用微機(jī)電系統(tǒng)和兩個壓力傳感器補(bǔ)償集成電路(IC)演示了用于生化和醫(yī)學(xué)目的的微流體流量測量。流體的流速可以通過精密加工通道上的壓降來確定。整個組件可安裝在小型陶瓷混合組件上。
在廣泛的當(dāng)前應(yīng)用中,流體分析必不可少。生物學(xué),醫(yī)學(xué)分析,基因工程和許多其他領(lǐng)域都依賴于快速,精確且可重復(fù)的化學(xué)和生物學(xué)分析。自動執(zhí)行流體樣品定量和分析的工具對于負(fù)擔(dān)得起的性能至關(guān)重要。
已經(jīng)設(shè)計出高度專業(yè)的電子傳感器來自動執(zhí)行樣品分析,但是液體的配給(仍然是一個突出的問題)必須在物理上完成。通常使用步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動的專用微型注射器來完成此操作??梢暂p松想象與此類設(shè)置相關(guān)的困難和費(fèi)用。
在解決這一問題的一種新穎方法中,DASA IMT和Seyonic SA(均為瑞士納沙泰爾公司)開發(fā)了流通式微流體配液,并將其作為用于太空實驗的工具包的一部分。如下所述,該設(shè)計的關(guān)鍵要素是微流量傳感器設(shè)備。要求是:
- 小尺寸
- 化學(xué)慣性
- 溫度穩(wěn)定性
- 長期穩(wěn)定性
- 簡單,輕松和全自動的重新校準(zhǔn)
- 線性電壓-壓力輸出
一種測量微流體流量的方法是通過測量集成到微流通道中的節(jié)流閥上的壓差。壓力測量是通過雙壓阻式壓力傳感器進(jìn)行的,其中一個放在限流器之前,另一個放在限流器之后。為了確保傳感器不受化學(xué)侵蝕性流體的影響或更改,將壓力下的流體施加到傳感器膜片的背面(其單晶硅對化學(xué)物質(zhì)相對不敏感)而不是正面。這種不尋常的配置通過將敏感的微電子電路與液體隔離開來保護(hù)它們,從而保護(hù)了傳感器上的敏感微電子電路。為防止機(jī)械張力引起的誤差,將傳感器安裝在較厚的陶瓷基板上(圖1)。
壓阻式壓力傳感器具有出色的靈敏度和可重復(fù)性,但對環(huán)境溫度的變化非常敏感。直到最近,還沒有辦法在實現(xiàn)微流體流量傳感所需的小尺寸和快速響應(yīng)的同時補(bǔ)償這些誤差。一種解決方案是采用新型的MAX1458傳感器信號處理器,該傳感器可以補(bǔ)償壓阻傳感器的初始誤差和與溫度有關(guān)的誤差。圖2將未經(jīng)校正的傳感器的輸出與通過該IC補(bǔ)償?shù)南嗤敵鲞M(jìn)行了比較。
數(shù)字和用戶可編程寄存器對模擬信號路徑進(jìn)行全電子補(bǔ)償。對于在-40°C至+ 125°C汽車溫度范圍等環(huán)境溫度變化較大的應(yīng)用中,MAX1458的總輸出精度優(yōu)于1%。對于更有限的跨度(例如+ 15°C至+ 45°C),總壓力精度接近0.1%。
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