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光刻技術(shù):光學(xué)關(guān)鍵尺寸測量(OCD)原理

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2019-02-25 10:07:535812

深度探究光刻技術(shù)的原理和EUV光刻技術(shù)前景

光刻是集成電路最重要的加工工藝,他的作用,如同金工車間中車床的作用。在整個芯片制造工藝中,幾乎每個工藝的實施,都離不開光刻技術(shù)。光刻也是制造芯片的最關(guān)鍵技術(shù),他占芯片制造成本的35%以上。在如今的科技與社會發(fā)展中,光刻技術(shù)的增長,直接關(guān)系到大型計算機的運作等高科技領(lǐng)域。
2019-03-03 10:00:314088

DMD無掩膜光刻技術(shù)解析

光刻是指利用光學(xué)復(fù)制的方法把圖形印制在光敏記錄材料上,然后通過刻蝕的方法將圖形轉(zhuǎn)移到晶圓片上來制作電子電路的技術(shù)。
2020-08-13 15:09:2217949

提高光刻機性能的關(guān)鍵技術(shù)光刻機的發(fā)展情況

作為光刻工藝中最重要設(shè)備之一,光刻機一次次革命性的突破,使大模集成電路制造技術(shù)飛速向前發(fā)展。了解提高光刻機性能的關(guān)鍵技術(shù)以及了解下一代光刻技術(shù)的發(fā)展情況是十分重要的。 光刻光刻機(Mask
2020-08-28 14:39:0411746

美國禁運光刻、5nm技術(shù)等6項關(guān)鍵技術(shù)

(CCL)中。而這其中包括了極紫外線(EUV)掩模的計算光刻技術(shù)軟件和5nm 生產(chǎn)精加工芯片的技術(shù),兩條直指了對芯片的制造的封鎖。 據(jù)了解,目前受到出口管制的新興技術(shù)總數(shù)已經(jīng)達(dá)到了37項。美國商務(wù)部在官網(wǎng)發(fā)布公告中寫道:此舉是為了支持關(guān)鍵及新
2020-10-27 10:49:102285

光刻機的工作原理以及關(guān)鍵技術(shù)

導(dǎo)讀:光刻是集成電路最重要的加工工藝,他的作用,如同金工車間中車床的作用。光刻是制造芯片的最關(guān)鍵技術(shù),在整個芯片制造工藝中,幾乎每個工藝的實施,都離不開光刻技術(shù)。 光刻機的工作原理: 利用光刻
2022-12-23 13:34:547273

光刻技術(shù)為中心的行業(yè)壁壘,EUV光刻機并非是是中國半導(dǎo)體行業(yè)的唯一癥結(jié)

膠、軟烘、對準(zhǔn)曝光、后烘、顯影、硬烘、刻蝕、檢測等數(shù)十道工序才得以最終完成。 正因如此,集數(shù)學(xué)、光學(xué)、物理、化學(xué)等眾多學(xué)科技術(shù)于一身的光刻機,被稱之為半導(dǎo)體工業(yè)皇冠上的明珠,占據(jù)晶圓廠設(shè)備投資總額的約25%。 在中美關(guān)系緊
2020-11-26 16:19:192472

集成電路的發(fā)展與其制造工藝─——光刻技術(shù)

光刻技術(shù)的進(jìn)步使得器件的特征尺寸不斷減小,芯片的集成度和性能不斷提高。在摩爾定律的引領(lǐng)下,光學(xué)光刻技術(shù)經(jīng)歷了接觸/接近、等倍投影、縮小步進(jìn)投影、步進(jìn)掃描投影等曝光方式的變革。
2020-12-14 15:06:446628

中國光刻技術(shù)取得關(guān)鍵性突破

EUV光刻機,一直是中國芯片制造無法進(jìn)一步升級的掣肘。去年9月份,時任中國科學(xué)院院長白春禮公開表態(tài)稱,將集中精力攻克光刻機難題。不到半年時間,中國科學(xué)家就在這一“卡脖子”技術(shù)取得了關(guān)鍵性突破。
2021-02-26 09:06:185287

