昆山雙橋傳感器測控技術(shù)有限公司是中科院昆山高科技產(chǎn)業(yè)園、國家火炬計劃昆山傳感器產(chǎn)業(yè)基地核心骨干企業(yè)。公司以MEMS壓阻壓力傳感器為主導產(chǎn)品,兼及其它相關(guān)傳感器、變送器,自控儀表及系統(tǒng)的開發(fā)、生產(chǎn)與銷售。
雙橋公司是國內(nèi)最早開發(fā)MEMS技術(shù)壓力傳感器研究的幾個單位之一,是國內(nèi)較少的幾個堅持從MEMS力敏芯片的設(shè)計、制造做起,因而具有自主知識產(chǎn)權(quán),確立了以高、特、難、新MEMS壓力傳感器為企業(yè)主發(fā)展方向。
高頻動態(tài)壓力傳感器
在軍事工程、化爆試驗、石油勘采與試井、材料、力學、土木工程學、巖土力學、創(chuàng)傷醫(yī)學、液壓動力機械試驗等科學試驗與現(xiàn)代化儀器儀表中,需要不失真地測量一些變化頻率高、壓力波形上升快陡的動態(tài)壓力波形與幅值、有效值,這就要求所用壓力傳感器具有高的固有頻率、極短的上升時間和寬廣優(yōu)良的響應頻帶,以保證足夠的動態(tài)測壓精度,本系列產(chǎn)品即是為此設(shè)計開發(fā)的,它利用微機械加工技術(shù)使得集成硅膜片有效尺寸小,固有頻率高;有優(yōu)良的彈性力學特性,全齊平封裝無管腔封裝,綜合性能優(yōu)于壓電動態(tài)壓力傳感器,成為動壓測試中壓電壓力傳感器的換代產(chǎn)品。其獨有的芯片防光抗干擾設(shè)計,可適用與近場爆轟測量,美國軍標和我國軍標在爆轟動態(tài)測量標準中都推薦首選壓阻式壓力傳感器。
1、CYG401齊平封裝高頻壓力傳感器
1、特點及用途:
無管腔全齊平結(jié)構(gòu),優(yōu)越的靜態(tài)性能及動態(tài)響應能力,低噪聲,高分辨率,高信噪比,帶防光干擾,可選配雙屏蔽互絞專用抗干擾電纜。該產(chǎn)品能用于各種爆炸沖擊波測量及動態(tài)壓力測量。
2、壓力量程:
0~1Mpa~100Mpa內(nèi)可任選量程
3、固有頻率及上升時間(可用帶寬:0~1/3固有頻率)
量程 MPa | 1 | 2 | 4 | 6 | 10 | 20 | 40 | 60 | 100 |
固有頻率 kHz | 180 | 240 | 320 | 250 | 320 | 450 | 600 | 800 | 1000 |
上升時間μm | 1 | 1 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.3 | 0.3 | 0.2 | 0.2 |
4、非 線 性:
±0.2%~±1%
5、精度等級:
檔級指標 |
零點時漂 mv/8h |
零位溫度系數(shù) X10-4FS/℃ |
靈敏度溫度系數(shù) X10-4FS/℃ |
非線性 ±%FS |
不重復性、遲滯 %FS |
JA | 0.1 | 3 | 3 | 0.5(1.0*) | 0.3 |
JB | 0.1 | 2 | 2 | 0.2(0.5*) | 0.1 |
MA | 0.5 | 5 | 5 | 0.5(1.0*) | 0.3 |
MB | 0.15 | 3 | 3 | 0.2(0.5*) | 0.2 |
注:*為40Mpa以上量程參數(shù)
6、測量介質(zhì)溫度:
J級0℃~450℃;M級10℃~300℃(特殊措施下可耐2000℃/200ms或1000℃/1000ms)
7、補償溫度范圍:
J級30℃~100℃;M級30℃~80℃。(亦可按用戶要求特訂)
8、抗光干擾特性:
J級加強抗紅外及可見光;M級抗自然可見光。
9、 安裝接口:
M20×1.5,螺紋深12mm
10、出線方式:
航插、霍斯曼、直出線三種可選(建議直出線式或航插式)
11、供電方式:
恒壓源或恒流源
12、輸出方式:
差分毫伏信號
13、測量介質(zhì):
與硅﹑不銹鋼兼容的無腐蝕非導電性介質(zhì)(如有特殊測量介質(zhì)需提前告知)
14、殼體材料:
不銹鋼
15、冷卻水壓力:
不小于300kpa,嚴禁工作期間停壓或掉管;不大于700kpa,防止爆管
2、CYG406準齊平動態(tài)微壓傳感器
1、特點及用途:
微管腔準齊平結(jié)構(gòu),優(yōu)越的靜態(tài)性能及動態(tài)響應能力,低噪聲,高分辨率,高信噪比,可下延至微壓量程段,可選配雙屏蔽互絞專用抗干擾電纜。該產(chǎn)品用于動態(tài)要求較高的微小量程動態(tài)壓力測量,如小劑量爆轟或動態(tài)工況下的結(jié)構(gòu)表面壓力場測試分析。
2、壓力量程:
0~1kpa~600kpa
3、固有頻率及上升時間(可用帶寬:0~1/5固有頻率)
量程 MPa | 1 | 4 | 10 | 25 | 100 | 250 | 600 |
固有頻率 kHz | >5 | >5 | >20 | >100 | >150 | >300 | >300 |
上升時間μm | 5 | 5 | 2 | 1 | 1 | 0.5 | 0.5 |
