基于CMOS平臺提供PMUT制造工藝

據(jù)麥姆斯咨詢報道，總部位于馬來西亞的全球半導(dǎo)體和MEMS代工廠SilTerra近日宣布，可以基于CMOS平臺提供PMUT（壓電式MEMS超聲波換能器）制造工藝?？蛻衄F(xiàn)在即可使用SilTerra的單片集成PMUT工藝設(shè)計指南進行換能器芯片設(shè)計，以滿足新興的超聲波傳感應(yīng)用需求。作為大規(guī)模生產(chǎn)PMUT器件計劃的一部分，SilTerra以類似于其它CMOS工藝（例如SRAM，MIM和HRPoly）的模塊化概念，開發(fā)并驗證了PMUT器件。因此，MEMS設(shè)計人員和ASIC設(shè)計人員都可以靈活地使用這些CMOS和MEMS工藝設(shè)計指南來開發(fā)其產(chǎn)品原型，并加快批量生產(chǎn)的時間。

SilTerra新工藝平臺打造的PMUT器件

SilTerra在PMUT器件制造工藝中引入了新選項，客戶現(xiàn)在可以選擇使用純氮化鋁（AlN）或摻鈧氮化鋁（ScAlN）薄膜作為超聲波換能器的壓電層來制造其PMUT產(chǎn)品原型。SilTerra還為超聲波換能器設(shè)計提供建模和仿真服務(wù)，從而使客戶能夠快速驗證和優(yōu)化他們的設(shè)計。

為了實現(xiàn)具有成本效益和設(shè)計靈活的產(chǎn)品原型制造服務(wù)，SilTerra向其客戶提供多層掩膜（MLM）方法，該方法可減少產(chǎn)品原型制造所需的掩模數(shù)量以及相關(guān)成本。

“汽車、消費和醫(yī)學(xué)成像應(yīng)用的最新發(fā)展有望推動市場對超聲波傳感器的需求。我們正在世界一流的代工廠中提供具有成本效益的PMUT產(chǎn)品原型制造服務(wù)，以使我們的客戶能夠在短時間內(nèi)將其產(chǎn)品推向上述市場?！?SilTerra科學(xué)業(yè)務(wù)部MEMS和Sensor資深副總裁Arjun Kumar Kantimahanti說道。

SilTerra是一家半導(dǎo)體和MEMS晶圓代工廠，于2001年開始商業(yè)化生產(chǎn)，其代工廠位于馬來西亞的Kulim高科技園區(qū)，并在美國加州圣何塞和臺灣新竹設(shè)有銷售和營銷辦事處。SilTerra提供CMOS邏輯、高壓、混合信號和射頻器件制造和設(shè)計支持服務(wù)。

通過將其核心CMOS工藝擴展到硅光子、MEMS、BCD、電源和氮化鎵（GaN）等先進的“超越摩爾”技術(shù)中，SilTerra為消費電子、生命科學(xué)、數(shù)據(jù)通信、汽車和工業(yè)等領(lǐng)域開發(fā)未來的“希望之星”產(chǎn)品。作為一家純晶圓代工，SilTerra在IC Insights全球排名中位列第17位，其設(shè)計產(chǎn)能為每月46,000片8英寸晶圓，能夠支持尺寸小于90nm的技術(shù)。