OCD ICE修復(fù)說明

OCD ICE 修復(fù)說明
2022-06-26 09:46:280

基于光學(xué)傳感器技術(shù)光學(xué)測量儀對汽車行業(yè)的影響

對更窄間隙尺寸和獨立于平臺的測量解決方案的需求,光學(xué)測量系統(tǒng)可以測量迄今為止未知的精度,以及在汽車車身生產(chǎn)的所有階段普遍使用一個相同的測量設(shè)備?!?/div>
2022-06-27 14:01:44626

euv光刻機是干什么的

機可以生產(chǎn)出納米尺寸更小、功能更強大的芯片。 小于5 nm的芯片晶片只能由EUV光刻機生產(chǎn)。 EUV光刻機有光源系統(tǒng)、光學(xué)鏡頭、雙工作臺系統(tǒng)三大核心技術(shù)。 目前,最先進(jìn)的光刻機是荷蘭ASML公司的EUV光刻機。預(yù)計在光路系統(tǒng)的幫助下,能
2022-07-10 14:35:066173

光刻工藝中使用的曝光技術(shù)

根據(jù)所使用的輻射,有不同類型的光刻方法用于曝光的:光刻(光刻)、電子束光刻、x射線光刻、光刻和離子束光刻。在光學(xué)光刻技術(shù)中,有部分不透明和部分不透明的圖案掩模(光片)半透明區(qū)域被使用。紫外線輻射或氣體激光的照射以1:1的比例完成或者以4:1或10:1的比例減少。
2022-07-27 16:54:533169

深度解析EUV光刻工藝技術(shù)

光刻是半導(dǎo)體工藝中最關(guān)鍵的步驟之一。EUV是當(dāng)今半導(dǎo)體行業(yè)最熱門的關(guān)鍵詞,也是光刻技術(shù)。為了更好地理解 EUV 是什么,讓我們仔細(xì)看看光刻技術(shù)。
2022-10-18 12:54:053180

計算光刻技術(shù)的發(fā)展

Technology,RET)的延伸,其關(guān)鍵技術(shù)主要包括光學(xué)成像物理仿真、光學(xué)鄰近效應(yīng)校正 (Optical Proximity Correction,OPC)、光源-掩模協(xié)同優(yōu)化 (Source-Mask Optimization, SMO) 等。三種計算光刻技術(shù)的對比見表。
2022-10-26 15:46:222274

線陣CCD尺寸測量信號的提取案例

介紹了測量精度為±0 .04 mm 的線陣 CCD 尺寸自動檢測系統(tǒng)的工作原理, 著重介紹了 尺寸測量信號的提取方法, 給出了實現(xiàn)電路, 并論述了電路實現(xiàn)中的關(guān)鍵技術(shù).經(jīng)實際應(yīng)用發(fā)現(xiàn), 該電路簡單、可靠、精度高, 有實用價值.
2022-11-22 17:39:020

宇微光學(xué)成功研發(fā)計算光刻EDA軟件

劉世元介紹,光刻是芯片制造中最為關(guān)鍵的一種工藝,通過光刻成像系統(tǒng),將設(shè)計好的圖形轉(zhuǎn)移到硅片上。隨著芯片尺寸不斷縮小,硅片上的曝光圖形會產(chǎn)生畸變。
2022-11-28 09:49:56690

自動化光學(xué)測量系統(tǒng)CASAIM IS葉輪三維尺寸檢測

自動化光學(xué)測量系統(tǒng)
2022-12-05 14:45:57701

智能化驅(qū)使下,中圖儀器光學(xué)3D成像測量技術(shù)的創(chuàng)新應(yīng)用

中圖儀器影像測量儀、共聚焦顯微鏡、白光干涉儀基于3D光學(xué)成像測量非接觸、操作簡單、速度快等優(yōu)點,能提供常規(guī)尺寸光學(xué)測量儀器、微觀尺寸光學(xué)測量儀器、大尺寸光學(xué)測量儀器等精密測量解決方案!
2023-04-20 17:11:44396

什么是光刻技術(shù)

光刻技術(shù)簡單來講,就是將掩膜版圖形曝光至硅片的過程,是大規(guī)模集成電路的基礎(chǔ)。目前市場上主流技術(shù)是193nm沉浸式光刻技術(shù),CPU所謂30nm工藝或者22nm工藝指的就是采用該技術(shù)獲得的電路尺寸
2023-04-25 11:02:322261

