等離子體工藝廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造中。比如，IC制造中的所有圖形化刻蝕均為等離子體刻蝕或干法刻蝕，等離子體增強(qiáng)式化學(xué)氣相沉積(PECVD)和高密度等離子體化學(xué)氣相沉積 (HDP CVD)廣泛用于電介質(zhì)
2022-11-15 09:57:31
2626 等離子體圖形化刻蝕過(guò)程中，刻蝕圖形將影響刻蝕速率和刻蝕輪廓，稱為負(fù)載效應(yīng)。負(fù)載效應(yīng)有兩種:宏觀負(fù)載效應(yīng)和微觀負(fù)載效應(yīng)。
2023-02-08 09:41:262467 。常見(jiàn)的干法刻蝕設(shè)備有反應(yīng)離子刻蝕機(jī)（RIE）、電感耦合等離子體刻蝕機(jī)（ICP）、磁性中性線等離子體刻蝕機(jī)（NLD）、離子束刻蝕機(jī)（IBE），本文目的對(duì)各刻蝕設(shè)備的結(jié)構(gòu)進(jìn)行剖析，以及分析技術(shù)的優(yōu)缺點(diǎn)。
2024-01-20 10:24:561114 
當(dāng)高頻發(fā)生器接通電源后，高頻電流I通過(guò)感應(yīng)線圈產(chǎn)生交變磁場(chǎng)(綠色)。開(kāi)始時(shí)，管內(nèi)為Ar氣，不導(dǎo)電，需要用高壓電火花觸發(fā)，使氣體電離后，在高頻交流電場(chǎng)的作用下，帶電粒子高速運(yùn)動(dòng)，碰撞，形成“雪崩”式放電，產(chǎn)生等離子體氣流。
2019-10-09 09:11:46
Nettersheim 博士介紹了 piezobrush 的優(yōu)勢(shì)?！癟DK 的 CeraPlas 使 piezobrush 這樣的小型便攜式等離子體發(fā)生器成為可能。我們能夠?qū)㈦娫春万?qū)動(dòng)電路設(shè)計(jì)為一個(gè)非常緊湊
2022-05-18 15:16:16
等離子弧切割機(jī)是借助等離子切割技術(shù)對(duì)金屬材料進(jìn)行加工的機(jī)械。等離子切割是利用高溫等離子電弧的熱量使工件切口處的金屬部分或局部熔化(和蒸發(fā))，并借高速等離子的動(dòng)量排除熔融金屬以形成切口的一種加工方法。
2019-09-27 09:01:37
等離子發(fā)生器的主要工作原理是將低電壓通過(guò)升壓電路升至正高壓及負(fù)高壓，利用正高壓及負(fù)高壓電離空氣產(chǎn)生大量的正離子及負(fù)離子，負(fù)離子的數(shù)量大于正離子的數(shù)量。
2019-09-30 09:00:48
等離子和液晶電視的區(qū)別:這是最詳細(xì)的一篇介紹了。前言：現(xiàn)如今對(duì)于“平板電視”這個(gè)概念很多人都應(yīng)該已經(jīng)熟悉了，但是如果真打算買(mǎi)一臺(tái)平板電視，究竟是選擇液晶電視好，還是選擇等離子電視好呢？這可能是很多
2008-06-10 14:58:24
提供格外亮麗、均勻平滑的畫(huà)面和前所未有的更大觀賞角度。下面我們來(lái)介紹一下等離子體顯示器件的工作原理。 一、等離子體放電簡(jiǎn)介 等離子體是物質(zhì)存在的第四種形態(tài)。當(dāng)氣體被加熱到足夠高的溫度，或受到高能
2011-01-06 16:09:23
等離子顯示器的工作原理是什么？ＰＤＰ等離子顯示器有哪些特點(diǎn)？等離子顯示器比傳統(tǒng)的顯像管和ＬＣＤ液晶顯示器具有哪些技術(shù)優(yōu)勢(shì)？
2021-06-07 06:06:32
