世界光刻機巨頭ASML亮相第三屆進博會。由于ASML目前仍不能向中國出口EUV光刻機,所以此次展示的是其DUV光刻機。
ASML此次也帶來了其整體光刻解決方案,包括先進控制能力的光刻機臺計算光刻和測量通過建模、仿真、分析等技術(shù),讓邊緣定位精度不斷提高。
在這之前,ASML CFO Roger Dassen在財報會議的視頻采訪中談到了與中芯國際等中國客戶的業(yè)務(wù)情況。
Roger Dassen指出,ASML了解美國當(dāng)局目前的規(guī)章制度及其解釋,當(dāng)然也知道這些與特定的中國客戶密切相關(guān),但如果廣泛的來理解其規(guī)章制度對ASML的總體含義(對于特定的中國客戶),則意味著ASML將能夠從荷蘭向這些中國客戶提供DUV光刻系統(tǒng),且無需出口許可證。
根據(jù)ASML發(fā)布的財報,2020年第三季度ASML光刻機凈銷售額達31億歐元,中國大陸市場的營收占到21%。第三季度ASML總計凈銷售額達到約40億歐元,凈收入近11億歐元。值得一提的是,EUV光刻機的收入占比極高,貢獻了66%的光刻機銷售額。
今年5月,ASML與無錫高新區(qū)簽署了戰(zhàn)略合作協(xié)議,在無錫高新區(qū)內(nèi)擴建升級阿斯麥光刻設(shè)備技術(shù)服務(wù)(無錫)基地。此前,ASML已在北京、上海、深圳、無錫等地開設(shè)分公司,為客戶提供服務(wù)和咨詢,其中深圳是其在亞洲最大的軟件研發(fā)中心。
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