奧林巴斯半導體顯微鏡：從觀察到報告生成的整體過程都變得簡單而流暢

半導體器件中的基礎性原材料是晶圓。極高純度的半導體經(jīng)過拉晶、切片等工序制備成為晶圓，晶圓經(jīng)過一系列半導體制造工藝形成極微小的電路結(jié)構(gòu)，再經(jīng)過切割、封裝、測試成為芯片，廣泛應用到各類電子設備當中。

晶圓表面的電路結(jié)構(gòu)非常復雜，當需要對晶圓樣品的電路圖案和顏色進行微觀觀察時，傳統(tǒng)方法要求前者采用暗場照明，后者采用明場照明，并在這兩種技術之間反復切換。這種觀察方法非常耗時，因為創(chuàng)建報告時每種技術都需要圖像采集。

奧林巴斯解決方案

MX63/MX63L用于半導體/FPD檢查的工業(yè)顯微鏡提供了傳統(tǒng)觀察方法的有效替代方法：MIX照明功能。在混合光照下，可以同時觀察電路圖案和晶圓的顏色信息?；旌蠄D像的清晰度有助于提高工作效率和報告的創(chuàng)建。

薄膜（左：明場 / 右：偏光）

偏光可用于顯示材料的紋理和晶體樣貌。其非常適合檢測晶片和LCD結(jié)構(gòu)。

硬盤（左：明場 / 右：DIC)

微分干涉差(DIC)用于幫助觀察具有細微高度差異的樣品。該技術非常適合用于檢測諸如磁頭、硬盤介質(zhì)、以及拋光晶片等具有很小高度差的樣品。

半導體晶圓上的集成電路圖形（左：暗場 / 右：MIX（明場 + 暗場）

暗場是檢測標本上細微劃痕或缺陷以及晶片等鏡面樣品的理想工具。MIX照明可讓使用者即可觀察圖形也可觀察色彩。

半導體晶片上的光致抗蝕劑殘留物 左：熒光 / 右: MIX（熒光 + 暗場）

熒光觀察適用于使用專用濾色片立方照明時能夠發(fā)光的樣品。其可用于檢測污染物和光致抗蝕劑殘留物。MIX照明可實現(xiàn)光致抗蝕劑殘留和集成電路圖形的觀察。

LCD濾光片 左：透射光 / 右：MIX (透射光 + 明場)

這種觀察技術非常適合諸如LCD、塑料以及玻璃材料等透明樣品。MIX照明可實現(xiàn)濾色片顏色和電路圖形的觀察。

先進的分析工具

MX63系列的各種觀察功能可生成清晰銳利的圖像，讓用戶能夠?qū)悠愤M行可靠的缺陷檢測。全新照明技術以及奧林巴斯Stream圖像分析軟件的圖像采集選項為用戶評估樣品和存檔檢測結(jié)果提供更多選擇。

從不可見到可見：MIX觀察與圖像采集

通過將暗場與諸如明場、熒光或偏光等其他觀察方法結(jié)合使用，MIX觀察技術能夠獲得獨有的觀察圖像。MIX觀察技術可讓用戶發(fā)現(xiàn)用傳統(tǒng)顯微鏡難以看到的缺陷。暗場觀察所用的環(huán)形LED照明器具有在指定時間僅使用四分之一象限的定向暗場功能。該功能可減少樣品光暈，對于樣品表面紋理的可視化非常有用。

表面收到反射（上左）

來自不同角度定向暗場的多幅圖像（上中）

將沒有光暈的清晰圖像拼接在一起，創(chuàng)建樣品的單幅清晰圖像（上右）

輕松生成全景圖像: 即時圖像拼接

利用多圖像拼接(MIA)功能, 用戶移動手動載物臺上的XY旋鈕即可輕松快速完成圖像拼接—電動載物臺無需進行該操作。奧林巴斯Stream軟件利用模式識別生成全景圖像，讓用戶獲得更寬的視場。

