臺(tái)積電已安裝了全世界約50％的激活EUV機(jī)器

在本周召開的臺(tái)積電技術(shù)研討會(huì)上，最重要的中心信息之一是，該公司在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域處于世界領(lǐng)先地位，特別是在領(lǐng)先的工藝技術(shù)領(lǐng)域。

為進(jìn)一步傳達(dá)信息，臺(tái)積電展示了一張幻燈片，指出了它與其他產(chǎn)品的相對(duì)位置：通過結(jié)合ASML的聲明和自己的內(nèi)部采購(gòu)單，臺(tái)積電預(yù)測(cè)他們已安裝了全世界約約50％的激活EUV機(jī)器。除此之外，該公司還擁有約60％的EUV晶圓累計(jì)生產(chǎn)量。 大型晶圓廠目前已知的公開EUV工藝包括TSMC的7+和N5，以及三星的7LPP（及以下任何產(chǎn)品），英特爾的EUV努力僅在明年進(jìn)入其自己的7nm產(chǎn)品組合。這些流程之外的任何前沿技術(shù)都將繼續(xù)擴(kuò)大EUV的使用范圍。 與常規(guī)DUV機(jī)器相比，EUV機(jī)器的吞吐率通常較低，每小時(shí)約為120-175片晶圓，最新版本可以達(dá)到275 wph，但是由于1層EUV通?？梢源?-4層DUV，因此吞吐率更高。但是，對(duì)于這些代工廠來說，渴望擴(kuò)展到多個(gè)EUV機(jī)器以增加晶圓的物理數(shù)量是一個(gè)迫切的目標(biāo)。

唯一制造EUV機(jī)器的公司是ASML，并且該公司公開宣布其每年銷售多少臺(tái)機(jī)器。詳情如下：

請(qǐng)注意，到目前為止，ASML仍未完全達(dá)到其目標(biāo)，但是已經(jīng)足夠接近實(shí)現(xiàn)目標(biāo)，這表明到2020年第二季度末，ASML僅出貨了13臺(tái)，但他們預(yù)期是35個(gè)系統(tǒng)。這些數(shù)字包括ASML已制造的所有不同類型的Twinscan NXE機(jī)器，而更新的機(jī)器具有更高的吞吐量（有時(shí)會(huì)翻新一些舊的機(jī)器）。 截止到2020年Q2，我們預(yù)測(cè)ASML已經(jīng)發(fā)貨的EUV機(jī)接近71臺(tái)，到2020年年底，這個(gè)數(shù)字將有可能達(dá)到90臺(tái)，然而ASML可能有多達(dá)積壓49 EUV掃描曝光機(jī)訂單，即使具有這些發(fā)貨目標(biāo)。 如果ASML已經(jīng)出貨了71臺(tái)機(jī)器，那么根據(jù)臺(tái)積電的數(shù)字，這意味著該公司大約有30-35臺(tái)。請(qǐng)注意，TSMC的數(shù)字是針對(duì)“已安裝的EUV”機(jī)器的。 我們獲悉，從獲取零件到校準(zhǔn)機(jī)器使用最多需要6個(gè)月的時(shí)間。因此，目前，這些晶圓廠中有一些正在等待安裝EUV機(jī)器，或者在Intel的情況下，可能僅用于早期測(cè)試或風(fēng)險(xiǎn)前試驗(yàn)。我們知道，GlobalFoundries擁有兩臺(tái)早期的EUV機(jī)器，安裝了一臺(tái)，但是當(dāng)它決定不追求領(lǐng)先的7nm時(shí)最終出售了這兩臺(tái)機(jī)器，其中國(guó)內(nèi)企業(yè)訂購(gòu)了一臺(tái)，但據(jù)我們所知，由于美國(guó)施加的限制，它沒有安裝。。 隨著臺(tái)積電為其N5生產(chǎn)增加其Fab 18的產(chǎn)能，并提高其EUV集成度，看看臺(tái)積電是否受制于其所擁有的機(jī)器數(shù)量是否受到限制將很有趣。 但是可以肯定的是，ASML正處于中堅(jiān)位置，壟斷著一切。