盡管日本政府正式將韓國移出了對外貿(mào)易白名單,管制對韓國公司出口光刻膠、氟化聚酰亞胺和氟化氫等重要材料,但是日本方面最近也審批了新的對韓出口,光刻膠、氟化氫兩種產(chǎn)品都批準(zhǔn)出口了。
高純度的電子級(jí)氟化氫是氟精細(xì)化學(xué)品的一種,在半導(dǎo)體制造工藝中主要用于去除膜沉積后粘附在化學(xué)氣相沉積爐內(nèi)的不必要化學(xué)物質(zhì)、等離子刻蝕、光刻膠圖案化之后的蝕刻細(xì)槽或孔等流程,是一種半導(dǎo)體生產(chǎn)中非常重要的原材料,日本公司在這個(gè)領(lǐng)域占據(jù)主要份額。
但是日本的制裁使得韓國公司對日本供應(yīng)鏈產(chǎn)生了警惕,即便可以進(jìn)口,三星、SK海力士及LG等公司還是會(huì)替換日本材料。日前韓國報(bào)道稱,LG旗下的LG Display公司已經(jīng)測試成功了韓國產(chǎn)氟化氫,并開始應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn),這比原先預(yù)計(jì)的時(shí)間提早了一個(gè)月多。
從報(bào)道來看,韓國公司生產(chǎn)的高純度氟化氫已經(jīng)達(dá)到了LG公司的要求,產(chǎn)量及成本都符合公司標(biāo)準(zhǔn)。
不只是LG,三星公司預(yù)計(jì)也會(huì)在本月初完成國產(chǎn)氟化氫材料的測試驗(yàn)證工作,一旦完成測試工作也會(huì)立即用于生產(chǎn)線中以便用于量產(chǎn)工作。
從日韓的對立情況來看,兩國的關(guān)系不太可能在短時(shí)間內(nèi)修復(fù),日本還會(huì)繼續(xù)通過管制措施制裁韓國,但是韓國在重要材料上也決定轉(zhuǎn)向國產(chǎn)自主,預(yù)計(jì)在未來5年里投入5萬億韓元(約合295億人民幣)實(shí)現(xiàn)100多種重要材料及裝備的國產(chǎn)化。
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