硬幣的即時MIA圖像

生成全聚焦圖像: EFI

奧林巴斯Stream軟件的景深擴展成像(EFI)功能可采集高度超出物鏡焦點深度的樣品圖像，并可將其合成一幅全聚焦圖像。EFI配合手動或電動Z軸調(diào)焦使用，可輕松實現(xiàn)結(jié)構(gòu)可視化的高度圖像。其也可在Stream桌面版（Desktop）離線情況下生成EFI圖像。

集成電路芯片上的凸塊

利用HDR同時捕捉明亮區(qū)域和暗光區(qū)域

采用先進圖像處理技術的高動態(tài)范圍(HDR)可在圖像內(nèi)調(diào)整亮度差異，從而減少眩光。HDR改善了數(shù)字圖像的視覺品質(zhì)，從而有助于生成具有專業(yè)級外觀的報告。

（左）某些部位存在炫光。（右）暗光區(qū)域和明亮區(qū)域利用HD獲得清晰呈現(xiàn)。

從基本測量到高級分析

測量對于品質(zhì)、工藝控制和檢測非常重要?；谶@一想法，即便是入門級奧林巴斯Stream軟件包也融入了交互測量功能的全部菜單，并且所有測量結(jié)果與圖像文件一起保存以便存檔。此外，奧林巴斯Stream材料解決方案可為復雜圖像分析提供面向工作流的直觀界面。點擊按鈕一下，圖像分析任務即可快速精準完成。在大幅度縮減重復性任務的處理時間情況下，操作人員可以將精力集中在手邊的檢測工作上。

基本測量（印刷電路板上的圖形）

分散能力解決方案（PCB通孔的橫截面）

自動測量解決方案（晶圓結(jié)構(gòu)）

選配晶圓搬送機 — AL120系統(tǒng)

選配的晶圓搬送機可安裝在MX63系列上，實現(xiàn)無需使用鑷子或工具即可安全地將硅片及化合物半導體晶圓從片盒轉(zhuǎn)移到顯微鏡載物臺上。卓越的性能和可靠性可實現(xiàn)安全高效的前后宏觀檢測，同時搬送機還可幫助提高實驗室工作效率。

MX63系統(tǒng)與AL120晶圓搬送機結(jié)合使用(200毫米型號)

快速、清潔的檢測

MX63系列可實現(xiàn)無污染的晶圓檢測。所有電動組件均安裝在防護結(jié)構(gòu)殼內(nèi)，顯微鏡鏡架、鏡筒、呼吸防護罩、及其他部件均采用防靜電處理。電動物鏡轉(zhuǎn)換器的轉(zhuǎn)速比手動物鏡轉(zhuǎn)換器更快更安全，縮短檢測間隔時間的同時，讓操作人員的手始終保持在晶圓下方，避免了潛在的污染。

防靜電呼吸防護罩

電動物鏡轉(zhuǎn)換器 接受所有晶圓尺寸該系統(tǒng)可配合各類150–200毫米和200– 300毫米晶圓支架和玻璃板使用。如果生產(chǎn)線上的晶圓尺寸發(fā)生變化，以很少的成本即可更改顯微鏡鏡架。有了MX63系列，各種載物臺均可用于檢測75毫米、100毫米、125 毫米和150毫米晶圓。

晶圓支架和玻璃板

讓您的大尺寸樣品檢測流程更加順暢

MX 63 和 MX63L 顯微鏡系統(tǒng)具有多種功能，采用符合人體工學的易用設計，能夠提供最大 300mm晶圓、平板顯示器、印刷電路板、以及其他大型樣本的高品質(zhì)觀察。該產(chǎn)品采用靈活的模塊設計，能夠提供適用于多種檢查用途的最佳觀察系統(tǒng)。通過與奧林巴斯 Stream 圖像分析軟件結(jié)合，從觀察到報告生成在內(nèi)的整體檢查過程都變得簡單而流暢。

責任編輯：xj

原文標題：【企業(yè)動態(tài)】奧林巴斯半導體顯微鏡 獨有的MIX照明功能讓圖像更清晰

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