壓阻式傳感器的實(shí)例應(yīng)用
利用半導(dǎo)體壓阻效應(yīng)，可設(shè)計(jì)成多種類型的壓阻式傳感器。壓阻式傳感器體積小，結(jié)構(gòu)比較簡單，靈敏度高，能測量十幾微帕的微壓，動態(tài)響應(yīng)好，長期穩(wěn)定性好，滯后和蠕變小，頻率響應(yīng)高，便于生產(chǎn)，成本低。因此，它在測量壓力、壓差、液位物位、加速度和流量等方面得到了普遍應(yīng)用。
1、壓力測量
硅壓阻式壓力傳感器由外殼、硅膜片（硅杯）和引線等組成。
2、液位測量
它是根據(jù)液面高度與液壓成比例的原理工作的。投入式液位傳感器安裝方便，可適應(yīng)于深度為幾米至幾十米，且混有大量污物、雜質(zhì)的水或其他液體的液位測量。
3、加速度測量
它的懸臂梁直接用單晶硅制成，在懸臂梁的根部擴(kuò)散四個(gè)阻值相同的電阻，構(gòu)成差動全橋。在懸臂梁的自由端裝一質(zhì)量塊，當(dāng)傳感器受到加速度作用時(shí)，由于慣性，質(zhì)量塊使懸臂梁發(fā)生形變而產(chǎn)生應(yīng)力，該應(yīng)力使擴(kuò)散電阻的阻值發(fā)生變化，由電橋的輸出信號可獲得加速度的大小。
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