加利福尼亞州圣何塞— MagnaChip半導(dǎo)體有限公司和Tezzaron半導(dǎo)體公司預(yù)計(jì)將宣布合作伙伴關(guān)系,該公司聲稱這些產(chǎn)品是世界上第一個(gè)真正的三維(3D)芯片。預(yù)計(jì)Tezzaron還將宣布該公司聲稱是世界上第一個(gè)可重新編程的3D RAM芯片。該器件由Tezzaron銷售和銷售,已經(jīng)過(guò)高于500-MHz的時(shí)鐘速率測(cè)試,延遲小于2 ns。
該器件基于Tezzaron的3D晶圓堆疊技術(shù)(伊利諾伊州內(nèi)珀維爾),一家無(wú)晶圓廠芯片設(shè)計(jì)公司。 RAM設(shè)備以及來(lái)自Tezzaron的未來(lái)3D芯片將由MagnaChip(韓國(guó)首爾)在鑄造廠生產(chǎn)。
新形成的MagnaChip研發(fā)部高級(jí)副總裁Jeong-Gun Lee表示,3D RAM目前正在采用標(biāo)準(zhǔn)的0.18微米鑄造工藝制造。 MagnaChip是韓國(guó)海力士半導(dǎo)體公司的前非存儲(chǔ)芯片部門。海力士的非存儲(chǔ)芯片部門最近被出售給由花旗集團(tuán)風(fēng)險(xiǎn)資本股權(quán)合伙公司LP和CVC亞太有限公司組建的新成立的韓國(guó)公司。見(jiàn)10月5日的故事)。
最初,MagnaChip在代工廠的基礎(chǔ)上為Tezzaron構(gòu)建了一個(gè)基于RAM的寄存器文件。 “這是一種相對(duì)原始的設(shè)備,”Tezzaron首席技術(shù)官羅伯特帕蒂說(shuō)。 “但我們相信這將迎來(lái)半導(dǎo)體的新時(shí)代?!?/p>
Tezzaron本身計(jì)劃開(kāi)發(fā)和銷售一系列3D“定制設(shè)備”,Patti說(shuō)。 3D芯片在手機(jī),手持設(shè)備和其他產(chǎn)品的速度,密度和低功耗要求方面都有很大前景,他告訴 Silicon Strategies。。
其他人也在奔波開(kāi)發(fā)和運(yùn)送3D芯片。例如,MagnaChip發(fā)布了關(guān)于開(kāi)發(fā)3D零件的提示。 “我們的主要興趣是開(kāi)發(fā)3D IC的工藝技術(shù),”Lee說(shuō)。 “我們也對(duì)3D傳感器感興趣?!?/p>
本月早些時(shí)候,3D半導(dǎo)體存儲(chǔ)器開(kāi)發(fā)商Matrix Semiconductor公司表示,它已經(jīng)遷移了多層,基于反熔絲的ROM,從0.25微米制造工藝到0.15微米工藝。
Matrix已推出采用0.25微米制造工藝制造的基于8層反熔絲的512-Mbit PROM,運(yùn)行時(shí)間約為一年。該公司補(bǔ)充說(shuō),它在不到四個(gè)月的大規(guī)模生產(chǎn)中已經(jīng)出貨了100萬(wàn)臺(tái)3D內(nèi)存(見(jiàn)11月8日的報(bào)道)。
堆疊甲板
Tezzaron聲稱需要另一種3D設(shè)計(jì)方法。該公司的FaStack技術(shù)通過(guò)堆疊整個(gè)半導(dǎo)體晶圓并將其與銅結(jié)合以在電路層之間建立連接來(lái)構(gòu)建3D芯片。目前的工藝將8英寸晶圓與小于1微米的精度對(duì)齊,從而實(shí)現(xiàn)極高密度的晶圓間連接。
然后將晶圓堆疊切割成單獨(dú)的芯片,每個(gè)芯片都是完全集成的3D IC。該過(guò)程可以擴(kuò)展到多個(gè)晶圓。因?yàn)槊總€(gè)添加的晶圓都被減薄到僅僅10微米,所以多達(dá)32層可以適合標(biāo)準(zhǔn)芯片封裝。
該公司的可重新編程RAM器件是作為3D IC構(gòu)建的 - 兩層電路具有垂直互連,允許它們作為單個(gè)器件運(yùn)行。據(jù)該公司稱,該技術(shù)預(yù)計(jì)比現(xiàn)有芯片的性能提高3到10倍,因?yàn)榇怪被ミB很小,只有10微米長(zhǎng)。
MagnaChip在標(biāo)準(zhǔn)“批量”半導(dǎo)體晶圓上構(gòu)建了Tezzaron的RAM設(shè)計(jì),并根據(jù)需要提供了額外的處理。 Tezzaron董事長(zhǎng)兼首席執(zhí)行官詹姆斯·艾爾斯(James Ayers,Jr。)表示,兩家公司打算繼續(xù)建立更多3D設(shè)備。 “除了3D RAM之外,我們的產(chǎn)品路線圖還包括許多其他商業(yè)3D設(shè)備,這些設(shè)備將在FaStack大規(guī)模生產(chǎn)時(shí)宣布推出?!彼f(shuō)。
MagnaChip總裁兼首席執(zhí)行官Youm Huh也是看好3D芯片。 “隨著數(shù)碼相機(jī)應(yīng)用,手機(jī)和便攜式消費(fèi)電子產(chǎn)品的增長(zhǎng),3D RAM有望成為增長(zhǎng)最快的IC領(lǐng)域之一,”他說(shuō)。 “制造商的好處包括提高性能,降低擁有成本,縮短產(chǎn)品上市時(shí)間和提高產(chǎn)品性能?!?/p>
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