的發(fā)展較為迅速，但國(guó)內(nèi)還沒(méi)有相關(guān)的產(chǎn)品和應(yīng)用報(bào)導(dǎo)。本文介紹日本伊世電子株式會(huì)社（ISE ELECTRONIC CORP.）推出的GU128×64等離子顯示屏的特性和接口電路，并根據(jù)應(yīng)用實(shí)例，簡(jiǎn)單
2018-12-07 10:32:11
主要介紹了等離子清洗的原理、等離子清洗的特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)以及等離子清洗在生產(chǎn)中的實(shí)際應(yīng)用效果。【關(guān)鍵詞】：等離子;;清洗;;應(yīng)用【DOI】：CNKI:SUN:JDYG.0.2010-01-006【正文快照
2010-06-02 10:07:40
等離子電視（PDP）和液晶電視（LCD）都屬于平板電視，它們就像雙胞胎，雖然表面上十分相像，但本質(zhì)上卻有很大差別。其中兩者的最大的區(qū)別在于使用的面板不同，也就成像原理大不一樣。等離子電視是依靠高電壓
2009-05-24 18:07:54
等離子顯示屏是由相距幾百微米的兩塊玻璃板，中間排列大量的等離子腔密封組成的。每個(gè)等離子腔都充有惰性氣體，通過(guò)對(duì)其施加電壓來(lái)產(chǎn)生紫外光，從而激勵(lì)顯示屏上的紅綠藍(lán)三基色熒光粉發(fā)光。每個(gè)等離子腔體等效于一個(gè)像素，其工作機(jī)理類似普通日光燈。由這些像素的明暗和顏色變化，來(lái)合成各種灰度和色彩的電視圖像。
2019-10-17 09:10:18
等離子電視工作原理與日光燈很相似，等離子電視也叫3D等離子電視，它采用了等離子管作為發(fā)光元件，屏幕上每一個(gè)等離子管對(duì)應(yīng)一個(gè)像素，屏幕以玻璃作為基板，基板間隔一定距離，四周經(jīng)氣密性封接形成一個(gè)個(gè)放電
2014-02-10 18:20:48
等離子電視耗電嗎？耗電量會(huì)有多大？ 等離子電視的標(biāo)稱耗電量都很大，但是事實(shí)上等離子的耗電量會(huì)隨著畫(huà)面的明暗而變化，所以等離子的整體耗電量
2009-05-24 17:59:22
介紹說(shuō)，選等離子電視最主要是看亮度、顏色和反應(yīng)速度幾項(xiàng)指標(biāo)。等離子屏幕的基本工作原理跟CRT和日光燈有些像。簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)，等離子屏幕是由多個(gè)放電小空間所排列而成，每一個(gè)放電小空間稱為cell，而每一個(gè)
2009-12-22 09:44:25
等離子的使用壽命是多久？ 答： 等離子電視的使用壽命大約為6
2009-05-24 18:00:55
等離子適合什么環(huán)境？ 由于先天的成像原理，等離子電視比較適合較暗的環(huán)境，那些亮麗的場(chǎng)所并不適合等離子電視使用。
2009-05-24 18:10:24
`電路板廠家生產(chǎn)高密度多層板要用到等離子體切割機(jī)蝕孔及等離子體清洗機(jī).大致的生產(chǎn)工藝流程圖為:PCB芯板處理→涂覆形成敷層劑→貼壓涂樹(shù)脂銅箔→圖形轉(zhuǎn)移成等離子體蝕刻窗口→等離子體切割蝕刻導(dǎo)通孔→化學(xué)
2017-12-18 17:58:30
Nettersheim 博士介紹了 piezobrush 的優(yōu)勢(shì)?！癟DK 的 CeraPlas 使 piezobrush 這樣的小型便攜式等離子體發(fā)生器成為可能。我們能夠?qū)㈦娫春万?qū)動(dòng)電路設(shè)計(jì)為一個(gè)非常緊湊
2022-05-17 16:41:13
