偏壓電源的主要特點(diǎn)及作用分析

偏壓電源是真空電弧離子鍍及其它真空物理氣相沉積設(shè)備中一個(gè)重要組件，在鍍膜工藝流程中為工件提供負(fù)（或正）偏壓。在真空離子鍍膜中，尤其對于多弧離子鍍膜，無論是裝飾鍍還是工具鍍，轟偏電源的好壞對于成膜質(zhì)量都起著非常關(guān)鍵的作用。裝飾鍍和工具鍍對膜層質(zhì)量的要求有相同之處又各有側(cè)重。

偏壓電源工作于二級高頻變換模式，單極脈沖方式輸出。電源的電壓調(diào)整通過改變高頻變換電路的電源電壓來實(shí)現(xiàn)，調(diào)壓電路具有1%的穩(wěn)率。高頻變換電路產(chǎn)生10-90%脈沖電壓。由于電源的輸出電壓與脈沖寬度獨(dú)立調(diào)整，在滿足工藝所需電壓同時(shí)，通過改變脈沖寬度來控工件溫升。電源適用于各類工具鍍膜及裝飾鍍膜 。

作用：

1）提高真空等離子體內(nèi)帶電粒子的能量，轟擊清洗所鍍工件表面，使工件表面經(jīng)受高能粒子撞擊后得到嶄新的表層，從而提高后續(xù)沉積膜層的結(jié)合力。

2）提高并控制真空等離子體內(nèi)帶電粒子的能量，提高膜層與工件基體結(jié)合力。

3）靠不同的電壓輸出極性或方式改變沉積規(guī)則，調(diào)整膜層顏色。

4）克服偏壓電源工作于真空等離子體環(huán)境中，由高電壓引起的陰極弧光放電燒傷工件

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