壓阻式傳感器有哪些

有些固體材料在某一軸向受到外力作用時，除了產生變形外，其電阻率ρ也要發(fā)生變化，這種由于應力的作用而使材料電阻率發(fā)生變化的現(xiàn)象稱為壓阻效應。半導體材料的壓阻效應特別強。利用壓阻效應制成的傳感器稱為壓阻式傳感器。

壓阻式傳感器是利用半導體材料的壓阻效應而制成的一種純電阻性元件。它主要有三種類型：體型、薄膜型和擴散型。

1、體型壓阻傳感器

利用半導體材料電阻制成粘貼式的應變片（半導體應變片），用此應變片制成的傳感器稱為半導體應變式傳感器，其工作原理是基于半導體材料的壓阻效應。這是一種將半導體材料硅或鍺晶體按一定方向切割成的片狀小條，經(jīng)腐蝕壓焊粘貼在基片上而成的應變片，其結構如圖。

2、薄膜型壓阻傳感器

薄膜型壓阻傳感器是利用真空沉積技術將半導體材料沉積在帶有絕緣層的試件上而制成的，結構如圖。

3、擴散型壓阻傳感器

擴散型壓阻傳感器是在半導體材料的基片上利用集成電路工藝制成擴散電阻。將P型雜質擴散到N型硅單晶基底上，形成一層極薄的P型導電層，再通過超聲波和熱壓焊法接上引出線就形成了擴散型半導體應變片。