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電子發(fā)燒友網(wǎng)>制造/封裝>制造新聞>ASML研發(fā)下一代EUV光刻機(jī):分辨率提升70% 逼近1nm極限

ASML研發(fā)下一代EUV光刻機(jī):分辨率提升70% 逼近1nm極限

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EUV光刻機(jī)ASML 2018年總銷量18臺(tái),計(jì)劃明年30臺(tái)

根據(jù)ASML財(cái)報(bào)顯示, 2018年Q4季EUV光刻機(jī)設(shè)備完成5臺(tái)交付,全年EUV光刻機(jī)設(shè)備總銷量達(dá)到18臺(tái),并計(jì)劃2019年將完成30臺(tái)的交付量。 圖1:ASML 2014~2018財(cái)年?duì)I收對(duì)照分析
2019-01-25 14:50:5010824

ASML明年將發(fā)布新一代EUV光刻機(jī) 三星太子急赴荷蘭

,相比上一代產(chǎn)品,新款EUV光刻機(jī)生產(chǎn)效率將提升18%,曝光速度為30mj/cm,每小時(shí)可處理160片晶圓。 有意思的是,在2019年的年報(bào)中,ASML便提到正在研發(fā)新一代EUV光刻機(jī)的計(jì)劃,不過并未透露具體型號(hào),只是披露將在2022年初計(jì)劃出貨,2024年后大規(guī)模生產(chǎn)。而此次所公布的EUV光刻機(jī)
2020-10-17 05:02:003456

EUV光刻機(jī)就位后仍需解決的材料問題

對(duì)于如今的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)而言,EUV光刻機(jī)是打造下一代邏輯和DRAM工藝技術(shù)的關(guān)鍵所在,為了在未來的工藝軍備競賽中保持優(yōu)勢,臺(tái)積電、三星和英特爾等廠商紛紛花重金購置EUV光刻機(jī)。 ? 然而,當(dāng)這些來自
2022-07-22 07:49:002403

ASML與卡爾蔡司合作研發(fā)EUV光刻系統(tǒng) 2024年問世

半導(dǎo)體制造工藝是集成電路產(chǎn)業(yè)的核心,未來摩爾定律是否還能主宰產(chǎn)業(yè)發(fā)展就得看半導(dǎo)體工藝是否能在10nm以下的工藝?yán)^續(xù)突破了,而在這個(gè)問題上,荷蘭ASML公司的EUV光刻機(jī)何時(shí)成熟就是個(gè)關(guān)鍵了。上周
2016-11-07 11:33:072664

ASML計(jì)劃在2018年生產(chǎn)20臺(tái)EUV光刻機(jī)

EUV 作為現(xiàn)在最先進(jìn)的光刻機(jī),是唯一能夠生產(chǎn) 7nm 以下制程的設(shè)備,因?yàn)樗l(fā)射的光線波長僅為現(xiàn)有設(shè)備的十五分之一,能夠蝕刻更加精細(xì)的半導(dǎo)體電路,所以 EUV 也被成為“突破摩爾定律的救星
2018-05-17 09:22:2010936

ASML完成第100臺(tái)EUV光刻機(jī)出貨

根據(jù)最新數(shù)據(jù)顯示,ASML在12月中完成了第100臺(tái)EUV光刻機(jī)的出貨。更加利好的消息是,業(yè)內(nèi)預(yù)估ASML今年(2021年)的EUV光刻機(jī)產(chǎn)能將達(dá)到45~50臺(tái)的規(guī)模。
2021-01-03 00:28:004735

ASML完成第100臺(tái)EUV光刻機(jī)出貨:2021年產(chǎn)能將大增

目前全球在光刻機(jī)制造領(lǐng)域比較領(lǐng)先的只有三家公司,分別為荷蘭的ASML和日本的佳能和尼康。截止2011年,ASML已經(jīng)占到了全球光刻機(jī)市場的70以上的市場份額。在7nm和5nm制程領(lǐng)域,ASML是全球唯一一家可以生產(chǎn)相應(yīng)光刻機(jī)的公司。換句話說,在最先進(jìn)的光刻機(jī)生產(chǎn)領(lǐng)域,ASML達(dá)到了絕對(duì)壟斷的地步。
2021-01-04 11:30:523811

EUV光刻機(jī)何以造出5nm芯片?

作為近乎壟斷的光刻機(jī)巨頭,ASMLEUV光刻機(jī)已經(jīng)在全球頂尖的晶圓廠中獲得了使用。無論是英特爾、臺(tái)積電還是三星,EUV光刻機(jī)的購置已經(jīng)是生產(chǎn)支出中很大的一筆,也成了7nm之下不可或缺的制造設(shè)備
2021-12-01 10:07:4110988

ASML之外的光刻機(jī)廠商們近況如何?

盡管ASML作為目前占據(jù)主導(dǎo)地位的光刻機(jī)廠商,憑借獨(dú)有的EUV光刻機(jī)一騎絕塵,主導(dǎo)著半數(shù)以上的市場份額,但這并不代表著其他光刻機(jī)廠商也就“聽天由命”了。以兩大國外光刻機(jī)廠商尼康和佳能為例,他們就仍在
2022-11-24 01:57:004865

密度提升近3倍,高NA EUV光刻機(jī)有何玄機(jī)

電子發(fā)燒友網(wǎng)報(bào)道(文/周凱揚(yáng))到了3nm這個(gè)工藝節(jié)點(diǎn)之后,單靠現(xiàn)有的0.33NA EUV光刻機(jī)就很難維系下去了。為了實(shí)現(xiàn)2nm乃至未來的埃米級(jí)工藝,將晶體管密度推向1000MTr/mm2,全面
2022-12-07 01:48:002199

EUV熱潮不斷 中國如何推進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)發(fā)展?

ofweek電子工程網(wǎng)訊 國際半導(dǎo)體制造龍頭三星、臺(tái)積電先后宣布將于2018年量產(chǎn)7納米晶圓制造工藝。這消息使得業(yè)界對(duì)半導(dǎo)體制造的關(guān)鍵設(shè)備之極紫外光刻機(jī)EUV)的關(guān)注度大幅提升。此后又有媒體
2017-11-14 16:24:44

