韓國(guó)多家半導(dǎo)體企業(yè)開(kāi)始測(cè)試國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體材料

韓國(guó)三星電子開(kāi)始在量產(chǎn)半導(dǎo)體的生產(chǎn)線上使用韓國(guó)產(chǎn)氟化氫一事9月4日浮出水面。自日本政府7月加強(qiáng)3種半導(dǎo)體材料的出口管理以后，三星一直在反復(fù)測(cè)試日本以外的替代品。有分析認(rèn)為將在一部分量產(chǎn)線上試用，確認(rèn)是否存在問(wèn)題。

據(jù)《日本經(jīng)濟(jì)新聞》網(wǎng)站9月5日?qǐng)?bào)道，三星電子相關(guān)人士9月4日承認(rèn)，“作為推進(jìn)供給來(lái)源多元化的一環(huán)，正在一部分生產(chǎn)線上推進(jìn)非日本造（氟化氫）的測(cè)試”。

行業(yè)相關(guān)人士透露，三星自8月下旬起，開(kāi)始在一條生產(chǎn)線上使用韓國(guó)企業(yè)供應(yīng)的氟化氫。氟化氫被用于晶圓的清洗等，三星將首先在對(duì)品質(zhì)影響較小的工序上采用非日本造氟化氫。

據(jù)報(bào)道，此次投入量產(chǎn)線的是從中國(guó)進(jìn)口、由韓國(guó)企業(yè)加工的氟化氫。不過(guò)，三星沒(méi)有透露企業(yè)名等詳細(xì)情況。SK海力士也在評(píng)估非日本造產(chǎn)品能否用于量產(chǎn)線。

報(bào)道介紹，韓國(guó)氟化氫的最大進(jìn)口來(lái)源地是中國(guó)，但如果僅限于用于生產(chǎn)半導(dǎo)體的超高純度產(chǎn)品，日本的Stella Chemifa和森田化學(xué)工業(yè)幾乎掌握九成份額。日本企業(yè)從中國(guó)進(jìn)口原料，在日本的工廠提高純度之后向韓國(guó)出口。

另?yè)?jù)***《經(jīng)濟(jì)日?qǐng)?bào)》9月6日?qǐng)?bào)道，三星主管表示：“除了從日本進(jìn)口外，我們也試用國(guó)內(nèi)供應(yīng)商制造的氟化氫，開(kāi)始用于生產(chǎn)流程……我們會(huì)持續(xù)分散采購(gòu)來(lái)源，以防供應(yīng)鏈?zhǔn)苷巫h題影響?！?/p>

報(bào)道稱，半導(dǎo)體產(chǎn)品是韓國(guó)大宗出口商品，占出口比重約20%，為預(yù)防日本切斷這些原料供應(yīng)重創(chuàng)電子產(chǎn)業(yè)和國(guó)內(nèi)經(jīng)濟(jì)，韓國(guó)科技企業(yè)已加快腳步改用國(guó)內(nèi)自產(chǎn)的關(guān)鍵零件和材料。韓國(guó)上周提出預(yù)算案，明年研發(fā)預(yù)算提高17.3%，增幅破紀(jì)錄，為的正是強(qiáng)化國(guó)內(nèi)零件與材料產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力。

此外，據(jù)韓聯(lián)社報(bào)道，全球第二大顯示器面板制造商LG顯示器公司已開(kāi)始采用韓國(guó)國(guó)產(chǎn)的蝕刻氣體，SK海力士也正在測(cè)試以國(guó)內(nèi)制品取代日本進(jìn)口貨。

據(jù)報(bào)道，三星電子9月4日在日本東京舉行的2019年“三星晶圓代工論壇”上，向在場(chǎng)日本廠商展示三星的極紫外線（EUV）微影光刻技術(shù)，這在記憶體除外的半導(dǎo)體領(lǐng)域堪稱最尖端技術(shù)。三星電子是韓國(guó)唯一具有EUV量產(chǎn)系統(tǒng)的公司。