據(jù)國外媒體報道,在芯片的制造過程中,光刻機是必不可少的設(shè)備,在芯片工藝提升到7nm EUV、5nm之后,極紫外光刻機也就至關(guān)重要。
荷蘭的阿斯麥(ASML)公司,是目前全球唯一能制造極紫外光刻機的廠商,他們的報告顯示,在2019年,他們共向用戶交付了26臺極紫外光刻機。
阿斯麥?zhǔn)窃?019年的年報中,披露他們向用戶交付了26臺極紫外光刻機的,較2018年的18臺增加了8臺。從阿斯麥的財報來看,他們在去年四季度交付了8臺極紫外光刻機,這也就意味著他們在去年的前三個季度,就已完成了2018年的交付量。
阿斯麥目前的極紫外光刻機,包括TWINSCAN NXE:3400B和TWINSCAN NXE:3400C,這兩款極紫外光刻機,可用于生產(chǎn)7nm和5nm的芯片,后者是最新推出的,去年共交付了9臺。
年報還披露,極紫外光刻機去年共為阿斯麥帶來了27.997億歐元(折合約31.43億美元)的營收。
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