié)構(gòu)。該技術(shù)基于通過原子層沉積ALD工藝在空腔中將微米級粉末顆粒粘合在一起。
2022-03-17 09:46:232011

薄膜沉積設(shè)備介紹

薄膜沉積設(shè)備介紹
2022-06-22 15:22:1710

如何解決主要的 ALD 和 ALE 半導(dǎo)體工藝挑戰(zhàn)

在高精密的半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,一些重要的流體系統(tǒng)組件質(zhì)量是成本門檻。例如,在原子層沉積 (ALD) 和原子層蝕刻 (ALE) 工藝中,—隨著工藝節(jié)點變得越來越小而日益難以維持—,系統(tǒng)中使用的任何組件均應(yīng)
2022-09-02 13:19:011996

面向微納器件制造的微導(dǎo)ALD和PEALD技術(shù)

,致力于先進(jìn)微、納米級薄膜沉積技術(shù)設(shè)備的研究與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用,為光伏、集成電路、柔性電子等半導(dǎo)體與泛半導(dǎo)體行業(yè)提供高端裝備與技術(shù)解決方案。 隨著對微處理器和存儲器的計算速度和功率需求的持續(xù)增加,同時又降低其功耗
2022-09-26 18:06:131228

「芯品動態(tài)」盛美新型熱ALD立式爐設(shè)備滿足高端半導(dǎo)體生產(chǎn)需求

盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司對其300mm Ultra Fn立式爐干法工藝平臺進(jìn)行了功能擴(kuò)展,研發(fā)出新型Ultra Fn A立式爐設(shè)備。該設(shè)備的熱原子層沉積ALD)功能豐富了盛美上海立式爐系列設(shè)備的應(yīng)用。首臺Ultra Fn A立式爐設(shè)備已于9月底運往中國一家先進(jìn)的邏輯制造商。
2022-11-01 09:18:151466

原子層沉積(Atomic Layer Deposition,ALD

由于 ALD 技術(shù)逐層生長薄膜的特點,所以 ALD 薄膜具有極佳的合階覆蓋能力,以及極高的沉積均勻性和一致性,同時可以較好她控制其制備薄膜的厚度、成分和結(jié)構(gòu),因此被廣泛地應(yīng)用在微電子領(lǐng)域。
2022-11-07 10:43:165138

Beneq和LZH合作開發(fā)空間ALD系統(tǒng),可快速在復(fù)雜光學(xué)元件上鍍膜

Hannover(簡稱:LZH)合作開發(fā)了一種新的空間ALD系統(tǒng),該系統(tǒng)實現(xiàn)“以前所未有的速度在復(fù)雜形狀的光學(xué)元件上涂覆薄膜層”。 Beneq的ALD系統(tǒng)(稱為C2R)可實現(xiàn)高達(dá)200 rpm的速度,沉積速率高達(dá)1 μm/h。LZH指出,ALD是一種自限性和各向同性工藝,每個周期產(chǎn)生大約1埃的層厚度。這
2022-12-22 16:30:242866

晶圓制造的三大核心之薄膜沉積的原子層沉積ALD技術(shù)

ALD技術(shù)是一種將物質(zhì)以單原子膜的形式逐層鍍在基底表面的方法,能夠?qū)崿F(xiàn)納米量級超薄膜沉積。
2023-04-25 16:01:052442

中微公司推出12英寸薄膜沉積設(shè)備Preforma Uniflex? CW

近日,中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司(以下簡稱“中微公司”,上交所股票代碼:688012)推出自主研發(fā)的12英寸低壓化學(xué)氣相沉積(LPCVD)設(shè)備Preforma Uniflex CW。這是中微公司深耕高端微觀加工設(shè)備多年、在半導(dǎo)體薄膜沉積領(lǐng)域取得的新突破,也是實現(xiàn)公司業(yè)務(wù)多元化增長的新動能。
2023-05-17 17:08:41831

基于PVD 薄膜沉積工藝

。 PVD 沉積工藝半導(dǎo)體制造中用于為各種邏輯器件和存儲器件制作超薄、超純金屬和過渡金屬氮化物薄膜。最常見的 PVD 應(yīng)用是鋁板和焊盤金屬化、鈦和氮化鈦襯墊層、阻擋層沉積和用于互連金屬化的銅阻擋層種子沉積。 PVD 薄膜沉積工藝需要一個高真空的平臺,在
2023-05-26 16:36:511751

與傳統(tǒng)濺射或熱蒸發(fā)技術(shù)相比,離子束輔助沉積有哪些優(yōu)勢?