分別為：等離子體、離子銑和反應(yīng)離子刻蝕。等離子刻蝕等離子體刻蝕像濕法刻蝕一樣是一種化學(xué)工藝，它使用氣體和等離子體能量來(lái)進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)。二氧化硅刻蝕在兩個(gè)系統(tǒng)中的比較說(shuō)明了區(qū)別所在。在濕法刻蝕二氧化硅中，氟在
2018-12-21 13:49:20
1. 低溫等離子體及廢氣處理原理低溫等離子體技術(shù)是一門(mén)涉及生物學(xué)、高能物理、放電物理、放電化學(xué)反應(yīng)工程學(xué)、高壓脈沖技術(shù)和環(huán)境科學(xué)的綜合性學(xué)科，是治理氣態(tài)污染物的關(guān)鍵技術(shù)之一，因其高效、低能耗、處理
2022-04-21 20:29:20
同尺寸的等離子為什么比液晶便宜？同尺寸的等離子為什么比液晶便宜，因?yàn)?b class="flag-6" style="color: red">等離子的亮度和看電視的效果比液晶好象還要好些？ 造成這種情況的成因有
2009-05-24 18:13:16
如何去等離子顯示屏GU128×64的接口設(shè)計(jì)？等離子顯示屏有什么應(yīng)用？
2021-06-01 06:41:49
使用等離子清洗技術(shù)清洗晶圓去除晶圓表面的有機(jī)污染物等雜質(zhì)，但是同時(shí)在等離子產(chǎn)生過(guò)程中電極會(huì)出現(xiàn)金屬離子析出，如果金屬離子附著在晶圓表面也會(huì)對(duì)晶圓造成損傷，如果在使用等離子清洗技術(shù)清洗晶圓如何規(guī)避電極產(chǎn)生的金屬離子？
2021-06-08 16:45:05
各位大佬：尋找12V車載等離子電路原理圖
2021-03-30 15:38:07
超高精度。該技術(shù)實(shí)現(xiàn)了前所未有的控制范圍，均勻的能量分配，以及對(duì)不斷變化的負(fù)載條件的快速適配。受益于射頻能量的令人振奮的應(yīng)用之一是等離子照明，這將成為照明市場(chǎng)的下一個(gè)發(fā)展方向，里程碑式產(chǎn)品包括標(biāo)準(zhǔn)飛利浦
2017-12-14 10:24:22
固態(tài)等離子燈由微波射頻能量供電，等離子體照明通常也稱為發(fā)光等離子體(LEP)，正快速發(fā)展成為主流技術(shù)，即將取代眾多應(yīng)用中的LED和高壓氣體放電(HID)照明，在這些應(yīng)用中，等離子照明的性能優(yōu)于傳統(tǒng)
2018-02-07 10:15:47
1.引言微波測(cè)量方法是將電磁波作為探測(cè)束入射到等離子體中，對(duì)等離子體特性進(jìn)行探測(cè)，不會(huì)對(duì)等離子體造成污染。常規(guī)微波反射計(jì)也是通過(guò)測(cè)量電磁波在等離子體截止頻率時(shí)的反射信號(hào)相位來(lái)計(jì)算等離子密度。當(dāng)等離子
2019-06-10 07:36:44
【作者】：呂鵬;劉春芳;張潮海;趙永蓬;王騏;賈興;【來(lái)源】：《強(qiáng)激光與粒子束》2010年02期【摘要】：描述了Z箍縮放電等離子體極紫外光源系統(tǒng)中的主脈沖電源,給出了主電路拓?fù)浣Y(jié)構(gòu),重點(diǎn)介紹了三級(jí)磁
2010-04-22 11:41:29
今天有網(wǎng)上看到一貼子,說(shuō)如果沒(méi)有全高清液晶電視的話,買(mǎi)了高清液晶電視看起來(lái)還不如普通和電視.但等離子電視也有他的缺點(diǎn),請(qǐng)問(wèn):液晶電視與等離子電視哪種更好?