光刻機(jī)工藝的原理及設(shè)備

就是研發(fā)NA 0.5的光學(xué)鏡片,這是EUV光刻機(jī)未來進(jìn)提升分辨率的關(guān)鍵,不過高NA的EUV光刻機(jī)至少是2025-2030年的事了,還早著呢,光學(xué)鏡片的進(jìn)步比電子產(chǎn)品難多了。  NA數(shù)值時(shí)間不能提升
2020-07-07 14:22:55

光刻機(jī)是干什么用的

的要求則反過來,我們要確保影像要絕對(duì)清晰,就要將對(duì)焦點(diǎn)落在光阻上,并且確保光阻絕對(duì)不可落到景深范圍之外。那ASML光刻機(jī)景深有多大呢?  所以我們就是要把光阻移到這個(gè)100nm的范圍之內(nèi),是不是有點(diǎn)
2020-09-02 17:38:07

全球進(jìn)入5nm時(shí)代

%,Lam Research為10億美元,占臺(tái)積電采購額的9%,迪恩士占5%,KLA占4%。ASML目前,全球僅有ASML家公司掌握著EUV光刻機(jī)的核心技術(shù),這也是5nm制程必需的設(shè)備,但EUV
2020-03-09 10:13:54

半導(dǎo)體制造企業(yè)未來分析

哪些市場信息? 晶圓代工廠不惜重金 在制造工藝演進(jìn)到10nm之后,晶圓廠都在為摩爾定律的繼續(xù)前進(jìn)而做各種各樣的努力,EUV則是被看作的第個(gè)倚仗。而從EUV光刻機(jī)ASML的財(cái)務(wù)數(shù)據(jù)我們可以看到,其
2020-02-27 10:42:16

用Java開發(fā)下一代嵌入式產(chǎn)品

用Java開發(fā)下一代嵌入式產(chǎn)品在我10年的Java布道師生涯里,沒有哪次Java新版本發(fā)布能讓我如此興奮。Java 8的發(fā)布不僅在語言本身加入了些不錯(cuò)的新特性,還在嵌入式開發(fā)上加入了很棒的功能
2021-11-05 09:12:34

魂遷光刻,夢(mèng)繞芯片,中芯國際終獲ASML大型光刻機(jī) 精選資料分享

據(jù)羊城晚報(bào)報(bào)道,近日中芯國際從荷蘭進(jìn)口的臺(tái)大型光刻機(jī),順利通過深圳出口加工區(qū)場站兩道閘口進(jìn)入廠區(qū),中芯國際發(fā)表公告稱該光刻機(jī)并非此前盛傳的EUV光刻機(jī),主要用于企業(yè)復(fù)工復(fù)產(chǎn)后的生產(chǎn)線擴(kuò)容。我們知道
2021-07-29 09:36:46

芯片制造關(guān)鍵的EUV光刻機(jī)單價(jià)為何能超1億歐元?

進(jìn)入10nm工藝節(jié)點(diǎn)之后,EUV光刻機(jī)越來越重要,全球能產(chǎn)EUV光刻機(jī)的就是荷蘭ASML公司了,他們總共賣出18臺(tái)EUV光刻機(jī),總價(jià)值超過20億歐元,折合每套系統(tǒng)售價(jià)超過1億歐元,可謂價(jià)值連城。
2017-01-19 18:22:593470

ASML公司Q2季度出貨4臺(tái)EUV光刻機(jī),大陸市場營收比例達(dá)到19%

光刻機(jī),是半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)中最重要的設(shè)備之一,荷蘭ASML公司已經(jīng)成為全球光刻機(jī)市場的一哥,壟斷了高端光科技生產(chǎn),在EUV光刻機(jī)領(lǐng)域更是獨(dú)一份。
2018-07-19 16:52:002940

ASML將于明年出貨30臺(tái)EUV光刻機(jī)

臺(tái)積電前不久試產(chǎn)了7nm EUV工藝,預(yù)計(jì)明年大規(guī)模量產(chǎn),三星今天宣布量產(chǎn)7nm EUV工藝,這意味著EUV工藝就要正式商業(yè)化了,而全球最大的光刻機(jī)公司荷蘭ASML為這一天可是拼了20多年。
2018-10-19 10:49:293306

EUV光刻機(jī)對(duì)半導(dǎo)體制程的重要性

半導(dǎo)體工藝水平,實(shí)現(xiàn)7nm及以下工藝?! 〉歉淖儾ㄩL之后再進(jìn)一步提升EUV光刻機(jī)分辨率就要從NA指標(biāo)上下手了,目前的光刻機(jī)使用的還是NA=0.33的物鏡系統(tǒng),下一代的目標(biāo)就是NA=0.5及以上
2018-11-02 10:14:19834

ASML研發(fā)下一代EUV光刻機(jī) 華為將滿足英國提出的要求

ASML的副總裁Anthony Yen日前表示,他們已經(jīng)開始研發(fā)下一代光刻機(jī)。他表示,在他們公司看來,一旦現(xiàn)有的系統(tǒng)到達(dá)了極限,他們有必要去繼續(xù)推動(dòng)新一代產(chǎn)品的發(fā)展,進(jìn)而推動(dòng)芯片的微縮。
2018-12-09 09:12:215632

ASML正在著手開發(fā)新一代極紫外(EUV光刻機(jī)

ASML副總裁Anthony Yen表示,ASML已開始開發(fā)極紫外(EUV光刻機(jī),其公司認(rèn)為,一旦當(dāng)今的系統(tǒng)達(dá)到它們的極限,就將需要使用極紫外光刻機(jī)來繼續(xù)縮小硅芯片的特征尺寸。
2018-12-09 10:35:077142

ASML開始研發(fā)下一代光刻機(jī)

ASML的副總裁Anthony Yen日前表示,他們已經(jīng)開始研發(fā)下一代光刻機(jī)。他表示,在他們公司看來,一旦現(xiàn)有的系統(tǒng)到達(dá)了極限,他們有必要去繼續(xù)推動(dòng)新一代產(chǎn)品的發(fā)展,進(jìn)而推動(dòng)芯片的微縮。 據(jù)介紹
2018-12-11 17:27:01157

