武漢弘芯基于FinFET 先進(jìn)邏輯工藝與晶圓級先進(jìn)封裝技術(shù)經(jīng)驗(yàn)

武漢千億芯片項(xiàng)目停擺，成立不到三年陷“爛尾”風(fēng)險。據(jù)武漢東西湖區(qū)政府于 7 月 30 日發(fā)布的《上半年東西湖區(qū)投資建設(shè)領(lǐng)域經(jīng)濟(jì)運(yùn)行分析》文件（現(xiàn)已刪除）披露，投資千億的武漢弘芯項(xiàng)目運(yùn)行近三年后，因存在較大資金缺口，隨時面臨資金鏈斷裂風(fēng)險。弘芯半導(dǎo)體項(xiàng)目目前基本停滯，剩余 1123 億元投資難以在今年申報(bào)。

目前，該報(bào)告文件已經(jīng)在官網(wǎng)刪除。

報(bào)告節(jié)選：

我區(qū)（武漢東湖區(qū)）投資領(lǐng)域面臨的挑戰(zhàn)比疫情期間小了很多，但隨著疫情的全球爆發(fā)，在全球市場信心不足的大環(huán)境下，我區(qū)投資領(lǐng)域依然困難重重。

（一）項(xiàng)目投資主體資金不足。

1、武漢弘芯半導(dǎo)體制造項(xiàng)目為我區(qū)重大項(xiàng)目，目前，該項(xiàng)目一期主要生產(chǎn)廠房、研發(fā)大樓（總建筑面積 39 萬 m2）均已封頂或完成。一期生產(chǎn)線 300 余臺套設(shè)備均在有序訂購，陸續(xù)進(jìn)廠。國內(nèi)唯一能生產(chǎn) 7 納米芯片的核心設(shè)備 ASML 高端光刻機(jī)已入廠。但項(xiàng)目存在較大資金缺口，隨時面臨資金鏈斷裂導(dǎo)致項(xiàng)目停滯的風(fēng)險。二期用地一直未完成土地調(diào)規(guī)和出讓。因項(xiàng)目缺少土地、環(huán)評等支撐資料，無法上報(bào)國家發(fā)改委窗口指導(dǎo)，導(dǎo)致國家半導(dǎo)體大基金、其他股權(quán)基金無法導(dǎo)入。

2、1-6 月，全區(qū)房地產(chǎn)企業(yè)本年實(shí)際到位資金 100.98 億元，……

這是武漢官方首次提及弘芯面臨的危機(jī)，但從 2019 年底因訴訟造成土地凍結(jié)之后，業(yè)內(nèi)關(guān)于武漢弘芯難以為繼的猜測早已此起彼伏。首先是去年接任武漢弘芯半導(dǎo)體 CEO 一職的前臺積電共同 COO 蔣尚義，當(dāng)時一度傳出他有倦勤之意，可能退出該團(tuán)隊(duì)，那時外界分析武漢弘芯項(xiàng)目恐有變。

武漢弘芯半導(dǎo)體制造有限公司于 2017 年 11 月成立，總部位于中國武漢臨空港經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)。公司總經(jīng)理兼首席執(zhí)行官蔣尚義系在臺積電任職 10 多年并曾擔(dān)任 CTO，也是創(chuàng)始人張忠謀最為重視的研發(fā)人物之一。

然而，弘芯仍然在“武漢市重大專案”中，被武漢市政府視為當(dāng)?shù)匕l(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的重大項(xiàng)目。

官網(wǎng)消息顯示，公司匯聚了來自全球半導(dǎo)體晶圓研發(fā)與制造領(lǐng)域的專家團(tuán)隊(duì)，擁有豐富的 14 納米及 7 納米以下節(jié)點(diǎn) FinFET 先進(jìn)邏輯工藝與晶圓級先進(jìn)封裝技術(shù)經(jīng)驗(yàn)。

武漢弘芯項(xiàng)目總投資額約 200 億美元。主要投資項(xiàng)目為：

一、預(yù)計(jì)建成 14 納米邏輯工藝生產(chǎn)線，總產(chǎn)能達(dá)每月 30，000 片;

二、預(yù)計(jì)建成 7 納米以下邏輯工藝生產(chǎn)線，總產(chǎn)能達(dá)每月 30，000 片;

三、預(yù)計(jì)建成晶圓級先進(jìn)封裝生產(chǎn)線。

弘芯半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)園曾是 2018 年武漢單個最大投資項(xiàng)目。該半導(dǎo)體項(xiàng)目在武漢市 2020 年市級重大在建項(xiàng)目計(jì)劃中位居第一，總投資額第一。

根據(jù)武漢市發(fā)改委發(fā)布的《武漢市 2020 年市級重大專案計(jì)劃》，武漢弘芯半導(dǎo)體制造專案在先進(jìn)制造專案中排名第一位。

雖然成立僅三年，武漢弘芯也是麻煩不斷。由于項(xiàng)目一期工程總承包商拖欠分包商 4100 萬工程款，2019 年 11 月，湖北省武漢市中級人民法院一紙民事裁定書，查封武漢弘芯半導(dǎo)體制造有限公司 300 多畝土地使用權(quán)，查封期限三年并立即執(zhí)行。項(xiàng)目總規(guī)劃用地面積 636 畝，此次被查封土地面積超過一半。

武漢弘芯一期項(xiàng)目的計(jì)劃總投資額 520 億元，為何會出現(xiàn)這種情況，對此官方聲明回應(yīng)稱，公司按期足額支付總承包商火炬集團(tuán)工程款，無拖期支付工程進(jìn)度款行為。