2008-06-10 14:47:42
，專家們說(shuō)：“液晶電視對(duì)人眼的損害是等離子電視的4倍！”。 北京協(xié)和醫(yī)院眼科副主任醫(yī)師譚柯介紹，調(diào)研共選取了32個(gè)用戶，上午小組人員看某品牌電視，然后檢查，下午再看另一某品牌電視，然后再檢查。試驗(yàn)
2008-10-31 16:07:40
的每個(gè)角落。然而面對(duì)平板電視撲面而來(lái)的大潮，我們真的做好準(zhǔn)備了嗎？對(duì)它真的夠了解嗎？時(shí)下各大媒體中對(duì)平板電視的介紹與選購(gòu)的文章不勝每舉。但觀點(diǎn)不一，這里本人也發(fā)表一下拙見(jiàn)。一、液晶、等離子和Led各有
2012-02-15 20:07:08
基于電池供電的等離子打火機(jī)。制作新奇打印方式的等離子打印機(jī)！包含相關(guān)圖文說(shuō)明、代碼、線路圖
2023-09-22 07:54:27
表面波等離子體激勵(lì)源設(shè)計(jì)，不看肯定后悔
2021-04-22 07:01:33
怎么實(shí)現(xiàn)等離子電源的EMC設(shè)計(jì)？PCB布板時(shí)需要注意什么？
2021-04-09 06:54:43
選購(gòu)等離子電視的幾大誤區(qū)大屏幕平板電視正受到越來(lái)越多的消費(fèi)者關(guān)注與選擇，眾多消費(fèi)者認(rèn)為液晶電視比等離子更節(jié)能、壽命更長(zhǎng)等優(yōu)勢(shì)，似乎成為了消費(fèi)者的選擇液晶電視的主要原因。實(shí)際上選購(gòu)等離子電視有以下二大
2009-12-16 09:36:34
等離子弧焊及切割技術(shù)
2009-04-17 14:24:00
58 等離子技術(shù)簡(jiǎn)介
2009-04-17 14:24:5920 人類生活對(duì)能源的需求核聚變及受控核聚變?cè)?b class="flag-6" style="color: red">等離子體約束的基本問(wèn)題等離子體約束的各種模式等離子體輸運(yùn)與能量約束定標(biāo)約束改善與邊緣局域?？刂瓶偨Y(jié)和
2010-05-30 08:26:5614 等離子技術(shù)與集成電路?? 本文介紹，改善引線接合強(qiáng)度的關(guān)鍵的等離子
2006-04-16 21:58:25524 什么是叫等離子電視(PDP)?
