來(lái)源:半導(dǎo)體行業(yè)聯(lián)盟
8月10日,大族激光在互動(dòng)平臺(tái)表示,公司在研光刻機(jī)項(xiàng)目分辨率3-5μm,主要聚焦在分立器件、LED等方面的應(yīng)用,目前已接到少量訂單。
此前,大族激光也在互動(dòng)平臺(tái)表示,公司在研光刻機(jī)項(xiàng)目主要聚焦在分立器件、LED等領(lǐng)域的應(yīng)用,尚未實(shí)現(xiàn)銷售。
行業(yè)周知,高端芯片制造所需的光刻機(jī)一直以來(lái)被荷蘭ASML公司壟斷,一臺(tái)精密光刻機(jī)售價(jià)動(dòng)輒過(guò)億,而我國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)起步較晚,光刻機(jī)技術(shù)與ASML的差距非常大。
當(dāng)前,我國(guó)光刻機(jī)市場(chǎng)環(huán)境中,除了合肥芯碩半導(dǎo)體公司也具備量產(chǎn)200nm光刻機(jī)的實(shí)力,無(wú)錫影幻半導(dǎo)體公司也具備200nm光刻機(jī)量產(chǎn)的實(shí)力,而上海微電子所生產(chǎn)的90nm光刻機(jī)已是目前國(guó)內(nèi)最高技術(shù)的光刻機(jī)。
隨著大族激光在研光刻機(jī)項(xiàng)目的有序推進(jìn),也為我國(guó)光刻機(jī)的研發(fā)向前推進(jìn)提供助力。
來(lái)源:半導(dǎo)體行業(yè)聯(lián)盟
原文標(biāo)題:重磅 | 深圳自研光刻機(jī)公司:已接到訂單!
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