離子束輔助沉積 (IBAD) 是一種薄膜沉積技術(shù),可與濺射或熱蒸發(fā)工藝一起使用,以獲得具有出色工藝控制和精度的最高質(zhì)量薄膜。
2023-06-08 11:10:22986

原子層ALD沉積介紹

原子層沉積(Atomic layer deposition,ALD)是一種可以沉積單分子層薄膜的特殊的化學(xué)氣相沉積技術(shù)。
2023-06-15 16:19:212038

韞茂科技獲數(shù)億元融資,加快薄膜沉積設(shè)備量產(chǎn)

韞茂科技成立于2018年,致力于成為平臺形態(tài)的納米級薄膜沉積設(shè)備制造企業(yè)。目前擁有ald原子層沉積系統(tǒng)、pvd物理氣體沉積系統(tǒng)、cvd化學(xué)氣體沉積系統(tǒng)、uhv超高真空涂層設(shè)備等12種產(chǎn)品。
2023-06-28 10:41:03540

半導(dǎo)體行業(yè)關(guān)鍵技術(shù)ALD:這家公司是龍頭!

半導(dǎo)體制造過程中,每個半導(dǎo)體元件的產(chǎn)品都需要經(jīng)過數(shù)百道工序。這些工序包括前道工藝和后道工藝,前道工藝是整個制造過程中最為重要的部分,它關(guān)系到半導(dǎo)體芯片的基本結(jié)構(gòu)和特性的形成,涉及晶圓制造、沉積、光刻、刻蝕等步驟,技術(shù)難點多,操作復(fù)雜。
2023-06-28 16:54:061260

半導(dǎo)體前端工藝沉積——“更小、更多”,微細(xì)化的關(guān)鍵(上)

半導(dǎo)體制程中,移除殘余材料的“減法工藝”不止“刻蝕”一種,引入其他材料的“加法工藝”也非“沉積”一種。比如,光刻工藝中的光刻膠涂敷,其實也是在基底上形成各種薄膜;又如氧化工藝中晶圓(硅)氧化,也需要在基底表面添加各種新材料。那為什么唯獨要強(qiáng)調(diào)“沉積工藝呢?
2023-06-29 16:58:37404

半導(dǎo)體前端工藝沉積工藝

在前幾篇文章(點擊查看),我們一直在借用餅干烘焙過程來形象地說明半導(dǎo)體制程 。在上一篇我們說到,為制作巧克力夾心,需通過“刻蝕工藝”挖出餅干的中間部分,然后倒入巧克力糖漿,再蓋上一層餅干層?!暗谷肭煽肆μ菨{”和“蓋上餅干層”的過程在半導(dǎo)體制程中就相當(dāng)于“沉積工藝”。
2023-06-29 16:56:17830

詳解半導(dǎo)體前端工藝沉積工藝

和在刻蝕工藝中一樣,半導(dǎo)體制造商在沉積過程中也會通過控制溫度、壓力等不同條件來把控膜層沉積的質(zhì)量。例如,降低壓強(qiáng),沉積速率就會放慢,但可以提高垂直方向的沉積質(zhì)量。因為,壓強(qiáng)低表明設(shè)備內(nèi)反應(yīng)氣體粒子
2023-07-02 11:36:401214

ALD是什么?半導(dǎo)體制造的基本流程

半導(dǎo)體制造過程中,每個半導(dǎo)體元件的產(chǎn)品都需要經(jīng)過數(shù)百道工序。這些工序包括前道工藝和后道工藝,前道工藝是整個制造過程中最為重要的部分,它關(guān)系到半導(dǎo)體芯片的基本結(jié)構(gòu)和特性的形成,涉及晶圓制造、沉積、光刻、刻蝕等步驟,技術(shù)難點多,操作復(fù)雜。
2023-07-11 11:25:552902