等離子電視(PDP)的定義：
等離子顯示屏，即Plasma Display Pan
2008-10-30 23:05:133566 什么是等離子電視機(jī)
等離子顯示屏PDP是一種利用氣體放電的顯示裝置，這種屏幕采用了等離子腔作為發(fā)光元件。大量的等離子腔排列
2008-10-30 23:13:022078 什么是等離子電視
等離子電視（PDP），是在兩張薄玻璃板之間充填混合氣體，施加電壓使之產(chǎn)生離子氣體，然后使等離子氣體放電，與基板中的熒光體發(fā)生反應(yīng)，產(chǎn)
2009-05-24 22:03:281838 等離子類型 pccontent> 等離子（簡(jiǎn)稱PDP）是采用近幾年來(lái)高速發(fā)展的等離子平面屏幕技術(shù)的新—代
2009-12-31 16:22:49547 大屏幕等離子彩電維修技巧
等離子彩電是用等離子屏做為顯像器件的。等離子彩電一般由兩部分組成：1.等離子屏；2.各個(gè)廠家開(kāi)發(fā)的電路及外殼。&
2010-02-09 11:53:465440 等離子電視屏幕保養(yǎng)技巧/等離子電視維護(hù)保養(yǎng)指南
隨著等離子電視的普遍降價(jià)，等離子的普及率不斷提高，同時(shí)質(zhì)量問(wèn)題也
2010-02-09 12:04:431349 什么是等離子電視？
等離子電視又稱PDP(Plasma Display Panel)電視，等離子電視是利用惰性氣體在一定電壓的作用下產(chǎn)生氣體放電
2010-02-09 12:05:271082 什么是等離子的畫(huà)面縱橫比
是指屏幕畫(huà)面縱向和橫向的比例，一般為16：9或4：3兩種。由于等離子多用來(lái)作為家庭影院的輸出設(shè)
2010-02-09 12:31:08616 等離子入門(mén)知識(shí)
一、什么是等離子 等離子：隨著溫度的升高，一般物質(zhì)依次表現(xiàn)為固體、液體和氣體。它們統(tǒng)稱物質(zhì)的三態(tài)。當(dāng)
2010-02-09 12:33:111194 什么是等離子移動(dòng)車/電視吊架
等離子移動(dòng)車 等離子移動(dòng)車是方便移動(dòng)等離子電視的一個(gè)裝置，等離子移動(dòng)車分普通
2010-03-26 11:25:01798 等離子電視,等離子電視原理,等離子電視術(shù)語(yǔ)大全
等離子電視技術(shù)原理 就技術(shù)角度而言，由于PDP中發(fā)光的等離子管在平面
2010-03-27 14:48:37901 等離子電視的9大優(yōu)點(diǎn)是什么？
等離子電視的尺寸一般都在40英寸以上，所以都以“大塊頭”著稱，放在家里也特有面
2010-04-09 16:34:081056 等離子顯示器輸入接口簡(jiǎn)介
等離子（PDP）中文叫等離子顯示器，是采用近幾年來(lái)高速發(fā)展的等離子平面屏幕技術(shù)的新—代顯示設(shè)備，等離子顯示器
2010-05-12 10:59:111519 
一、 什么叫等離子、等離子屏和等離子電視 1、等離子：隨著溫度的升高，一般物質(zhì)依次表現(xiàn)為固體、液體和氣體。它們統(tǒng)稱物質(zhì)的三態(tài)。當(dāng)氣體溫度進(jìn)一步升高時(shí)，其中
2010-08-26 09:25:012896 每個(gè)HBLED制造商的目標(biāo)都是花更少的錢(qián)獲得更多的光輸出。面對(duì)強(qiáng)大的競(jìng)爭(zhēng)和眾多技術(shù)障礙，至關(guān)重要的是所有的生產(chǎn)步驟的推進(jìn)都要產(chǎn)生最佳的效果。優(yōu)化的 等離子 刻蝕提供了幾種方
2011-10-31 12:10:371176 中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司(以下簡(jiǎn)稱“中微”)于 SEMICON China 展會(huì)期間宣布，中微第二代等離子體刻蝕設(shè)備 Primo AD-RIE? 正式裝配國(guó)內(nèi)技術(shù)最先進(jìn)的集成電路芯片代工企業(yè)中芯國(guó)際
