ASML答應(yīng)提早交付三星已經(jīng)同意購買的極紫外光光刻設(shè)備（EUV）？

日前三星電子副董事長李在镕前往荷蘭拜訪光刻機(jī)大廠ASML，其目的就是希望ASML 的高層能答應(yīng)提早交付三星已經(jīng)同意購買的極紫外光光刻設(shè)備（EUV）。

報(bào)道進(jìn)一步指出，目前三星極需要透過EUV光刻設(shè)備來優(yōu)化旗下晶圓代工業(yè)務(wù)的先進(jìn)制程，用以在市場上爭取客戶訂單，而進(jìn)一步拉近與晶圓代工龍頭臺積電的差距。目前，ASML 是當(dāng)前全球唯一生產(chǎn)EUV 設(shè)備的廠商，而EUV 設(shè)備對于在晶圓代工中的先進(jìn)制程，尤其是在當(dāng)前最先進(jìn)的5納米或未來更進(jìn)一步的半導(dǎo)體制程中至關(guān)重要。而三星目前極需要將這些EUV 設(shè)備安裝于三星正在建設(shè)的韓國平澤2 號工廠的新晶圓代工產(chǎn)線，以及正在擴(kuò)建的韓國華城V1 產(chǎn)線上。

據(jù)了解，三星電子已經(jīng)于2020 年5 月份，在韓國平澤的2 號工廠中開始設(shè)置晶圓代工的產(chǎn)線，該公司計(jì)劃在該條新晶圓代工產(chǎn)線上投資約10萬億韓元（約88億美元），并預(yù)計(jì)于2021 年下半年開始全面量產(chǎn)。至于，在華城工廠內(nèi)的V1 產(chǎn)線，則已經(jīng)于2019 年投入運(yùn)營，該產(chǎn)線專門以EUV 技術(shù)來協(xié)助量產(chǎn)7 納米制程的芯片。目前該產(chǎn)線正在擴(kuò)產(chǎn)中，預(yù)計(jì)未來將投入5納米和5納米以下更先進(jìn)制程的芯片生產(chǎn)。對此，三星也計(jì)劃到2020 年底，將華城V1 產(chǎn)線的晶圓月產(chǎn)能提升至2 萬片的規(guī)模。

就因?yàn)槿羌泳o對晶圓代工的先進(jìn)制程擴(kuò)產(chǎn)，因此確保EUV 光刻設(shè)備能夠確實(shí)裝機(jī)，是目前三星最緊迫的任務(wù)。如果EUV 設(shè)備的裝機(jī)時(shí)程被延后，則三星希望藉由EUV 設(shè)備來優(yōu)化先進(jìn)制程，進(jìn)一步獲得全球半導(dǎo)體客戶青睞而取得訂單的機(jī)會，則可能會拱手讓給了競爭對手臺積電。

以目前來說，三星目前已經(jīng)開始營運(yùn)的有10 部EUV 設(shè)備，另外還已經(jīng)在2020 年向ASML 下單訂購了約20 部的EUV。但反觀臺積電則更是來勢洶洶，目前不僅已經(jīng)營運(yùn)20 部以上的EUV 設(shè)備，還宣布到2022 年時(shí)將再購買60 部EUV 設(shè)備。這情況也讓李在镕更加心急，不得不飛往荷蘭與ASML 高層進(jìn)行協(xié)商。
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