光刻機(jī)入場就被拿去抵押貸款

2019 年 12 月，武漢弘芯高調(diào)舉行的“ASML 光刻機(jī)入場儀式”掩蓋了資金困境。這臺 ASML 光刻機(jī)價值人民幣 5.8 億元，號稱“國內(nèi)唯一一臺能生產(chǎn) 7 納米芯片”的設(shè)備，但有業(yè)內(nèi)人士表示這臺型號 1980 的設(shè)備做不到 7 納米。、

據(jù)報(bào)道，這臺的光刻機(jī)剛剛?cè)雸鼍捅挥糜诘盅嘿J款。通過天眼查發(fā)現(xiàn)，今年 1 月 20 日（也就是在武漢封城之前），武漢弘芯就將這臺 ASML 光刻機(jī)抵押給了武漢農(nóng)村商業(yè)銀行股份有限公司東西湖支行，貸款了 58180.86 萬元。根據(jù)抵押資料顯示，抵押的這臺 ASML 光刻機(jī)型號為 TWINSCAN NXT:1980Di，狀態(tài)為“全新尚未啟用”，評估價值為 58180.86 萬元。

除了這臺光刻機(jī)，目前弘芯廠區(qū)的設(shè)備寥寥無幾。

2020 年第一季到第二季之間，武漢弘芯是處于搬入機(jī)臺設(shè)備的高峰期，已入廠的設(shè)備主要以光刻機(jī)為主，而其他的設(shè)備預(yù)計(jì)于 3 月后陸續(xù)到位，等到機(jī)臺進(jìn)場，會進(jìn)行裝機(jī)和驗(yàn)機(jī)程序，然后密集地展開研發(fā)。

然而，疫情打亂了原本計(jì)劃和節(jié)奏，除了影響密集裝機(jī)，目前已經(jīng)招募員工距離目標(biāo)數(shù)字也有較大距離。2020 年 6 月，有傳聞稱蔣尚義已“萌生退意”，原因是弘芯的投資與設(shè)備未能到位，導(dǎo)致運(yùn)營困難。

官方新聞最后一次更新顯示為 7 月 8 日。主題為疫情期間弘芯公司堅(jiān)守崗位員工表彰大會隆重舉行，董事長李雪艷、總經(jīng)理兼首席執(zhí)行官出席蔣尚義出席會議。

據(jù)了解，武漢弘芯原計(jì)劃購置設(shè)備 3，560 臺套，但根據(jù)東西湖區(qū)統(tǒng)計(jì)局的分析報(bào)告，2020 年開始的新冠肺炎疫情讓武漢封城長達(dá) 76 天，導(dǎo)致后續(xù)設(shè)備無法順利裝機(jī)。再加上近期中美貿(mào)易戰(zhàn)的持續(xù)升溫，取得美國半導(dǎo)體設(shè)備難度增高，目前專案一期生產(chǎn)線僅有 300 多臺套設(shè)備，處于在訂購和進(jìn)廠階段。

武漢弘芯原本計(jì)劃第一階段建月產(chǎn)能達(dá) 3 萬片的 14nm 邏輯 IC 生產(chǎn)線，第二階段將建置月產(chǎn)能 3 萬片的 7nm 生產(chǎn)線，第三階段將建晶圓級先進(jìn)封裝及小芯片（chiplet）生產(chǎn)線，如今產(chǎn)線規(guī)模大幅度縮水。

即使只有少數(shù)設(shè)備進(jìn)廠，武漢弘芯也未能付清尾款。據(jù)臺媒報(bào)道，臺灣廠商帆宣系統(tǒng)科技日前就因未收到尾款，而將賣給武漢弘芯的特種氣體設(shè)備從廠區(qū)撤走。

員工被要求延遲入職

有自稱弘芯員工的網(wǎng)友表示，工廠現(xiàn)有四、五百名員工，但因設(shè)備數(shù)量屈指可數(shù)，無法進(jìn)行生產(chǎn)線實(shí)際操作，現(xiàn)在的日常工作“都是讀 paper、寫 PPT”，部分員工須進(jìn)行“產(chǎn)線模擬”，由員工“飾演”機(jī)臺。有報(bào)導(dǎo)指出，弘芯的 14nm、7nm 生產(chǎn)線都還遙不可及，但“產(chǎn)線模擬”員工組已開始強(qiáng)攻 3nm 了。

據(jù)悉公司還要求部分已經(jīng)收到 offer 的員工延遲到崗報(bào)道。知乎上名為@inception 的作者表示，他本來 7 月份應(yīng)該入職的，結(jié)果現(xiàn)在不斷往后延遲入職，而且具體入職時間也不說，就叫等，頭一次遇到這種情況。

在他的發(fā)言下有不少遇到相同情況的員工分享他們的遭遇。令人不解的是，延期入職說明公司暫時不需要這么多人，但是弘芯每天在前程無憂仍有 200 多個崗位在招聘。

還有網(wǎng)友表示去現(xiàn)場看過，工地根本沒啥動靜，基本只能用荒涼來形容了。

官方新聞最后一次更新顯示為 7 月 8 日。主題為疫情期間弘芯公司堅(jiān)守崗位員工表彰大會隆重舉行，董事長李雪艷、總經(jīng)理兼首席執(zhí)行官出席蔣尚義出席會議。

對于陷入窘境的半導(dǎo)體項(xiàng)目，一些業(yè)內(nèi)人士并不驚訝。當(dāng)前多地一窩蜂地上馬項(xiàng)目，一旦后續(xù)資金接續(xù)不上，最終的結(jié)局只能是關(guān)門。對于動輒上百億的半導(dǎo)體項(xiàng)目投資，政府投資帶動社會投資的模式也是知易行難。
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