MPI TS200操作手冊

有一種“篤定”叫我有操作手冊。遇見對的，就讓自己的一顆心，從此安定下來！

MPI TS200操作手冊

第一步：

準(zhǔn)備本次測試的 DUT 和相應(yīng)的探針與電纜，將相應(yīng)的探針擺放完畢，佩戴相應(yīng)的手套、防靜電手環(huán)等

第二步：

打開 CCD 開關(guān)、光源開關(guān)并調(diào)節(jié)光強度

第三步：

打開真空氣泵的開關(guān)

第四步：

將拉桿抬起防止誤操作而損傷探針或待測件

第五步：
拉出載物臺后并放置待測器件，按照 DUT 大小打開相應(yīng)尺寸的真空吸附開關(guān)。

第六步：

將機臺艙門關(guān)閉，移動 chuck，將待測物移動至顯微鏡光斑正下方，方便觀測。

第七步：

通過chuck上X、Y、Z、Theta四個方向的千分尺可再次精準(zhǔn)調(diào)節(jié)DUT的位置。

第八步：

由于每一片芯片的反光度不同，調(diào)節(jié)光源的亮度至合適為止。

第九步：

通過旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)顯微鏡至小倍率確定待測芯片位置，然后切換至大倍率進(jìn)行扎針測試。

第十步：

探針臺拉桿緩慢放下的同時觀察探針是否與待測件接觸，如果即將接觸請停止，升高探針座Z軸旋鈕，直到拉桿全部放下為止前探針頭部都不要和DUT接觸。

第十一步：

旋轉(zhuǎn)各個探針座的 X、Y、Z 來扎 PAD 實現(xiàn)測試。

第十二步：

測試結(jié)束后，將探針臺拉桿抬起、探針回到初始化位置，防止錯誤操作。

第十三步：

更換卡爾文探針流程如下，將背面螺絲松開后更換，更換完畢后鎖緊螺絲。

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