高精度加速度計(jì)分辨率測試方法

加速度計(jì)作為慣性導(dǎo)航系統(tǒng)中的核心部件，廣泛應(yīng)用于航空航天、汽車、電子等技術(shù)領(lǐng)域，可以測量運(yùn)載體所受線加速度的大小。分辨率作為加速度計(jì)的一個(gè)重要指標(biāo)，反映出加速度計(jì)能夠敏感加速度的微小極限。分辨率越高，能夠敏感的加速度值越小。在高精度測量領(lǐng)域，分辨率這一加速度計(jì)指標(biāo)備受關(guān)注。進(jìn)行加速度計(jì)分辨率測試時(shí)，需要人為地給加速度計(jì)一個(gè)微小的輸入，然后進(jìn)行數(shù)據(jù)采集、處理。

在傳統(tǒng)的加速度計(jì)分辨率測試中，均采用機(jī)械結(jié)構(gòu)裝置或改變加速度計(jì)敏感軸與水平面夾角或改變引力塊與加速度計(jì)之間的間距，這都不可避免機(jī)械裝置由于震動對高精度加速度計(jì)分辨率測量產(chǎn)生的影響。受制于測試裝置的加工制造極限，這些傳統(tǒng)測試方法只適用于一般精度的加速度計(jì)分辨率測試。

若要進(jìn)行分辨率優(yōu)于1×10-6g的分辨率測試，需要考慮一種全新的測試方法。

一種高精度加速度計(jì)分辨率測試方法，其特征在于：包括以下步驟：

⑴.選取兩只高精度加速度計(jì)，將兩只加速度計(jì)置于隔震裝置上；

⑵.以差動電容法測試為基礎(chǔ)，分別在兩只加速度計(jì)傳感器同一端串同一個(gè)微小電容器，改變傳感器兩端電容平衡時(shí)擺片的位置；

⑶.用一數(shù)字開關(guān)控制微小電容器與傳感器一端構(gòu)成的回路的通斷，開關(guān)通斷頻率要與控制回路的滯后時(shí)間及工作帶寬相協(xié)調(diào)，兩只加速度計(jì)輸出求和，用以消除共模噪聲影響；

⑷.改變微小電容器的電容值，實(shí)現(xiàn)微小加速度的輸入。

而且，步驟⑴所述的兩只高精度加速度計(jì)的標(biāo)度要一致或相近，標(biāo)度相近是指標(biāo)度差異＜1×10-3V/g。

而且，步驟⑴所述的隔震裝置為隔震大理石基座。

而且，所述的微小電容器為pF電容器。