2012-03-22 11:26:421066 等離子電視原理，網(wǎng)絡(luò)很少的資料，了解些等離子電視原理，可以對(duì)維修有點(diǎn)幫助！
2015-12-31 15:27:100 本文介紹了等離子平板顯示（PDP）技術(shù)與工作原理，以及等離子平板顯示的特點(diǎn)和發(fā)光材料的簡(jiǎn)介。
2017-10-17 15:49:5031 ，根據(jù)搜集到的信息和技術(shù)文獻(xiàn)，綜述了國(guó)內(nèi)外等離子體天線技術(shù)的發(fā)展概況，并介紹了國(guó)外一些有代表性的等離子體天線專利技術(shù)。
2018-06-01 10:31:004428 中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司(以下簡(jiǎn)稱中微)正式發(fā)布了第一代電感耦合等離子體刻蝕設(shè)備Primo nanova，用于大批量生產(chǎn)存儲(chǔ)芯片和邏輯芯片的前道工序。該設(shè)備采用了中微具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的電感耦合
2018-04-18 05:49:002085 本文開(kāi)始介紹了等離子電視的定義、等離子電視優(yōu)缺點(diǎn)以及它的組成，其次闡述了液晶電視的概念以及液晶電視的優(yōu)缺點(diǎn)，最后介紹了等離子電視和液晶電視的區(qū)別。
2018-03-20 14:42:1522013 本文開(kāi)始介紹了等離子電視的概念和等離子電視的工作原理，其次闡述了等離子屏顯示原理及等離子電視使用注意事項(xiàng)，最后介紹了等離子電視維修方法。
2018-03-20 15:03:1239277 本文開(kāi)始介紹了等離子電視結(jié)構(gòu)與成像原理及等離子電視的發(fā)展，其次分析了等離子電視是不是全面停產(chǎn)了，最后對(duì)等離子電視淘汰或停產(chǎn)的原因進(jìn)行了分析。
2018-03-20 15:30:4195829 
國(guó)內(nèi)的中微電子已經(jīng)研發(fā)成功5nm等離子刻蝕機(jī)，并通過(guò)了臺(tái)積電的認(rèn)證，將用于全球首條5nm工藝。
2018-12-20 08:55:2624111 5納米，相當(dāng)于頭發(fā)絲直徑的二萬(wàn)分之一，將成為集成電路芯片上的最小線寬。臺(tái)積電計(jì)劃明年進(jìn)行5納米制程試產(chǎn)，預(yù)計(jì)2020年量產(chǎn)。最近，中微半導(dǎo)體公司收到一個(gè)好消息：其自主研制的5納米等離子體刻蝕
2019-01-01 10:44:003862 中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司自主研制的5納米等離子體刻蝕機(jī)經(jīng)臺(tái)積電驗(yàn)證，性能優(yōu)良，將用于全球首條5納米制程生產(chǎn)線。
2018-12-29 08:48:144742 鎢極接電源負(fù)端，噴嘴接電源正端，等離子弧體產(chǎn)生在鎢極與噴嘴之間，在等離子氣體壓送下，弧柱從噴嘴中噴出，形成等離子焰。
2019-07-09 14:18:1513454 如果大家家里面的電視機(jī)是等離子電視機(jī)的話，大家有沒(méi)有遇見(jiàn)過(guò)等離子電視機(jī)的屏幕壞掉的情況呢！今天小編就為大家介紹一下等離子屏幕維修的方法，希望對(duì)大家使用等離子電視機(jī)有所幫助。