臺(tái)積電將吃下ASML2019年18臺(tái)EUV光刻機(jī) 7納米銷售占比將提升至25%

就在日前,半導(dǎo)體設(shè)備大廠荷蘭商艾司摩爾 (ASML) 在財(cái)報(bào)會(huì)議上表示,2019 年 ASML 將把極紫外光刻機(jī)EUV) 的年出貨量從 18 臺(tái),提升到30 臺(tái)之后,現(xiàn)有外國媒體報(bào)導(dǎo),晶圓代工
2019-02-13 16:53:038511

臺(tái)積電將包攬ASML這批EUV光刻機(jī)中的18臺(tái)

由于三星去年就小規(guī)模投產(chǎn)了7nm EUV,同時(shí)ASML(荷蘭阿斯麥)將EUV光刻機(jī)的年出貨量從18臺(tái)提升到今年的預(yù)計(jì)30臺(tái),顯然促使臺(tái)積電不得不加快腳步。
2019-04-30 17:30:037913

ASML新一代EUV光刻機(jī)性能提升70%_2025年量產(chǎn)

2016年,ASML公司宣布斥資20億美元收購德國蔡司公司25%的股份,并投資數(shù)億美元合作研發(fā)新一代透鏡,而ASML這么大手筆投資光學(xué)鏡頭公司就是為了研發(fā)新一代EUV光刻機(jī)
2019-07-13 09:40:165058

ASML發(fā)布2019年Q2季度財(cái)報(bào) EUV光刻機(jī)最主要的問題還是產(chǎn)能不足

掌握全球唯一EUV光刻機(jī)研發(fā)、生產(chǎn)的荷蘭ASML(阿斯麥)公司今天發(fā)布了2019年Q2季度財(cái)報(bào),當(dāng)季營收25.68億歐元,其中凈設(shè)備銷售額18.51億歐元,總計(jì)出貨了41臺(tái)光刻機(jī),其中EUV光刻機(jī)7臺(tái)。
2019-07-18 16:02:003147

動(dòng)態(tài) | 阿斯麥發(fā)布Q2財(cái)報(bào):EUV光刻機(jī)產(chǎn)能大增

掌握全球唯一EUV光刻機(jī)研發(fā)、生產(chǎn)的荷蘭ASML(阿斯麥)公司今天發(fā)布了2019年Q2季度財(cái)報(bào),當(dāng)季營收25.68億歐元,其中凈設(shè)備銷售額18.51億歐元,總計(jì)出貨了41臺(tái)光刻機(jī),其中EUV光刻機(jī)7臺(tái)。
2019-07-23 10:47:213102

關(guān)于EUV光刻機(jī)的分析介紹

格芯首席技術(shù)官Gary Patton表示,如果在5nm的時(shí)候沒有使用EUV光刻機(jī),那么光刻的步驟將會(huì)超過100步,這會(huì)讓人瘋狂。所以所EUV光刻機(jī)無疑是未來5nm和3nm芯片的最重要生產(chǎn)工具,未來圍繞EUV光刻機(jī)的爭奪戰(zhàn)將會(huì)變得異常激烈。因?yàn)檫@是決定這些廠商未來在先進(jìn)工藝市場競爭的關(guān)鍵。
2019-09-03 17:18:1812845

ASML研發(fā)第二代EUV光刻機(jī)的微縮分辨率、套準(zhǔn)精度提升70%

據(jù)韓媒報(bào)道稱,ASML正積極投資研發(fā)下一代EUV光刻機(jī),與現(xiàn)有光刻機(jī)相比,二代EUV光刻機(jī)最大的變化就是High NA透鏡,通過提升透鏡規(guī)格使得新一代光刻機(jī)的微縮分辨率、套準(zhǔn)精度兩大光刻機(jī)核心指標(biāo)提升70%,達(dá)到業(yè)界對(duì)幾何式芯片微縮的要求。
2019-08-07 11:24:395849

中芯國際與ASML光刻機(jī)問題解決,開始進(jìn)入光刻階段

在半導(dǎo)體工藝進(jìn)入 10nm 節(jié)點(diǎn)之后,制造越來越困難,其中最復(fù)雜的一步——光刻需要用到 EUV 光刻機(jī)了,而后者目前只有荷蘭 ASML 阿斯麥公司才能供應(yīng)。
2019-12-10 16:04:287122

ASML研發(fā)新一代EUV光刻機(jī) 分辨率提升70%左右

EUV光刻機(jī)方面,荷蘭ASML(阿斯麥)公司壟斷了目前的EUV光刻機(jī),去年出貨26臺(tái),創(chuàng)造了新紀(jì)錄。據(jù)報(bào)道,ASML公司正在研發(fā)新一代EUV光刻機(jī),預(yù)計(jì)在2022年開始出貨。
2020-03-17 09:13:482863

ASML新一代EUV光刻機(jī)預(yù)計(jì)2022年開始出貨 將進(jìn)一步提升光刻機(jī)的精度

EUV光刻機(jī)方面,荷蘭ASML(阿斯麥)公司壟斷了目前的EUV光刻機(jī),去年出貨26臺(tái),創(chuàng)造了新紀(jì)錄。據(jù)報(bào)道,ASML公司正在研發(fā)新一代EUV光刻機(jī),預(yù)計(jì)在2022年開始出貨。
2020-03-17 09:21:194670

ASML憑什么稱霸光刻機(jī)市場

近日,荷蘭光刻機(jī)巨頭阿斯麥(ASML)公司2019年的年報(bào)中披露了關(guān)于下一代EUV極紫光刻機(jī)研發(fā)進(jìn)程,預(yù)計(jì)2022年年初開始出貨,2024年實(shí)現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)。
2020-03-17 15:25:593120

為什么只有ASML才能制造出頂級(jí)光刻機(jī),其技術(shù)難度有多高

大家都知道,目前我國光刻機(jī)技術(shù)至少落后荷蘭ASML15年,目前荷蘭ASML的頂級(jí)光刻機(jī)可以達(dá)到7nm工藝,目前他們正大研發(fā)5nm工藝光刻機(jī)。
2020-04-19 23:43:2610223

EUV光刻機(jī)全球出貨量達(dá)57臺(tái)

與此同時(shí), 他指出,EUV繼續(xù)為ASML的客戶提高產(chǎn)量,迄今為止,他們的客戶已經(jīng)使用EUV光刻機(jī)曝光了超過1100萬個(gè)EUV晶圓,并交付了57個(gè)3400x EUV系統(tǒng)(3400平臺(tái)是EUV生產(chǎn)平臺(tái))。
2020-08-14 11:20:552048

