光刻機(jī)可以說人類工業(yè)、機(jī)械、光學(xué)的技術(shù)集大成的科技創(chuàng)新之作,荷蘭最新極紫外光EUV光刻機(jī)舉例,其內(nèi)部精密零件多達(dá)10萬個(gè),可以說光刻機(jī)比汽車零件精細(xì)數(shù)十倍!
頂級(jí)光刻機(jī)有多難搞?美國曾有一位工程師感嘆道:ASML的光刻機(jī),光一個(gè)零件他就調(diào)整了10年!甚至ASML說:“就算開放圖紙,我們中國也造不出光刻機(jī)來!”
而且光刻機(jī)造出來了,賣給客戶了,光調(diào)試就要調(diào)試一年,才可以正式開工。
ASML光刻機(jī)的供應(yīng)商多達(dá)5000家,在ASML光刻機(jī)的供應(yīng)鏈里,荷蘭用到了大量他國核心技術(shù)和設(shè)備,比如蔡司鏡頭技術(shù)出自德國、復(fù)合材料由日本提供、工業(yè)精密機(jī)床技術(shù)靠瑞典支持,而軟件技術(shù)和電源則來自美國等等??梢赃@么說,ASML的光刻機(jī)技術(shù),是集采了世界各國之長,匯聚了全球頂尖技術(shù)于一身而誕生的—— 它的背后,是多個(gè)國家的先進(jìn)技術(shù)的集合體!甚至可以說是全世界最先進(jìn)技術(shù)的集大成者。
我國純靠自己一國之力搞光刻機(jī)研發(fā)大家可以想象有多難!鏡頭、材料、機(jī)床、軟件、電源、光源……每一項(xiàng)都需要我們自己造。但是我們中國人要對(duì)國家有信心!
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