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昆山雙橋公司的四種高頻動態(tài)壓力傳感器

傳感器技術(shù) ? 來源:傳感器技術(shù) ? 作者:傳感器技術(shù) ? 2020-10-14 14:59 ? 次閱讀

昆山雙橋傳感器測控技術(shù)有限公司

昆山雙橋傳感器測控技術(shù)有限公司是中科院昆山高科技產(chǎn)業(yè)園、國家火炬計劃昆山傳感器產(chǎn)業(yè)基地核心骨干企業(yè)。公司以MEMS壓阻壓力傳感器為主導產(chǎn)品,兼及其它相關(guān)傳感器、變送器,自控儀表及系統(tǒng)的開發(fā)、生產(chǎn)與銷售。

雙橋公司是國內(nèi)最早開發(fā)MEMS技術(shù)壓力傳感器研究的幾個單位之一,是國內(nèi)較少的幾個堅持從MEMS力敏芯片的設(shè)計、制造做起,因而具有自主知識產(chǎn)權(quán),確立了以高、特、難、新MEMS壓力傳感器為企業(yè)主發(fā)展方向。

高頻動態(tài)壓力傳感器

在軍事工程、化爆試驗、石油勘采與試井、材料、力學、土木工程學、巖土力學、創(chuàng)傷醫(yī)學、液壓動力機械試驗等科學試驗與現(xiàn)代化儀器儀表中,需要不失真地測量一些變化頻率高、壓力波形上升快陡的動態(tài)壓力波形與幅值、有效值,這就要求所用壓力傳感器具有高的固有頻率、極短的上升時間和寬廣優(yōu)良的響應頻帶,以保證足夠的動態(tài)測壓精度,本系列產(chǎn)品即是為此設(shè)計開發(fā)的,它利用微機械加工技術(shù)使得集成硅膜片有效尺寸小,固有頻率高;有優(yōu)良的彈性力學特性,全齊平封裝無管腔封裝,綜合性能優(yōu)于壓電動態(tài)壓力傳感器,成為動壓測試中壓電壓力傳感器的換代產(chǎn)品。其獨有的芯片防光抗干擾設(shè)計,可適用與近場爆轟測量,美國軍標和我國軍標在爆轟動態(tài)測量標準中都推薦首選壓阻式壓力傳感器。

1、CYG401齊平封裝高頻壓力傳感器

1、特點及用途:

無管腔全齊平結(jié)構(gòu),優(yōu)越的靜態(tài)性能及動態(tài)響應能力,低噪聲,高分辨率,高信噪比,帶防光干擾,可選配雙屏蔽互絞專用抗干擾電纜。該產(chǎn)品能用于各種爆炸沖擊波測量及動態(tài)壓力測量。

2、壓力量程:

0~1Mpa~100Mpa內(nèi)可任選量程

3、固有頻率及上升時間(可用帶寬:0~1/3固有頻率)

量程 MPa 1 2 4 6 10 20 40 60 100
固有頻率 kHz 180 240 320 250 320 450 600 800 1000
上升時間μm 1 1 0.5 0.5 0.5 0.3 0.3 0.2 0.2

4、非 線 性:

±0.2%~±1%

5、精度等級:

檔級指標 零點時漂
mv/8h
零位溫度系數(shù)
X10-4FS/℃
靈敏度溫度系數(shù)
X10-4FS/℃
非線性
±%FS
不重復性、遲滯
%FS
JA 0.1 3 3 0.5(1.0*) 0.3
JB 0.1 2 2 0.2(0.5*) 0.1
MA 0.5 5 5 0.5(1.0*) 0.3
MB 0.15 3 3 0.2(0.5*) 0.2

注:*為40Mpa以上量程參數(shù)

6、測量介質(zhì)溫度:

J級0℃~450℃;M級10℃~300℃(特殊措施下可耐2000℃/200ms或1000℃/1000ms)

7、補償溫度范圍:

J級30℃~100℃;M級30℃~80℃。(亦可按用戶要求特訂)

8、抗光干擾特性:

J級加強抗紅外及可見光;M級抗自然可見光。

9、 安裝接口

M20×1.5,螺紋深12mm

10、出線方式:

航插、霍斯曼、直出線三種可選(建議直出線式或航插式)

11、供電方式:

恒壓源或恒流源

12、輸出方式:

差分毫伏信號

13、測量介質(zhì):

與硅﹑不銹鋼兼容的無腐蝕非導電性介質(zhì)(如有特殊測量介質(zhì)需提前告知)

14、殼體材料:

不銹鋼

15、冷卻水壓力:

不小于300kpa,嚴禁工作期間停壓或掉管;不大于700kpa,防止爆管


2、CYG406準齊平動態(tài)微壓傳感器

1、特點及用途:

微管腔準齊平結(jié)構(gòu),優(yōu)越的靜態(tài)性能及動態(tài)響應能力,低噪聲,高分辨率,高信噪比,可下延至微壓量程段,可選配雙屏蔽互絞專用抗干擾電纜。該產(chǎn)品用于動態(tài)要求較高的微小量程動態(tài)壓力測量,如小劑量爆轟或動態(tài)工況下的結(jié)構(gòu)表面壓力場測試分析。

2、壓力量程:

0~1kpa~600kpa

3、固有頻率及上升時間(可用帶寬:0~1/5固有頻率)

量程 MPa 1 4 10 25 100 250 600
固有頻率 kHz >5 >5 >20 >100 >150 >300 >300
上升時間μm 5 5 2 1 1 0.5 0.5

4、非 線 性:

±0.2%~±0.5%

5、精度等級:

檔級指標 零點時漂
mv/8h
零位溫度系數(shù)
X10-4FS/℃
靈敏度溫度系數(shù)
X10-4FS/℃
非線性
±%FS
不重復性、遲滯
%FS
JA 0.15 3 3 0.5 0.2
JB 0.1 2 2 0.2 0.1
MA 0.3 5 5 0.5 0.3
MB 0.2 3 3 0.2 0.2

6、測量介質(zhì)溫度:

-50℃~120℃

7、補償溫度范圍:

J級-20℃~80℃ M級0℃~50℃,亦可按用戶要求特訂。

8、抗光干擾特性:

抗自然可見光

9、 供電方式:

①恒流源或恒壓源 ②±15VDC

10、輸出方式:

①差分毫伏信號,標稱值100mV±30%(100kpa以上);50mV±40%(100kpa以下)

②配有放大器標準值,0~5V

11、測量介質(zhì):

與硅﹑不銹鋼兼容的無腐蝕非導電性介質(zhì)(如有特殊測量介質(zhì)需提前告知)

3、CYG410低壓自由場高頻動態(tài)壓力傳感器

1、特點及用途:

流線型無反射外型,無管腔全齊平結(jié)構(gòu),優(yōu)越的靜態(tài)性能及動態(tài)響應能力,低噪聲,高分辨率,高信噪比,帶防火護線管,最小量程可下沿至50kpa,可選配雙屏蔽互絞專用抗干擾電纜。該產(chǎn)品用于各種小壓力爆炸沖擊波自由場壓力測量。

2、壓力量程:

0~50kpa~500kpa

3、固有頻率及上升時間(用帶寬:0~1/3固有頻率)

量程kpa 50 100 200 340 500
固有頻率kHz 80 100 120 150 180
上升時間μs 2 2 1 1 1

4、非 線 性:

±0.2%~±0.5%

5、精度等級:

指標/檔級 零點時漂
mv/8h
零位溫度系數(shù)
×10-4FS/℃
靈敏度溫度系數(shù)
×10-4FS/℃
非線性
±%FS
不重復性、遲滯
%FS
JA 0.2 5 5 0.5 0.2
JB 0.15 3 3 0.2 0.1

6、測量介質(zhì)溫度:

-50℃~120℃(特殊措施下可耐2000℃/20ms)

7、補償溫度范圍:

0℃~50℃。(亦可按用戶要求特訂)

8、抗光干擾特性:

抗自然可見光

9、 直徑:

Φ34mm,Φ25mm(如需特殊尺寸需提前協(xié)商)

10、供電方式:

①恒流源或恒壓源 ②±15VDC

11、輸出方式:

①差分毫伏信號,輸出靈敏度2~4mV/V(200kpa以下) 5~10mV/V(400kpa以上) ②配有放大器,標準值0~5V

12、測量介質(zhì):

與硅﹑不銹鋼或合金鋁兼容的無腐蝕介質(zhì)(如有特殊測量介質(zhì)需提前告知)

4、CYG412高壓自由場高頻動態(tài)壓力傳感器

1、特點及用途:

流線型無反射外型,無管腔全齊平結(jié)構(gòu),優(yōu)越的靜態(tài)性能及動態(tài)響應能力,低噪聲,高分辨率,高信噪比,帶防光干擾,帶防火護線管,可選配雙屏蔽互絞專用抗干擾電纜。該產(chǎn)品能用于各種高壓爆炸沖擊波自由場壓力測量。

2、壓力量程:

0~20Mpa~100Mpa

3、固有頻率及上升時間(可用帶寬:0~1/3固有頻率)

量程kpa 20 40 60 100
固有頻率kHz 450 600 800 1000
上升時間μs 0.3 0.3 0.2 0.2

4、非 線 性:

±0.5%~±1.0%

5、精度等級:

指標/檔級 零點時漂
mv/8h
零位溫度系數(shù)
×10-4FS/℃
靈敏度溫度系數(shù)
×10-4FS/℃
非線性
±%FS
不重復性、遲滯
%FS
JA 0.1 3 3 1.0 0.3
JB 0.1 2 2 0.5 0.2

6、測量介質(zhì)溫度:

-50℃~120℃(特殊措施下可耐2000℃/20ms)

7、補償溫度范圍:

J級-10℃~60℃(亦可按用戶要求特訂)

8、抗光干擾特性:

J級加強抗紅外及可見光

9、 直 徑:

Φ34mm,Φ25mm(如需特殊尺寸需提前協(xié)商)

10、供電方式:

①恒流源或恒壓源 ②±15VDC

11、輸出方式:

①差分毫伏信號,標稱值100mV±30% ②配有放大器,標準值0~5V

12、測量介質(zhì):

與硅﹑不銹鋼兼容的無腐蝕介質(zhì)(如有特殊測量介質(zhì)需提前告知)

責任編輯:xj

原文標題:昆山雙橋高頻動態(tài)壓力傳感器

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