2019-11-15 09:32:022338 近日，泛林集團(tuán)發(fā)布了一項(xiàng)革新性的等離子刻蝕技術(shù)及系統(tǒng)解決方案，旨在為芯片制造商提供先進(jìn)的功能和可擴(kuò)展性，以滿足未來(lái)的創(chuàng)新需求。泛林集團(tuán)開(kāi)創(chuàng)性的Sense.i 平臺(tái)基于小巧且高精度的架構(gòu)，能提供
2020-03-10 08:44:552204 本文首先介紹了等離子電視機(jī)常見(jiàn)故障及排查方法，其次闡述了等離子電視機(jī)的使用壽命，最后介紹了等離子電視機(jī)的保養(yǎng)方法。
2020-03-26 10:40:2218902 
本文首先分析了等離子電視是否可以投屏，其次闡述了等離子電視壞了的維修方法，最后介紹了等離子電視工作原理。
2020-03-26 10:55:178503 中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司(以下簡(jiǎn)稱“中微”)在本周舉辦的SEMICON China期間正式發(fā)布了第一代電感耦合等離子體刻蝕設(shè)備Primo nanova?，用于大批量生產(chǎn)存儲(chǔ)芯片和邏輯芯片的前道工序。
2020-04-22 17:20:244109 摘要：等離子技術(shù)在印制電路板行業(yè)中主要作為處理鉆孔殘膠的一種重要手段。文章介紹了PCB等離子清洗設(shè)備的維護(hù)方法。在等離子清洗設(shè)備在使用中，會(huì)遇到除膠清洗達(dá)不到要求、設(shè)備本身故障率異常等問(wèn)題。如何保證
2020-09-24 10:52:297014 
北方華創(chuàng)（Naura）官方宣布，ICP等離子刻蝕機(jī)第1000腔交付儀式近日在北京亦莊基地舉行，NAURA刻蝕機(jī)研發(fā)團(tuán)隊(duì)見(jiàn)證了這一歷史性時(shí)刻。
2020-12-11 15:30:092176 在集成電路的制造過(guò)程中，刻蝕就是利用化學(xué)或物理方法有選擇性地從硅片表面去除不需要的材料的過(guò)程。從工藝上區(qū)分，刻蝕可以分為濕法刻蝕和干法刻蝕。前者的主要特點(diǎn)是各向同性刻蝕；后者是利用等離子體來(lái)進(jìn)行
2020-12-29 14:42:588547 
尹志堯表示，公司的等離子體刻蝕設(shè)備已應(yīng)用在國(guó)際一線客戶從65納米到14納米、7納米和5納米及其他先進(jìn)的集成電路加工制造生產(chǎn)線和先進(jìn)封裝生產(chǎn)線。
2021-04-09 14:28:432052 近日，微公司董事長(zhǎng)、總經(jīng)理尹志堯透露，公司研發(fā)的等離子刻蝕設(shè)備已經(jīng)進(jìn)入客戶的5nm生產(chǎn)線。 尹志堯表示，公司的等離子體刻蝕設(shè)備已應(yīng)用在國(guó)際一線客戶從65納米到14納米、7納米和5納米及其他先進(jìn)
2021-04-11 11:27:422572 等離子清洗是通過(guò)使用稱為等離子體的電離氣體從物體表面去除所有有機(jī)物質(zhì)的過(guò)程。這通常在使用氧氣和/或氬氣的真空室中進(jìn)行。清潔過(guò)程是一種環(huán)境安全的過(guò)程，因?yàn)椴簧婕按碳ば曰瘜W(xué)品。等離子體通常會(huì)在被清潔的表面上留下自由基，以進(jìn)一步增加該表面的粘合性。
2021-12-22 14:35:074946 等離子體輔助刻蝕的基礎(chǔ)簡(jiǎn)單；使用氣體輝光放電來(lái)離解和離子化相對(duì)穩(wěn)定的分子，形成化學(xué)反應(yīng)性和離子性物質(zhì)，并選擇化學(xué)物質(zhì)，使得這些物質(zhì)與待蝕刻的固體反應(yīng)，形成揮發(fā)性產(chǎn)物。等離子體蝕刻可分為單晶片和分批
2022-02-14 15:22:071612 
由于其平行照明，WLI PL非常適合用于測(cè)量具有高深寬比的等離子切割刻蝕溝槽，因?yàn)榇蟛糠止獾竭_(dá)了刻蝕結(jié)構(gòu)的底部，因此可以測(cè)量深度。
