盡管被夾在中美之間，ASML仍積極努力

?當(dāng)?shù)貢r(shí)間10月14日，半導(dǎo)體巨頭、全球光刻機(jī)領(lǐng)頭企業(yè)ASML首席財(cái)務(wù)官羅杰·達(dá)森（Roger Dassen），對(duì)向中國(guó)出口光刻機(jī)的問(wèn)題作出了表態(tài)。他表示，ASML可以從荷蘭向中國(guó)出口DUV（深紫外）光刻機(jī)，無(wú)需美國(guó)許可。

但，大家都懂。DUV光刻機(jī)非ASML最先進(jìn)的產(chǎn)品。10nm及以下的芯片制造，EUV光刻機(jī)必不可缺。中芯國(guó)際的7nm（N+1工藝），并非國(guó)際公認(rèn)的7nm，更類(lèi)似與臺(tái)積電10nm，使用DUV光刻機(jī)制造。

據(jù)了解，EUV光刻機(jī)不需要多重曝光，一次就能曝出想要的精細(xì)圖形，沒(méi)有超純水和晶圓接觸，在產(chǎn)品生產(chǎn)周期、光學(xué)鄰近效應(yīng)矯正的復(fù)雜程度、工藝控制、良率等方面都有明顯優(yōu)勢(shì)。

當(dāng)天，ASML發(fā)布了其2020年第三季度財(cái)報(bào)，達(dá)森也一同接受了視頻采訪。當(dāng)被問(wèn)及美國(guó)的半導(dǎo)體出口禁令對(duì)ASML的業(yè)務(wù)有何種影響時(shí)，達(dá)森回應(yīng)稱(chēng)，他們注意到了美方的禁令，也意識(shí)到了禁令對(duì)中國(guó)客戶(hù)的影響。 隨后達(dá)森對(duì)ASML的光刻機(jī)出口問(wèn)題作出了解釋?zhuān)f(shuō)：“如果要解釋一下美國(guó)的規(guī)定對(duì)ASML有什么影響的話，對(duì)于的中國(guó)客戶(hù)，我們還是可以直接從荷蘭向他們出口DUV光刻機(jī)，無(wú)需任何出口許可。” 但他隨后也補(bǔ)充稱(chēng)，如果相關(guān)系統(tǒng)或零件是從美國(guó)出口的，那這些設(shè)備仍然需要得到美方的許可。

采訪視頻截圖 達(dá)森表示，ASML將盡最大努力，盡可能為所有客戶(hù)繼續(xù)提供服務(wù)和支持。 根據(jù)公開(kāi)的財(cái)報(bào)電話會(huì)議錄音，ASML首席執(zhí)行官彼得·韋尼克（Peter Wennink）也在會(huì)議上確認(rèn)了這一點(diǎn)。韋尼克稱(chēng)，根據(jù)當(dāng)前美國(guó)的規(guī)定，直接從荷蘭向中國(guó)出口的DUV光刻機(jī)不受影響。 但達(dá)森和韋尼克都強(qiáng)調(diào)的是DUV光刻機(jī)出口，并未提到更先進(jìn)的EUV（極紫外）光刻機(jī)。彭博社14日在報(bào)道中也強(qiáng)調(diào)，DUV的規(guī)則不適用于EUV光刻機(jī)。ASML必須獲得許可證才有可能向中國(guó)企業(yè)出口EUV光刻機(jī)。但荷蘭政府已經(jīng)暫緩了EUV光刻機(jī)出口許可，一直到現(xiàn)在都沒(méi)有批準(zhǔn)。

“盡管被夾在中美之間，ASML仍積極努力”

根據(jù)ASML發(fā)布的財(cái)報(bào)，2020年第三季度ASML光刻機(jī)凈銷(xiāo)售額達(dá)31億歐元，中國(guó)大陸市場(chǎng)的營(yíng)收占到21%。第三季度ASML總計(jì)凈銷(xiāo)售額達(dá)到約40億歐元，凈收入近11億歐元。值得一提的是，EUV光刻機(jī)的收入占比極高，貢獻(xiàn)了66%的光刻機(jī)銷(xiāo)售額。 今年5月，ASML與無(wú)錫高新區(qū)簽署了戰(zhàn)略合作協(xié)議，在無(wú)錫高新區(qū)內(nèi)擴(kuò)建升級(jí)阿斯麥光刻設(shè)備技術(shù)服務(wù)（無(wú)錫）基地。此前，ASML已在北京、上海、深圳、無(wú)錫等地開(kāi)設(shè)分公司，為客戶(hù)提供服務(wù)和咨詢(xún)，其中深圳是其在亞洲最大的軟件研發(fā)中心。

原文標(biāo)題：ASML表態(tài)：DUV可以！EUV不行！

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