淺談光刻技術(shù)

在整個芯片制造過程中,幾乎每一道工序的實施都離不開光刻技術(shù)光刻技術(shù)也是制造芯片最關(guān)鍵技術(shù),占芯片制造成本的35%以上。
2023-04-26 08:57:031033

光學(xué)測量技術(shù)趨勢綜述

光學(xué)計量學(xué)是當(dāng)今制造業(yè)的關(guān)鍵技術(shù)之一。它通常可以被定義為用光進(jìn)行測量的科學(xué),被廣泛用于評估產(chǎn)品(或其某些部件或組件)的物理特性
2023-04-28 11:19:101022

發(fā)動機葉片三維掃描測量尺寸偏差檢測-CASAIM光學(xué)3D測量

葉片是發(fā)動機關(guān)鍵零件,屬于薄壁易變形零件。如何控制其變形并高效、高質(zhì)量地加工是目前葉片制造行業(yè)研究的重要課題之一。 為了確保發(fā)動機葉片的質(zhì)量和可靠性,需要使用高精度的測量技術(shù)進(jìn)行檢測。下面將介紹
2023-05-23 10:45:02468

閃測儀應(yīng)用案例:電機沖片尺寸測量

中圖儀器VX系列閃測儀采用雙遠(yuǎn)心高分辨率光學(xué)鏡頭對圖像進(jìn)行捕捉,結(jié)合高精度圖像分析算法,精準(zhǔn)測量出電機沖片所有尺寸。VX系列閃測儀顛覆傳統(tǒng)測量模式,開創(chuàng)快速影像尺寸測量時代,只需一鍵,瞬間測量電機沖片所有尺寸,繁瑣的測量任務(wù)變得無比輕松。
2021-11-02 10:15:30651

尺寸測量儀器知多少!

除了常見的尺寸測量儀器,近些年又出現(xiàn)了一種新型的測量儀器——閃測儀,也叫一鍵式測量儀和圖像尺寸測量儀,VX3000系列閃測儀采用雙遠(yuǎn)心高分辨率光學(xué)鏡頭,結(jié)合高精度圖像分析算法,并融入一鍵閃測原理。只需按下啟動鍵,儀器即可實現(xiàn)一鍵式快速精準(zhǔn)測量。
2021-11-08 16:55:121521

圖像尺寸測量儀如何測高度

VX3000系列圖像尺寸測量儀具有測量范圍更大、承重更高、并可擴(kuò)展高度測量等優(yōu)勢??梢詽M足各類零部件輪廓尺寸快速測量需求,工件無需定位,任意擺放,一鍵完成二維平面尺寸測量,搭載光學(xué)非接觸式測頭實現(xiàn)高度尺寸、平面度等參數(shù)的精密快速測量。
2022-09-20 15:04:27770

深紫外光刻復(fù)雜照明光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計

。照明系統(tǒng)是光刻機的重要組成部分,其主要作用是提供高均勻性照明、控制曝光劑量和實現(xiàn)離軸照明,以提高光刻分辨率和增大焦深。論文以深紫外光刻照明系統(tǒng)光學(xué)設(shè)計為研究方向,對照明系統(tǒng)關(guān)鍵單元進(jìn)行了光學(xué)設(shè)計與仿真研究。
2023-07-17 11:02:38592

閃測儀如何測量工件尺寸的?

閃測儀是一種常用的測量工具,可用于測量工件的尺寸。它是一種利用圖像處理、數(shù)據(jù)分析等技術(shù)進(jìn)行尺寸測量的儀器。具有的高精度測量能力,能夠準(zhǔn)確地測量工件的長度、寬度、高度等尺寸參數(shù)。儀器具有高精度、高效率
2023-08-15 10:31:45628

光學(xué)光刻技術(shù)有哪些分類 光刻技術(shù)的原理

光學(xué)光刻是通過廣德照射用投影方法將掩模上的大規(guī)模集成電路器件的結(jié)構(gòu)圖形畫在涂有光刻膠的硅片上,通過光的照射,光刻膠的成分發(fā)生化學(xué)反應(yīng),從而生成電路圖。限制成品所能獲得的最小尺寸光刻系統(tǒng)能獲得的分辨率直接相關(guān),而減小照射光源的波長是提高分辨率的最有效途徑。
2023-10-24 11:43:15271

