輪廓儀,顧名思義,是測量產(chǎn)品表面輪廓尺寸的儀器,根據(jù)工作原理的不同,可以分為接觸式輪廓儀和非接觸式輪廓(光學輪廓儀)。
1.接觸式輪廓儀
接觸式輪廓儀是通過觸針在被測物體表面滑過獲取表面輪廓參數(shù),如角度處理(坐標角度,與Y坐標的夾角,兩直線夾角)、圓處理(圓弧半徑,圓心到圓心距離,圓心到直線的距離,交點到圓心的距離,直線到切點的距離)、點線處理(兩直線交點,交點到直線距離,交點與交點距離,交點到圓心的距離)、直線度、凸度、對數(shù)曲線、槽深、槽寬、溝曲率半徑、溝邊距、溝心距、輪廓度、水平距離等形狀參數(shù)。代表型號為中圖儀器SJ57系列。
SJ57系列接觸式輪廓儀廣泛應用于機械加工、電機、汽配、摩配、精密五金、精密工具、刀具、模具、光學元件等行業(yè)。適用于科研院所、大專院校、計量機構(gòu)和企業(yè)計量室、車間。
2.非接觸式輪廓儀(光學輪廓儀)
非接觸式輪廓儀(光學輪廓儀)是以白光干涉為原理制成的一款高精度微觀形貌測量儀器,可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標準共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標準。代表型號為中圖儀器Super View W1系列。
SuperView W1光學輪廓儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、國防軍工、科研院所等領(lǐng)域中。
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