4、非 線 性:
±0.2%~±0.5%
5、精度等級:
檔級指標 |
零點時漂 mv/8h |
零位溫度系數(shù) X10-4FS/℃ |
靈敏度溫度系數(shù) X10-4FS/℃ |
非線性 ±%FS |
不重復性、遲滯 %FS |
JA | 0.15 | 3 | 3 | 0.5 | 0.2 |
JB | 0.1 | 2 | 2 | 0.2 | 0.1 |
MA | 0.3 | 5 | 5 | 0.5 | 0.3 |
MB | 0.2 | 3 | 3 | 0.2 | 0.2 |
6、測量介質(zhì)溫度:
-50℃~120℃
7、補償溫度范圍:
J級-20℃~80℃ M級0℃~50℃,亦可按用戶要求特訂。
8、抗光干擾特性:
抗自然可見光
9、 供電方式:
①恒流源或恒壓源 ②±15VDC
10、輸出方式:
①差分毫伏信號,標稱值100mV±30%(100kpa以上);50mV±40%(100kpa以下)
②配有放大器標準值,0~5V
11、測量介質(zhì):
與硅﹑不銹鋼兼容的無腐蝕非導電性介質(zhì)(如有特殊測量介質(zhì)需提前告知)
3、CYG410低壓自由場高頻動態(tài)壓力傳感器
1、特點及用途:
流線型無反射外型,無管腔全齊平結(jié)構(gòu),優(yōu)越的靜態(tài)性能及動態(tài)響應能力,低噪聲,高分辨率,高信噪比,帶防火護線管,最小量程可下沿至50kpa,可選配雙屏蔽互絞專用抗干擾電纜。該產(chǎn)品用于各種小壓力爆炸沖擊波自由場壓力測量。
2、壓力量程:
0~50kpa~500kpa
3、固有頻率及上升時間(用帶寬:0~1/3固有頻率)
量程kpa | 50 | 100 | 200 | 340 | 500 |
固有頻率kHz | 80 | 100 | 120 | 150 | 180 |
上升時間μs | 2 | 2 | 1 | 1 | 1 |
4、非 線 性:
±0.2%~±0.5%
5、精度等級:
指標/檔級 |
零點時漂 mv/8h |
零位溫度系數(shù) ×10-4FS/℃ |
靈敏度溫度系數(shù) ×10-4FS/℃ |
非線性 ±%FS |
不重復性、遲滯 %FS |
JA | 0.2 | 5 | 5 | 0.5 | 0.2 |
JB | 0.15 | 3 | 3 | 0.2 | 0.1 |
6、測量介質(zhì)溫度:
-50℃~120℃(特殊措施下可耐2000℃/20ms)
7、補償溫度范圍:
0℃~50℃。(亦可按用戶要求特訂)
8、抗光干擾特性:
抗自然可見光
9、 直徑:
Φ34mm,Φ25mm(如需特殊尺寸需提前協(xié)商)
10、供電方式:
①恒流源或恒壓源 ②±15VDC
11、輸出方式:
①差分毫伏信號,輸出靈敏度2~4mV/V(200kpa以下) 5~10mV/V(400kpa以上) ②配有放大器,標準值0~5V
12、測量介質(zhì):
與硅﹑不銹鋼或合金鋁兼容的無腐蝕介質(zhì)(如有特殊測量介質(zhì)需提前告知)
4、CYG412高壓自由場高頻動態(tài)壓力傳感器
1、特點及用途:
流線型無反射外型,無管腔全齊平結(jié)構(gòu),優(yōu)越的靜態(tài)性能及動態(tài)響應能力,低噪聲,高分辨率,高信噪比,帶防光干擾,帶防火護線管,可選配雙屏蔽互絞專用抗干擾電纜。該產(chǎn)品能用于各種高壓爆炸沖擊波自由場壓力測量。
2、壓力量程:
0~20Mpa~100Mpa
3、固有頻率及上升時間(可用帶寬:0~1/3固有頻率)
量程kpa | 20 | 40 | 60 | 100 |
固有頻率kHz | 450 | 600 | 800 | 1000 |
上升時間μs | 0.3 | 0.3 | 0.2 | 0.2 |
4、非 線 性:
±0.5%~±1.0%
5、精度等級:
指標/檔級 |
零點時漂 mv/8h |
零位溫度系數(shù) ×10-4FS/℃ |
靈敏度溫度系數(shù) ×10-4FS/℃ |
非線性 ±%FS |
不重復性、遲滯 %FS |
JA | 0.1 | 3 | 3 | 1.0 | 0.3 |
JB | 0.1 | 2 | 2 | 0.5 | 0.2 |
6、測量介質(zhì)溫度:
-50℃~120℃(特殊措施下可耐2000℃/20ms)
7、補償溫度范圍:
J級-10℃~60℃(亦可按用戶要求特訂)
8、抗光干擾特性:
J級加強抗紅外及可見光
9、 直 徑:
Φ34mm,Φ25mm(如需特殊尺寸需提前協(xié)商)
10、供電方式:
①恒流源或恒壓源 ②±15VDC
11、輸出方式:
①差分毫伏信號,標稱值100mV±30% ②配有放大器,標準值0~5V
12、測量介質(zhì):
與硅﹑不銹鋼兼容的無腐蝕介質(zhì)(如有特殊測量介質(zhì)需提前告知)
責任編輯:xj
原文標題:昆山雙橋高頻動態(tài)壓力傳感器
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