Epitaxy工藝技術(shù)讓微型LED前景大好

英國(guó)謝菲爾德大學(xué)(University of Sheffield)正式成立了附屬公司EpiPixLtd，該公司正在開發(fā)和商業(yè)化用于光電子應(yīng)用的微LED技術(shù)，該技術(shù)可用于便攜式智能設(shè)備的微顯示器、增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)(AR)、虛擬現(xiàn)實(shí)(VR)、3D傳感和可見光通信(Li-Fi)。

在王濤教授和他的電子電氣工程系團(tuán)隊(duì)的研究支持下，該公司正在與全球企業(yè)合作開發(fā)下一代微LED產(chǎn)品。

Sheffield大學(xué)表示，這種預(yù)生產(chǎn)技術(shù)已經(jīng)在單片芯片上演示了具有高光效和均勻性的多色微LED陣列。EpiPix發(fā)展強(qiáng)勁micro-LED磊晶硅晶圓（EpiWafer）和紅色,綠色和藍(lán)色波長(zhǎng)與micro-LED像素大小范圍從30μm 10μm的產(chǎn)品解決方案。并展示了原型直徑小于5μm的技術(shù)。

EpiPix是一個(gè)商業(yè)驅(qū)動(dòng)的技術(shù)中心，擁有世界范圍內(nèi)所有micro-LED知識(shí)產(chǎn)權(quán)的獨(dú)家商業(yè)權(quán)利。

EpiPix首席執(zhí)行官兼董事Dennis Camilleri認(rèn)為:“這是一個(gè)激動(dòng)人心的機(jī)會(huì)，也是micro-LED市場(chǎng)的大好時(shí)機(jī)，我們可以將優(yōu)秀的科學(xué)成果轉(zhuǎn)化為有利可圖的micro-LED產(chǎn)品。我們已經(jīng)與行業(yè)客戶合作，以確保EpiPix符合他們的短期產(chǎn)品需求和未來的技術(shù)路線圖?！?/p>

在美國(guó)舊金山2020美國(guó)西部光電展(2月3-6日)上，EpiPix將會(huì)展示該技術(shù)成果。

小科普——什么叫EpiWafer？

外延(Epitaxy, 簡(jiǎn)稱Epi)工藝是指在單晶襯底上生長(zhǎng)一層跟襯底具有相同晶格排列的單晶材料，外延層可以是同質(zhì)外延層(Si/Si)，也可以是異質(zhì)外延層(SiGe/Si 或SiC/Si等)；同樣實(shí)現(xiàn)外延生長(zhǎng)也有很多方法，包括分子束外延(MBE)，超高真空化學(xué)氣相沉積(UHV/CVD)，常壓及減壓外延(ATM & RP Epi)等等。

外延片是在WAFER基礎(chǔ)上做的EPI工藝.這樣出來的WAFER 就是EPI WAFER,也叫外延片。