ASML公布新一代EUV光刻機(jī)

荷蘭ASML（阿斯麥）公布了截止9月30日的三季度財(cái)報(bào)數(shù)據(jù)。

當(dāng)季銷售收入為40億歐元，凈利潤高達(dá)11億歐元（約合87億元人民幣）。2020年前三季度，ASML總共實(shí)現(xiàn)凈銷售額97.24億歐元，較去年同期77.83億歐元提高近25%；凈利潤22.03億歐元同樣大幅提升51%

ASML預(yù)估四季度的收入在36到38億歐元，毛利率50%左右，2020全年的營收應(yīng)該至少能達(dá)到133億歐元。

據(jù)悉，當(dāng)季ASML共獲得60臺(tái)光刻機(jī)的銷售收入，總額31億歐元，其中EUV光刻機(jī)14臺(tái)，但收入占比達(dá)到了66%。

地區(qū)方面，中國臺(tái)灣貢獻(xiàn)了光刻機(jī)收入的47%，看來臺(tái)積電支付了一大筆EUV機(jī)器的貨款。韓國廠商貢獻(xiàn)了26%，中國大陸企業(yè)貢獻(xiàn)了21%。

另外，當(dāng)季ASML還接到了累計(jì)29億歐元的新訂單，并出貨了10臺(tái)EUV光刻機(jī)，型號(hào)以3400B為主。

展望2021年，ASML表示謹(jǐn)慎樂觀，并給出較低兩位數(shù)的預(yù)期收入增長判斷。

同時(shí)，ASML還公布了光刻機(jī)產(chǎn)品的最新進(jìn)展。

其中TWINSCAN NXE:3600D作為其目前研發(fā)中的最先進(jìn)光刻機(jī)系統(tǒng)，終于敲定最終規(guī)格。

具體來說，30mJ/cm2的曝光速度達(dá)到每小時(shí)曝光160片晶圓，提高了18%的生產(chǎn)率，并改進(jìn)機(jī)器匹配套準(zhǔn)精度至1.1nm。

3600D定于2021年中旬出貨交付，客戶還需要一定時(shí)間等待，價(jià)格應(yīng)該不會(huì)低于現(xiàn)款老型號(hào)的1.2億美元。

目前，ASML已經(jīng)投產(chǎn)的最先進(jìn)光刻機(jī)是3400C，但主力出貨型號(hào)是3400B。參數(shù)方面，3400B的套刻精度為2nm、曝光速度20mJ/cm2，每小時(shí)可曝光125片晶圓。

另外，ASML透露，3400B在三季度也完成了軟件升級(jí)。全新的DUV光刻機(jī)TWINSCAN NXT:2050i已經(jīng)在三季度結(jié)束驗(yàn)證，四季度早期開始正式出貨。

據(jù)悉，在截止9月30日的單季度，ASML共獲得60臺(tái)光刻機(jī)收入，出貨了10臺(tái)EUV光刻機(jī)。

ASML CFO Roger Dassen在財(cái)報(bào)會(huì)議的視頻采訪中還談到了與中芯國際等中國客戶的業(yè)務(wù)情況。

Roger Dassen指出，在中國業(yè)務(wù)方面，去年中國本土客戶為ASML創(chuàng)造了約8億歐元的銷售額，今年將會(huì)更多，預(yù)計(jì)超過10億歐元。

關(guān)于美國有可能對(duì)中芯國際采取限制措施，Roger Dassen表示，ASML今年客戶以邏輯工藝領(lǐng)域?yàn)橹?，中芯國際則是ASML的主要邏輯工藝領(lǐng)域客戶。

“我們不會(huì)對(duì)特定的客戶情況進(jìn)行推測(cè)或評(píng)論，但總的來說，我們會(huì)在法律和法規(guī)要求的范圍內(nèi)盡最大的能力繼續(xù)為客戶提供服務(wù)?！盧oger Dassen如是說。

Roger Dassen進(jìn)一步指出，ASML了解美國當(dāng)局目前的規(guī)章制度及其解釋，當(dāng)然也知道這些與特定的中國客戶密切相關(guān)，但如果廣泛的來理解其規(guī)章制度對(duì)ASML的總體含義（對(duì)于特定的中國客戶），則意味著ASML將能夠從荷蘭向這些中國客戶提供DUV光刻系統(tǒng)，且無需出口許可證。

不過，如果涉及直接從美國運(yùn)往此類客戶的零件或系統(tǒng)，ASML則需要為此申請(qǐng)出口許可證。

責(zé)任編輯：haq