IMEC和ASML研發(fā)低至1nm工藝的高分辨率EUV光刻技術(shù)

了公司研究概況,他強(qiáng)調(diào)通過與ASML公司緊密合作,將下一代分辨率EUV光刻技術(shù)高NA EUV光刻技術(shù)商業(yè)化。IMEC公司強(qiáng)調(diào),將繼續(xù)把工藝規(guī)??s小到1nm及以下。 包括日本在內(nèi)的許多半導(dǎo)體公司相繼退出了工藝小型化,聲稱摩爾定律已經(jīng)走到了盡頭,或者說成本太高,無利可圖。
2020-12-02 16:28:53806

ASML公布新一代EUV光刻機(jī)

,當(dāng)季ASML共獲得60臺(tái)光刻機(jī)的銷售收入,總額31億歐元,其中EUV光刻機(jī)14臺(tái),但收入占比達(dá)到了66%。 地區(qū)方面
2020-10-16 14:27:463951

EUV光刻機(jī)還能賣給中國嗎?

ASMLEUV光刻機(jī)是目前全球唯一可以滿足22nm以下制程芯片生產(chǎn)的設(shè)備,其中10nm及以下的芯片制造,EUV光刻機(jī)必不可缺。一臺(tái)EUV光刻機(jī)的售價(jià)為1.48億歐元,折合人民幣高達(dá)11.74億元
2020-10-19 12:02:499647

ASML承諾對(duì)向中國出口集成電路光刻機(jī)持開放態(tài)度

11月5日,世界光刻機(jī)巨頭荷蘭阿斯麥ASML亮相第三屆進(jìn)博會(huì)。作為全球唯一能生產(chǎn)EUV(極紫外光)光刻機(jī)的企業(yè),由于ASML目前仍不能向中國出口EUV光刻機(jī),所以此次展示的是其DUV(深紫外光)光刻機(jī)。據(jù)悉,該產(chǎn)品可生產(chǎn)7nm及以上制程芯片。
2020-11-06 11:18:552396

目前全球只有荷蘭ASML有能力生產(chǎn)EUV光刻機(jī)

11月5日,世界光刻機(jī)巨頭荷蘭阿斯麥ASML亮相第三屆進(jìn)博會(huì)。作為全球唯一能生產(chǎn)EUV(極紫外光)光刻機(jī)的企業(yè),由于ASML目前仍不能向中國出口EUV光刻機(jī),所以此次展示的是其DUV(深紫外光)光刻機(jī)。據(jù)悉,該產(chǎn)品可生產(chǎn)7nm及以上制程芯片。
2020-11-06 11:27:465517

銷量占比達(dá)20%,ASML向中國銷售光刻機(jī)已達(dá)700臺(tái)

作為半導(dǎo)體制造中的核心設(shè)備,光刻機(jī)無疑是芯片產(chǎn)業(yè)皇冠上的明珠,特別是先進(jìn)工藝的光刻機(jī),7nm以下的都要依賴ASML公司,EUV光刻機(jī)他們還是獨(dú)一份。
2020-11-09 17:11:382195

ASML EUV光刻機(jī)被美國限制 中國企業(yè)出多少錢都買不回

,不過ASML對(duì)這個(gè)機(jī)器是不放行的,主要是美國強(qiáng)制要求。 EUV光刻機(jī)光刻機(jī)在發(fā)展過程中的第五代產(chǎn)品,由于采用了極紫外線,它的最小工業(yè)節(jié)點(diǎn)到了 22nm-7nm,可以說是世界上最先進(jìn)的光刻機(jī)設(shè)備而這種設(shè)備,只有ASML能造出來。 2018年4月,中芯國際向
2020-11-10 10:08:043056

ASML向中國出售EUV光刻機(jī),沒那么容易

中國需要光刻機(jī),尤其是支持先進(jìn)制程的高端光刻機(jī)。具體來說,就是 EUV (極紫外光源)光刻機(jī)
2020-11-11 10:13:304278

光刻機(jī)巨頭ASML為什么能成功?

龍頭。 而在上世紀(jì)80年代,ASML只是飛利浦和ASM合資的一家小公司。但伴隨著半導(dǎo)體行業(yè)風(fēng)云變化,短短二十年時(shí)間,ASML就將昔日光刻機(jī)大國美國和日本拉下神壇。如今,全球7nm及以下工藝的EUV光刻機(jī),只有它能提供。那么,ASML光刻機(jī)領(lǐng)域快
2020-11-13 09:28:515165

ASML完成制造1nm芯片EUV光刻機(jī)

本月中旬,在日本東京舉辦了ITF論壇。 論壇上,與ASML(阿斯麥)合作研發(fā)光刻機(jī)的比利時(shí)半導(dǎo)體研究機(jī)構(gòu)IMEC公布了3nm及以下制程的在微縮層面技術(shù)細(xì)節(jié)。 至少就目前而言,ASML對(duì)于3m、2nm
2020-11-30 15:47:402520

ASML已完成制造1nm芯片的EUV光刻機(jī)的設(shè)計(jì)方案

本月中旬,在日本東京舉辦了ITF論壇。論壇上,與ASML(阿斯麥)合作研發(fā)光刻機(jī)的比利時(shí)半導(dǎo)體研究機(jī)構(gòu)IMEC公布了3nm及以下制程的在微縮層面技術(shù)細(xì)節(jié)。
2020-11-30 15:52:211821

IMEC發(fā)布低至1nm及以上的邏輯器件路線圖

 IMEC公司首席執(zhí)行官兼總裁Luc Van den hove首先發(fā)表了主題演講,介紹了公司研究概況,他強(qiáng)調(diào)通過與ASML公司緊密合作,將下一代分辨率EUV光刻技術(shù)——高NA EUV光刻技術(shù)商業(yè)化。IMEC公司強(qiáng)調(diào),將繼續(xù)把工藝規(guī)??s小到1nm及以下。
2020-12-01 09:28:421159

ASML已基本完成1nm光刻機(jī)設(shè)計(jì)

