TurboStocker XT為工作存儲(chǔ)增加了高速垂直傳輸功能在線晶圓

馬薩諸塞州BILLERICA - PRI Automation Inc.今天宣布推出TurboStocker XT，它為工作存儲(chǔ)增加了高速垂直傳輸功能在線(WIP)晶圓。由于能夠在工廠中的多個(gè)樓層之間移動(dòng)，新的儲(chǔ)料器還可以最大限度地減少WIP的存儲(chǔ)空間。 “半導(dǎo)體制造商不斷尋求通過(guò)降低成本和提高生產(chǎn)率來(lái)提高制造業(yè)務(wù)效率的方法，”PRI Automation總裁兼首席執(zhí)行官M(fèi)itch Tyson表示。 “TurboStocker XT提供了一種創(chuàng)新的方法來(lái)滿足全廠的材料處理要求，縮短了晶圓交付時(shí)間，節(jié)省了昂貴的潔凈室空間?！?/p>

PRI相信新的儲(chǔ)料器特別適合亞洲的晶圓廠， PRI工廠系統(tǒng)部副總裁兼總經(jīng)理Bob Postle表示，空間有限且許多制造商不得不建造多層工廠。

TurboStocker XT可以減少潔凈室WIP存儲(chǔ)空間通過(guò)最小化生產(chǎn)車間所需的儲(chǔ)料器數(shù)量來(lái)減少75%。該公司表示，制造商可以利用騰出的占地空間來(lái)減小潔凈室的尺寸，或增加更多的工藝工具來(lái)提高制造能力。

PRI的新型儲(chǔ)料器具有許多與目前相同的技術(shù)。 200毫米和300毫米TurboStockers，包括I/O，用戶界面和機(jī)器人手臂。新系統(tǒng)還集成了PRI的interbay AeroTrak和intrabay AeroLoader晶圓傳輸系統(tǒng)和TransNet材料控制軟件。

TurboStocker XT可配置高達(dá)30米(約98英尺)，最大存儲(chǔ)容量為540個(gè)晶圓載具。存儲(chǔ)模塊可以沿垂直軸的任何點(diǎn)集成，包括子工廠或空氣室中的位置。這些靈活的配置使制造商能夠創(chuàng)建最佳的存儲(chǔ)配置，以滿足其設(shè)施要求。