2022-06-13 10:14:08714 與濕式刻蝕比較，等離子體刻蝕較少使用化學(xué)試劑，因此也減少了化學(xué)藥品的成本和處理費(fèi)用。
2022-12-29 17:28:541463 刻蝕有三種:純化學(xué)刻蝕、純物理刻蝕，以及介于兩者之間的反應(yīng)式離子刻蝕（ReactiveIonEtch,RIE）。
2023-02-20 09:45:072586 氮化鎵作為一種寬帶隙半導(dǎo)體，已被用于制造發(fā)光二極管和激光二極管等光電器件。最近已經(jīng)開(kāi)發(fā)了幾種用于氮化鎵基材料的
不同干蝕刻技術(shù)。電感耦合等離子體刻蝕因其優(yōu)越的等離子體均勻性和強(qiáng)可控性而備受關(guān)注
2023-02-22 15:45:410 從下圖中可以看出結(jié)合使用XeF2氣流和氯離子轟擊的刻蝕速率最高，明顯高于這兩種工藝單獨(dú)使用時(shí)的刻蝕速率總和。
2023-02-23 17:17:202706 等離子體最初用來(lái)刻蝕含碳物質(zhì)，例如用氧等離子體剝除光刻膠，這就是所謂的等離子體剝除或等離子體灰化。等離子體中因高速電子分解碰撞產(chǎn)生的氧原子自由基會(huì)很快與含碳物質(zhì)中的碳和氫反應(yīng)，形成易揮發(fā)的co,co2和h2o并且將含碳物質(zhì)有效地從表面移除。這個(gè)過(guò)程是在帶有刻蝕隧道的桶狀系統(tǒng)中進(jìn)行的（見(jiàn)下圖）。
2023-03-06 13:50:481074 壓力主要控制刻蝕均勻性和刻蝕輪廓，同時(shí)也能影響刻蝕速率和選擇性。改變壓力會(huì)改變電子和離子的平均自由程(MFP),進(jìn)而影響等離子體和刻蝕速率的均勻性。
2023-04-17 10:36:431922 氧等離子體和氫等離子體都可用于蝕刻石墨烯。兩種石墨烯氣體等離子刻蝕的基本原理是通過(guò)化學(xué)反應(yīng)沿石墨烯的晶面進(jìn)行刻蝕。不同的是，氧等離子體攻擊碳碳鍵后形成一氧化碳、二氧化碳等揮發(fā)性氣體，而氫等離子體則形成甲烷氣體并與之形成碳?xì)滏I。
2022-06-21 14:32:25391 
等離子體工藝是干法清洗應(yīng)用中的重要部分，隨著微電子技術(shù)的發(fā)展，等離子體清洗的優(yōu)勢(shì)越來(lái)越明顯。文章介紹了等離子體清洗的特點(diǎn)和應(yīng)用，討論了它的清洗原理和優(yōu)化設(shè)計(jì)方法。最后分析了等離子體清洗工藝的關(guān)鍵技術(shù)及解決方法。
2023-10-18 17:42:36448 
眾所周知，化合物半導(dǎo)體中不同的原子比對(duì)材料的蝕刻特性有很大的影響。為了對(duì)蝕刻速率和表面形態(tài)的精確控制，通過(guò)使用低至25nm的薄器件阻擋層的，從而增加了制造的復(fù)雜性。本研究對(duì)比了三氯化硼與氯氣的偏置功率，以及氣體比對(duì)等離子體腐蝕高鋁含量AlGaN與AlN在蝕刻速率、選擇性和表面形貌方面的影響。
2023-12-15 14:28:30227 
對(duì)DRIE刻蝕，是基于氟基氣體的高深寬比硅刻蝕技術(shù)。與RIE刻蝕原理相同，利用硅的各向異性，通過(guò)化學(xué)作用和物理作用進(jìn)行刻蝕。不同之處在于，兩個(gè)射頻源：將等離子的產(chǎn)生和自偏壓的產(chǎn)生分離
2024-01-14 14:11:59512 
等離子發(fā)動(dòng)機(jī)原理： 等離子發(fā)動(dòng)機(jī)是一種利用電磁力將離子加速并噴射出來(lái)產(chǎn)生推力的發(fā)動(dòng)機(jī)。它主要包括等離子體產(chǎn)生器、離子加速器和噴嘴等組成。下面將詳細(xì)介紹等離子發(fā)動(dòng)機(jī)的工作原理。 生成等離子體：等離子
2024-02-14 18:18:003173
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