技術(shù)前沿:原子層沉積ALD介紹

薄膜沉積是指在基底上沉積特定材料形成薄膜,使之具有光學(xué)、電學(xué)等方面的特殊性能。
2023-07-13 09:10:487776

半導(dǎo)體前端工藝沉積——“更小、更多”,微細(xì)化的關(guān)鍵

半導(dǎo)體制程中,移除殘余材料的“減法工藝”不止“刻蝕”一種,引入其他材料的“加法工藝”也非“沉積”一種。比如,光刻工藝中的光刻膠涂敷,其實也是在基底上形成各種薄膜;又如氧化工藝中晶圓(硅)氧化,也需要在基底表面添加各種新材料。那為什么唯獨要強(qiáng)調(diào)“沉積工藝呢?
2023-08-17 15:33:27370

ALD技術(shù)工藝原理、優(yōu)勢及應(yīng)用

面對真空鍍膜多元的應(yīng)用市場,鍍膜技術(shù)的發(fā)展也從傳統(tǒng)的蒸發(fā)、電子束熱蒸發(fā)技術(shù),相繼發(fā)展出PECVD、ALD原子層沉積技術(shù)、磁控濺射技術(shù)等等,技術(shù)地位日益凸顯。本報告嘉賓來自國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備龍頭企業(yè)無錫
2023-10-18 11:33:442992

半導(dǎo)體檢測設(shè)備行業(yè)專題報告.zip

半導(dǎo)體檢測設(shè)備行業(yè)專題報告
2023-01-13 09:06:485

半導(dǎo)體行業(yè)深度報告.zip

半導(dǎo)體行業(yè)深度報告
2023-01-13 09:06:5112

半導(dǎo)體設(shè)備系列研究-薄膜沉積設(shè)備.zip

半導(dǎo)體設(shè)備系列研究-薄膜沉積設(shè)備
2023-01-13 09:06:526

行業(yè)專題報告_半導(dǎo)體檢測設(shè)備行業(yè)專題報告.zip

行業(yè)專題報告_半導(dǎo)體檢測設(shè)備行業(yè)專題報告
2023-01-13 09:07:464

半導(dǎo)體前端工藝(第五篇):沉積——“更小、更多”,微細(xì)化的關(guān)鍵

半導(dǎo)體前端工藝(第五篇):沉積——“更小、更多”,微細(xì)化的關(guān)鍵
2023-11-27 16:48:42217

半導(dǎo)體制造之薄膜工藝講解

薄膜沉積技術(shù)主要分為CVD和PVD兩個方向。 PVD主要用來沉積金屬及金屬化合物薄膜,分為蒸鍍和濺射兩大類,目前的主流工藝為濺射。CVD主要用于介質(zhì)/半導(dǎo)體薄膜,廣泛用于層間介質(zhì)層、柵氧化層、鈍化層等工藝
2023-12-05 10:25:18997

一文詳解金屬薄膜沉積工藝及金屬化

金屬柵極的沉積方法主要由HKMG的整合工藝決定。為了獲得穩(wěn)定均勻的有效功函數(shù),兩種工藝都對薄膜厚度的均勻性要求較高。另外,先柵極的工藝對金屬薄膜沒有臺階覆蓋性的要求,但是后柵極工藝因為需要重新填充原來多晶硅柵極的地方,因此對薄膜的臺階覆蓋 性及其均勻度要求較高。
2023-12-11 09:25:31659

化學(xué)氣相沉積與物理氣相沉積的差異

在太陽能電池的薄膜沉積工藝中,具有化學(xué)氣相沉積(CVD)與物理氣相沉積(PVD)兩種薄膜沉積方法,電池廠商在沉積工藝中也需要根據(jù)太陽能電池的具體問題進(jìn)行針對性選擇,并在完成薄膜沉積工藝后通過
2023-12-26 08:33:01312

半導(dǎo)體零部件行業(yè)深度報告

半導(dǎo)體設(shè)備主要應(yīng)用于集成電路的制造和封測環(huán)節(jié),可細(xì)分為晶圓制造設(shè)備(前道設(shè)備)和封裝、測試設(shè)備(后道設(shè)備)。其中,前道設(shè)備主要有光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、薄膜沉積設(shè)備、離子注入機(jī)、CMP設(shè)備、清洗機(jī)、前道檢測設(shè)備和氧化退火設(shè)備,后道設(shè)備主要分為測試設(shè)備和封裝設(shè)備
2023-12-27 10:57:48281

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