了公司研究概況,他強(qiáng)調(diào)通過與ASML公司緊密合作,將下一代分辨率EUV光刻技術(shù)高NA EUV光刻技術(shù)商業(yè)化。IMEC公司強(qiáng)調(diào),將繼續(xù)把工藝規(guī)??s小到1nm及以下。 包括日本在內(nèi)的許多半導(dǎo)體公司相繼退出了工藝小型化,聲稱摩爾定律已經(jīng)走到了盡頭,或者說成本太高,無利可圖。
2020-12-01 09:54:331508

ASML表示將向國內(nèi)市場出售更多的DUV光刻機(jī)

而由其所研發(fā)生產(chǎn)的EUV光刻機(jī)更是在高端市場之中處于一家獨(dú)大的位置。臺(tái)積電作為ASML的股東很輕松就能夠獲得ASMLEUV光刻機(jī),所以這邊導(dǎo)致臺(tái)積電一直以來在技術(shù)上領(lǐng)先于三星。當(dāng)然能夠在5納米等工藝方面保持領(lǐng)先的地位,也是因?yàn)檫@個(gè)原因。
2020-12-01 12:03:152339

臺(tái)積電現(xiàn)采購 35 臺(tái) EUV 光刻機(jī),占 ASML 過半產(chǎn)量

據(jù)中國臺(tái)灣經(jīng)濟(jì)日?qǐng)?bào)報(bào)道,EUV 光刻機(jī)制造商 ASML 首席執(zhí)行官 Peter Wennink 帶領(lǐng)高管拜訪三星,雙方尋求技術(shù)與投資合作。三星希望能搶在臺(tái)積電之前,取得 ASML 下一代 EUV
2020-12-02 11:16:571536

全球最先進(jìn)的1nm EUV光刻機(jī)業(yè)已完成設(shè)計(jì)

想想幾年前的全球半導(dǎo)體芯片市場,真的可謂哀嚎一片,一時(shí)間摩爾定律失效的言論可謂此起彼伏。但是在今天,我們不僅看到5nm工藝如期而至,臺(tái)積電宣布2nm獲得重大進(jìn)展,就連光刻機(jī)的老大ASML也傳來捷報(bào),全球最先進(jìn)的1nm EUV光刻機(jī)業(yè)已完成設(shè)計(jì)。
2020-12-02 16:55:419682

為何只有荷蘭ASML才能制造頂尖EUV光刻機(jī)設(shè)備?

自從芯片工藝進(jìn)入到7nm工藝時(shí)代以后,需要用到一臺(tái)頂尖的EUV光刻機(jī)設(shè)備,才可以制造7nm EUV、5nm等先進(jìn)制程工藝的芯片產(chǎn)品,但就在近日,又有外媒豪言:這種頂尖的EUV極紫外光刻機(jī),目前全球
2020-12-03 13:46:226379

據(jù)說1nm光刻機(jī)已經(jīng)被設(shè)計(jì)出來了,預(yù)計(jì)2022年即可商用

的邏輯器件小型化路線圖。 根據(jù)IMEC首席執(zhí)行官兼總裁Luc Van den hove透露,IMEC公司與ASML緊密合作,將推進(jìn)下一代分辨率EUV光刻技術(shù)商用。目前,ASML已完成作為NXE
2020-12-07 17:07:108923

荷蘭巨頭1nm光刻機(jī)迎新突破,預(yù)計(jì)會(huì)在2022年實(shí)現(xiàn)商業(yè)化

? ? 11月30日最新報(bào)道,近日荷蘭光刻機(jī)巨頭阿斯麥(ASML)又送來一則好消息,該司已經(jīng)與比利時(shí)半導(dǎo)體研究機(jī)構(gòu)IMEC共同完成了1nm光刻機(jī)的設(shè)計(jì)工作。 ? 據(jù)了解,先進(jìn)制程的光刻機(jī)對(duì)于曝光設(shè)備
2020-12-09 09:35:594107

臺(tái)積電為1nm制程狂購EUV光刻機(jī)

之前有消息稱,臺(tái)積電正在籌集更多的資金,為的是向ASML購買更多更先進(jìn)制程的EUV光刻機(jī),而這些都是為了新制程做準(zhǔn)備。
2020-12-29 09:22:482192

臺(tái)積電向ASML購買更多更先進(jìn)制程的EUV光刻機(jī)

Luc Van den hove表示,IMEC的目標(biāo)是將下一代分辨率EUV光刻技術(shù)高NA EUV光刻技術(shù)商業(yè)化。由于此前得光刻機(jī)競爭對(duì)手早已經(jīng)陸續(xù)退出市場,目前ASML把握著全球主要的先進(jìn)光刻機(jī)產(chǎn)能,近年來,IMEC一直在與ASML研究新的EUV光刻機(jī),目前目標(biāo)是將工藝規(guī)模縮小到1nm及以下。
2020-12-30 09:23:481673

2021年臺(tái)積電和三星將需要ASML供應(yīng)多少臺(tái)EUV光刻機(jī)

? ? 半導(dǎo)體晶圓代工成為全球科技競爭的焦點(diǎn),先進(jìn)制程的角逐競爭日趨激烈,ASMLEUV光刻機(jī)供應(yīng)成為產(chǎn)業(yè)界關(guān)心的話題。2021年臺(tái)積電和三星將需要ASML供應(yīng)多少臺(tái)EUV光刻機(jī)?臺(tái)灣和日本產(chǎn)
2020-12-30 17:53:354016

ASML一共出貨了100臺(tái)EUV光刻機(jī)左右

而2018年中芯與ASML簽訂了一項(xiàng)EUV光刻機(jī)購買協(xié)議,以1.2億美元購買一臺(tái)光刻機(jī),但直到現(xiàn)在都沒有交貨,因?yàn)闆]有拿到出口許可證。
2021-01-08 11:37:512368

三星1nm時(shí)代光刻機(jī)體積將增加

近日,在日本東京舉辦的ITF論壇上,與ASML合作研發(fā)光刻機(jī)的比利時(shí)半導(dǎo)體研究機(jī)構(gòu)IMEC公布了3nm及以下制程在微縮層面技術(shù)細(xì)節(jié)。
2021-01-13 16:43:112816

晶瑞順利購得 ASML XT 1900 Gi 型光刻機(jī)一臺(tái),可研發(fā)最高分辨率達(dá) 28nm 的高端光刻

調(diào)試。此外,這款 ASML XT 1900 Gi 型 ArF 浸入式光刻機(jī)可用于研發(fā)最高分辨率達(dá) 28nm 的高端光刻膠。 IT之家了解到,晶瑞股份于 2020 年 9 月 28 日晚發(fā)布公告
2021-01-20 16:34:006083

SK海力士已開始安裝EUV光刻機(jī),以量產(chǎn)10nm 1a DRAM

據(jù)etnews報(bào)道,SK海力士已開始在其位于韓國利川的M16工廠安裝EUV光刻機(jī),以量產(chǎn)10nm 1a DRAM。 此前SK海力士宣布將在今年年內(nèi)在M16廠建設(shè)產(chǎn)線以生產(chǎn)下一代DRAM,不過并未透露
2021-01-20 18:19:202146

為什么都搶著買價(jià)格更昂貴的EUV光刻機(jī)?

