SK海力士在華工廠使用中國產(chǎn)氟化氫，完全替代日本產(chǎn)品

據(jù)韓國《中央日報》4日報道，在日本政府限制向韓國出口氟化氫、光刻膠、含氟聚酰亞胺等尖端半導(dǎo)體材料一個半月后，三星電子開始使用替代產(chǎn)品。

報道稱，三星電子和SK海力士尋找日產(chǎn)氟化氫替代材料的工作比預(yù)期進展順利，預(yù)計到年底前后，可以完全替代日本產(chǎn)品。

韓國半導(dǎo)體業(yè)界消息稱，三星電子已經(jīng)從8月中旬開始把韓國國內(nèi)企業(yè)“Soulbrain”和“ENF TECH”生產(chǎn)的氟化氫用于部分工程。

不過，三星電子目前尚未把國產(chǎn)氟化氫用于所有半導(dǎo)體生產(chǎn)工程。三星電子相關(guān)人士說，“將首先把國內(nèi)企業(yè)生產(chǎn)的氟化氫試驗品投入到敏感度較低的工程，未來再陸續(xù)投入到高敏感度的工程”。

據(jù)了解，半導(dǎo)體工程大約由500項工程構(gòu)成，其中需要氟化氫的工程有50項左右。也就是說，三星電子先把國產(chǎn)氟化氫應(yīng)用到其中的1-2項工程中，用來取代日本產(chǎn)品。

SK海力士也計劃盡快對國內(nèi)企業(yè)生產(chǎn)的氟化氫進行試用。據(jù)了解，SK海力士設(shè)在中國無錫的半導(dǎo)體工廠已經(jīng)完全使用中國生產(chǎn)的氟化氫取代了日本產(chǎn)品。

同時，三星電子和SK海力士負責(zé)材料開發(fā)的工程師正在對國產(chǎn)氟化氫試驗品進行成分分析，旨在根據(jù)半導(dǎo)體工廠的要求，對國內(nèi)企業(yè)生產(chǎn)的氟化氫成分含量進行調(diào)整。

報道稱，這相當(dāng)于三星電子和海力士與國內(nèi)材料企業(yè)一起進行“共同研發(fā)”。只有產(chǎn)品成分結(jié)構(gòu)與以往使用的日本Stella和Morita公司產(chǎn)品接近，沒有大的差異，在用于半導(dǎo)體工程時才不會生產(chǎn)出缺陷產(chǎn)品。

此外，韓國國內(nèi)材料企業(yè)“Soulbrain”忠南公州工廠的擴建工程如果按計劃在本月末竣工，韓國國產(chǎn)氟化氫的產(chǎn)能有望進一步擴大。

“Soulbrain”和“ENF TECH”以前一直從日本Stella和Morita進口氟化氫進行提純，然后制作成半導(dǎo)體工程使用的蝕刻劑材料，向三星供貨。在日本限制對韓出口后，這些國內(nèi)企業(yè)開始從中國***和中國大陸進口氟化氫。