智能化驅(qū)使下,中圖儀器光學(xué)3D成像測量技術(shù)的創(chuàng)新應(yīng)用

基礎(chǔ)和重要的項目。目前常用的微結(jié)構(gòu)表面形貌測量方法分為接觸式和非接觸式。運用非接觸式測量技術(shù)的3D光學(xué)檢測儀器,大多是基于光學(xué)方法(干涉顯微法、自動聚焦法、激光干涉法、光學(xué)顯微干涉法等),可對精密零部件
2023-07-06 13:24:240

m12線束廠都是如何測量尺寸的?

電蜂優(yōu)選工程師說道測量M12線束的尺寸是確保插頭與相應(yīng)的測量設(shè)備或接口兼容的關(guān)鍵任務(wù)。尺寸測量包括測量插頭的長度、直徑、螺紋規(guī)格、引腳間距等參數(shù)。
2023-11-02 14:09:22499

超精密光學(xué)3D測量儀器的價值和意義

光學(xué)測量儀器結(jié)合鏡頭防撞保護(hù)技術(shù)、精密雙重隔振技術(shù)以及環(huán)境噪聲評價技術(shù),具有高精度、自動化程度高、實時反饋和范圍廣等優(yōu)勢,可以實現(xiàn)自動化測量和高效調(diào)整,可對精密零部件的表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸實現(xiàn)微納級測量
2023-11-30 09:13:110

VX9000系列光學(xué)掃描成像測量機,滿足PCB行業(yè)多樣化尺寸測量需求

PCB外形尺寸全檢的神器-VX9000系列光學(xué)掃描成像測量機,獲得了客戶的廣泛認(rèn)可和一致好評。VX9000系列光學(xué)掃描成像測量機以光學(xué)成像測量系統(tǒng)為基礎(chǔ),配合高精度運
2023-12-01 08:08:15156

幾何尺寸測量工具介紹

傳統(tǒng)的幾何尺寸測量儀器設(shè)備包括千分尺、角度尺、游標(biāo)卡尺等,這些儀器能夠滿足一般的幾何量測量需求。但是隨著科技的發(fā)展,越來越多高精度測量儀器被應(yīng)用于幾何量測量領(lǐng)域。從納米級光學(xué)3D表面輪廓儀通過光學(xué)
2023-12-26 17:16:39361

光學(xué)三維測量技術(shù)的原理是什么?

光學(xué)三維測量技術(shù)是一種重要的非接觸式測量方法,廣泛應(yīng)用于工程、制造、設(shè)計等領(lǐng)域。
2024-02-22 10:40:42277

閃測影像|中圖閃測儀,一鍵自動批量測量尺寸

閃測儀可以快速完成尺寸測量,一鍵即可測量二維平面尺寸測量,或是搭載光學(xué)非接觸式測頭實現(xiàn)高度尺寸、平面度等參數(shù)的精密快速測量。不僅能夠大大提高測量效率,還能減少人為因素對測量結(jié)果的影響,保證測量的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。
2024-02-26 13:40:0197

閃測影像|中圖閃測儀,一鍵自動批量測量尺寸

采集卡、圖像處理軟件等組件構(gòu)成。閃測儀就是利用先進(jìn)的光學(xué)原理和圖像處理技術(shù),高速獲取并分析產(chǎn)品的尺寸信息。中圖閃測儀基于機器視覺的自動測量技術(shù),采用雙遠(yuǎn)心高分辨率光
2024-03-04 13:40:010

VX9000系列光學(xué)掃描成像測量機,滿足PCB行業(yè)多樣化尺寸測量需求

PCB外形尺寸全檢的神器-VX9000系列光學(xué)掃描成像測量機,獲得了客戶的廣泛認(rèn)可。 VX9000系列光學(xué)掃描成像測量機以光學(xué)成像測量系統(tǒng)為基礎(chǔ),配合高精度
2023-12-01 09:29:55

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