目前,還有ASML有能力生產(chǎn)最先進(jìn)的EUV光刻機(jī),三星、臺(tái)積電都是ASML的客戶。但受《瓦森納協(xié)定》的制約,中國大陸沒有從ASML買來一臺(tái)EUV光刻機(jī)。
2021-01-21 08:56:184078

ASML預(yù)計(jì)今年將出貨交付40臺(tái)EUV光刻機(jī) 單價(jià)14億元!

在四季度財(cái)報(bào)會(huì)議上,荷蘭ASML(阿斯麥)表示,預(yù)計(jì)今年將出貨交付40臺(tái)EUV光刻機(jī),比去年多9臺(tái)。 CEO Peter Wennink估算今年EUV光刻機(jī)系統(tǒng)的銷售收入在58億歐元左右。四季度
2021-01-21 15:30:221874

ASML今年將出貨交付40臺(tái)EUV光刻機(jī)

在四季度財(cái)報(bào)會(huì)議上,荷蘭ASML(阿斯麥)表示,預(yù)計(jì)今年將出貨交付40臺(tái)EUV光刻機(jī),比去年多9臺(tái)。
2021-01-21 15:16:431369

ASML壟斷第五代光刻機(jī)EUV光刻機(jī):一臺(tái)利潤近6億

%,凈利潤達(dá)到36億歐元。全球光刻機(jī)主要玩家有ASML、尼康和佳能三家,他們占到了全球市場90%。 ASML由于技術(shù)領(lǐng)先,一家壟斷了第五代光刻機(jī)EUV光刻機(jī),這類光刻機(jī)用于制造7nm以下先進(jìn)制程的芯片。 2020年ASML對(duì)外銷售了31臺(tái)EUV光刻機(jī),帶來了45億歐元(折合352.52億
2021-01-22 10:38:164677

ASML下一代EUV光刻機(jī)延期:至少2025年

的出貨不及預(yù)期的35臺(tái),而且他們還宣布了下一代高NA的EUV光刻機(jī)要到2025-2026年之間才能規(guī)模應(yīng)用,意味著要延期了。 此前信息顯示,ASML下一代EUV光刻機(jī)最早是2022年開始出樣,大規(guī)模
2021-01-22 17:55:242639

SK海力士豪擲4.8萬億韓元搶購EUV光刻機(jī)

隨著半導(dǎo)體工藝進(jìn)入10nm節(jié)點(diǎn)以下,EUV光刻機(jī)成為制高點(diǎn),之前臺(tái)積電搶購了全球多數(shù)的EUV光刻機(jī),率先量產(chǎn)7nm、5nm工藝,現(xiàn)在內(nèi)存廠商也要入場了,SK海力士豪擲4.8萬億韓元搶購EUV光刻機(jī)。
2021-02-25 09:28:551644

SK海力士與ASML簽合同:SK海力士豪擲4.8萬億韓元搶購EUV光刻機(jī)

。 據(jù)報(bào)道,SK海力士與ASML公司簽訂了一個(gè)超級(jí)大單,未來5年內(nèi)將斥資4.8萬億韓元,約合43.4億美元購買EUV光刻機(jī)。 SK海力士在一份監(jiān)管文件中稱,這筆交易是為了實(shí)現(xiàn)下一代工藝芯片量產(chǎn)的目標(biāo)。 ASML及SK海力士都沒有透露這么多資金到底購買了多少臺(tái)EUV光刻機(jī),不過從之
2021-02-25 09:30:232047

SK海力士砸4.8萬億韓元買EUV光刻機(jī)

隨著半導(dǎo)體工藝進(jìn)入10nm節(jié)點(diǎn)以下,EUV光刻機(jī)成為制高點(diǎn),之前臺(tái)積電搶購了全球多數(shù)的EUV光刻機(jī),率先量產(chǎn)7nm、5nm工藝,現(xiàn)在內(nèi)存廠商也要入場了,SK海力士豪擲4.8萬億韓元搶購EUV光刻機(jī)。
2021-02-25 11:39:091844

中國有望獨(dú)立生產(chǎn)EUV光刻機(jī),打破ASML壟斷

一提起ASML這家公司,就少不了對(duì)光刻機(jī)問題的討論,因?yàn)榻刂聊壳埃?b class="flag-6" style="color: red">ASML仍然是全球最領(lǐng)先的光刻機(jī)廠商。普通的DUV光刻機(jī)就不多說了,ASML每年都能賣出去很多臺(tái),而在更先進(jìn)的EUV光刻機(jī)方面,ASML更是占據(jù)了絕對(duì)壟斷的地位。
2021-02-27 09:59:4214073

三星積極向唯一EUV光刻機(jī)廠商ASML爭取訂單

三星一方面在積極向唯一的EUV光刻機(jī)廠商ASML爭取訂單,另外一方面也在增資為EUV產(chǎn)業(yè)鏈輸血。
2021-03-04 09:52:411757

中科院5nm光刻技術(shù)與ASML光刻機(jī)有何區(qū)別?

5nm光刻技術(shù)與ASML光刻機(jī)有何區(qū)別? EUV光刻機(jī)產(chǎn)能如何? 大飛_6g(聽友) 請(qǐng)問謝博士,EUV光刻機(jī)的產(chǎn)能是怎樣的?比如用最先進(jìn)的光刻機(jī),滿負(fù)荷生產(chǎn)手機(jī)芯片麒麟990,每天能產(chǎn)多少片?中芯國際有多少臺(tái)投入生產(chǎn)的光刻機(jī)?是1臺(tái)、5臺(tái)還是10臺(tái)呢?謝謝 謝志
2021-03-14 09:46:3023476

ASML分享未來四代EUV光刻機(jī)的最新進(jìn)展

日前,ASML產(chǎn)品營銷總監(jiān)Mike Lercel向媒體分享了EUV(極紫外)光刻機(jī)的最新進(jìn)展。
2021-03-19 09:39:404630

ASML第二代EUV光刻機(jī)跳票三年,售價(jià)恐貴出天際

的。臺(tái)積電、三星、Intel的7nm、5nm,以及未來的3nm、2nm都要依賴EUV光刻機(jī),單臺(tái)售價(jià)超過1億美元,成本極高。 目前,ASMLEUV光刻機(jī)使用的還是第一代,EUV光源波長在13.5nm
2021-06-26 16:55:281203

EUV光刻機(jī)何以造出5nm芯片

7nm之下不可或缺的制造設(shè)備,我國因?yàn)橘Q(mào)易條約被遲遲卡住不放行的也是一臺(tái)EUV光刻機(jī)。 但EUV光刻機(jī)的面世靠的不僅僅是ASML一家的努力,還有蔡司和TRUMPF(通快)兩家歐洲光學(xué)巨頭的合作才得以成功。他們的技術(shù)分別為EUV光刻機(jī)的鏡頭和光源做出了不
2021-12-07 14:01:1010742

俄羅斯簽署合同欲研發(fā)頂尖X射線光刻機(jī)

一份6.7億盧布的合同來研發(fā)光刻機(jī),并且宣稱要研發(fā)EUV光刻機(jī)光刻分辨率更高、不需要光掩膜版從而降低費(fèi)用的無掩模X射線光刻機(jī)。 X射線光刻機(jī)不同于EUV光刻機(jī),它使用了波長為0.01nm~10nm的X射線,所以X射線光刻機(jī)光刻分辨率
2022-04-06 10:35:337960

ASML開發(fā)的下一代EUV平臺(tái)

具有13.5nm波長源的高數(shù)值孔徑系統(tǒng)將提高亞13nm半間距曝光所需的分辨率,以及更大的圖像對(duì)比度以實(shí)現(xiàn)更好的印刷線均勻性。High-NA EUV光刻分辨率通常被稱為“13nm到8nm半間距”。
2022-06-02 15:03:561098

三星董事李在镕親自拜訪ASML,只為爭取到EUV光刻機(jī)

媒體稱三星的目的是為了搶到ASMLEUV光刻機(jī)。 目前芯片短缺的現(xiàn)狀大家也都清楚,再加上7nm制程以下的高端芯片只有EUV光刻機(jī)才能打造,而本來EUV光刻機(jī)就稀少,因此先進(jìn)芯片發(fā)展頻頻受限,并且前段時(shí)間三星才剛剛和Intel洽談完芯片合作的事宜,因
2022-06-07 14:18:041176

臺(tái)積電將于2024年引進(jìn)ASML最新EUV光刻機(jī),主要用于相關(guān)研究

日前,在臺(tái)積電召開的會(huì)議上,有一名高管稱臺(tái)積電將于2024年引進(jìn)ASML正在研發(fā)的最新的High-NA EUV光刻機(jī)。 會(huì)議中,該高管稱:為了滿足客戶所需的相關(guān)基礎(chǔ)設(shè)施的開發(fā)等,臺(tái)積電將于2024
2022-06-17 16:33:276499

ASML的High-NA光刻機(jī)居然只賣出5臺(tái),大多芯片廠商不為所動(dòng)

2nm制程的量產(chǎn)。 目前市面上最先進(jìn)的是EUV光刻機(jī),而其能夠支持制造的先進(jìn)制程工藝最高為3nm,也就是說,再往后的2nm等工藝就要用更加先進(jìn)的光刻機(jī)來完成。 ASML為此正在研發(fā)一種特別的EUV光刻機(jī)——High-NA EUV光刻機(jī)。這種光刻機(jī)所采用的技術(shù)能夠
2022-06-22 14:44:161183

EUV光刻機(jī)售價(jià)超26億,Intel成為首位買家,將于2025年首次交付

3nm制程,據(jù)了解,更加先進(jìn)的制程就需要更先進(jìn)的光刻機(jī)來完成了。 光刻機(jī)廠商ASML為此正在研發(fā)新一代High NA EUV光刻機(jī),這種EUV光刻機(jī)的NA數(shù)值孔徑比現(xiàn)在0.33口徑的EUV光刻機(jī)還要高,達(dá)到了0.55口徑,也就是說High NA EUV光刻機(jī)分辨率更高,能
2022-06-28 15:07:126676

euv光刻機(jī)三大核心技術(shù) 哪些公司有euv光刻機(jī)

中國芯的進(jìn)步那是有目共睹,我國在光刻機(jī),特別是在EUV光刻機(jī)方面,更是不斷尋求填補(bǔ)空白的途徑。
2022-07-05 10:38:3516742

三星斥資買新一代光刻機(jī) 中芯光刻機(jī)最新消息

三星電子和ASML就引進(jìn)今年生產(chǎn)的EUV光刻機(jī)和明年推出高數(shù)值孔徑極紫外光High-NA EUV光刻機(jī)達(dá)成采購協(xié)議。
2022-07-05 15:26:155634

euv光刻機(jī)可以干什么 光刻工藝原理

光刻機(jī)是芯片制造的核心設(shè)備之一。目前世界上最先進(jìn)的光刻機(jī)是荷蘭ASMLEUV光刻機(jī)。
2022-07-06 11:03:077000

中國euv光刻機(jī)三大突破 光刻機(jī)的三個(gè)系統(tǒng)

如今世界最先進(jìn)的EUV光刻機(jī),只有asml一家公司可以制造出來。
2022-07-06 11:19:3850686

euv光刻機(jī)出現(xiàn)時(shí)間 ASML研發(fā)新一代EUV光刻機(jī)

EUV光刻機(jī)是在2018年開始出現(xiàn),并在2019年開始大量交付,而臺(tái)積電也是在2019年推出了7nm EUV工藝。
2022-07-07 09:48:444523

euv光刻機(jī)目前幾納米 中國5納米光刻機(jī)突破了嗎

大家都知道,芯片制造的核心設(shè)備之一就是光刻機(jī)了?,F(xiàn)在,全球最先進(jìn)的光刻機(jī)是荷蘭ASMLEUV光刻機(jī),那么euv光刻機(jī)目前幾納米呢? 到現(xiàn)在,世界上最先進(jìn)的光刻機(jī)能夠?qū)崿F(xiàn)5nm的加工。也就是荷蘭
2022-07-10 11:17:4242766

euv光刻機(jī)是干什么的

可以生產(chǎn)出納米尺寸更小、功能更強(qiáng)大的芯片。 小于5 nm的芯片晶片只能由EUV光刻機(jī)生產(chǎn)。 EUV光刻機(jī)有光源系統(tǒng)、光學(xué)鏡頭、雙工作臺(tái)系統(tǒng)三大核心技術(shù)。 目前,最先進(jìn)的光刻機(jī)是荷蘭ASML公司的EUV光刻機(jī)。預(yù)計(jì)在光路系統(tǒng)的幫助下,能
2022-07-10 14:35:066173

duv光刻機(jī)euv光刻機(jī)區(qū)別是什么

光刻機(jī)euv光刻機(jī)區(qū)別是是什么呢? duv光刻機(jī)euv光刻機(jī)區(qū)別 1.基本上duv只能做到25nm,而euv能夠做到10nm以下晶圓的生產(chǎn)。 2. duv主要使用的是光的折射原理,而euv使用的光的反射原理,內(nèi)部必須是真空操作。 以上就是duv光刻機(jī)euv光刻機(jī)區(qū)別了,現(xiàn)在基本都是euv光刻機(jī)
2022-07-10 14:53:1078127

euv光刻機(jī)原理是什么

euv光刻機(jī)原理是什么 芯片生產(chǎn)的工具就是紫外光刻機(jī),是大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的核心設(shè)備,對(duì)芯片技術(shù)有著決定性的影響。小于5 nm的芯片只能由EUV光刻機(jī)生產(chǎn)。那么euv光刻機(jī)原理是什么呢? EUV
2022-07-10 15:28:1015099

EUV光刻技術(shù)相關(guān)的材料

與此同時(shí),在ASML看來,下一代高NA EUV光刻機(jī)光刻膠再度帶來了挑戰(zhàn),更少的隨機(jī)效應(yīng)、更高的分辨率和更薄的厚度。首先傳統(tǒng)的正膠和負(fù)膠肯定是沒法用了,DUV光刻機(jī)上常用的化學(xué)放大光刻膠(CAR)也開始在5nm之后的分辨率和敏感度上出現(xiàn)瓶頸
2022-07-22 10:40:082010

ASML下一代EUV光刻機(jī)High-NA來了!

對(duì)于3nm后的節(jié)點(diǎn),ASML及其合作伙伴正在研究一種全新的EUV工具——Twinscan EXE:5000系列,具有0.55 NA(High-NA)透鏡,能夠達(dá)到8nm分辨率,可以避免3nm及以上的多圖案。
2022-08-17 15:44:041910

ASML之外的光刻機(jī)廠商們近況如何?

電子發(fā)燒友網(wǎng)報(bào)道(文/周凱揚(yáng))盡管ASML作為目前占據(jù)主導(dǎo)地位的光刻機(jī)廠商,憑借獨(dú)有的EUV光刻機(jī)一騎絕塵,主導(dǎo)著半數(shù)以上的市場份額,但這并不代表著其他光刻機(jī)廠商也就“聽天由命”了。以兩大國外光刻機(jī)
2022-11-24 07:10:033222

密度提升近3倍,高NA EUV光刻機(jī)有何玄機(jī)

電子發(fā)燒友網(wǎng)報(bào)道(文/ 周凱揚(yáng) )到了3nm這個(gè)工藝節(jié)點(diǎn)之后,單靠現(xiàn)有的0.33NA EUV光刻機(jī)就很難維系下去了。 為了實(shí)現(xiàn)2nm乃至未來的埃米級(jí)工藝,將晶體管密度推向1000MTr/mm2,全面
2022-12-07 07:25:02952

ASMLEUV***研發(fā)歷程

asmleuv技術(shù)開發(fā)的領(lǐng)先者。asml公司是半導(dǎo)體領(lǐng)域光刻機(jī)生產(chǎn)企業(yè)的領(lǐng)頭羊,也是全球市場占有率最大的光刻機(jī)生產(chǎn)企業(yè)。2012年,asml推出了世界上第一個(gè)euv試制品,并于2016年推出了euv第一個(gè)商用顯卡制造機(jī)asmlnxe:3400b。
2023-06-08 09:37:553202

ASML 首臺(tái)新款 EUV 光刻機(jī) Twinscan NXE:3800E 完成安裝

ASML 官網(wǎng)尚未上線 Twinscan NXE:3800E 的信息頁面。 除了正在研發(fā)的 High-NA EUV 光刻機(jī) Twinscan EXE 系列,ASML 也為其 NXE 系列傳統(tǒng)數(shù)值孔徑
2024-03-14 08:42:349

押注2nm!英特爾26億搶單下一代 EUV光刻機(jī),臺(tái)積電三星決戰(zhàn)2025!

了。 ? 芯片制造離不開光刻機(jī),特別是在先進(jìn)制程上,EUV光刻機(jī)由來自荷蘭的ASML所壟斷。同時(shí),盡管目前市面上,EUV光刻機(jī)客戶僅有三家,但需求不斷增加的情況底下,EUV光刻機(jī)依然供不應(yīng)求。 ? 針對(duì)后3nm時(shí)代的芯片制造工藝,High-NA(高數(shù)值孔徑)EUV光刻機(jī)
2022-06-29 08:32:004635

不使用EUV突破1nm極限?美國推出全新光刻系統(tǒng),分辨率0.768nm!

電子發(fā)燒友網(wǎng)報(bào)道(文/梁浩斌)最近,一家名為Zyvex Labs的美國公司宣布推出亞納米分辨率光刻系統(tǒng)Zyvex Litho 1,據(jù)稱分辨率可以達(dá)到0.768nm,這大約是兩個(gè)硅原子的寬度
2022-09-27 08:19:003532

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