如何解決集成電路制造產(chǎn)生的大量廢硫酸處置難題？

新模式解決大難題——“廢硫酸定向資源化再利用”給出廢酸 處置新方案

隨著產(chǎn)業(yè)規(guī)模的逐步擴(kuò)大，集成電路制造企業(yè)在運(yùn)營(yíng)過程中產(chǎn)生的大量廢硫酸處置問題，正成為影響上海持續(xù)發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)的一大難題。

為積極應(yīng)對(duì)廢硫酸處置問題，主動(dòng)服務(wù)企業(yè)的優(yōu)質(zhì)高速發(fā)展，上海市集成電路行業(yè)協(xié)會(huì)跨前一步，在市經(jīng)信委、市生態(tài)環(huán)境局等相關(guān)部門的支持下，未雨綢繆，積極探索，多次召開專家研討會(huì)論證處置方案，最終形成了解決廢硫酸處置難題的新模式

——廢硫酸定向資源化再利用。

該模式的核心是實(shí)現(xiàn)集成電路制造過程中產(chǎn)生的廢硫酸替代鈦白粉生產(chǎn)工藝過程中用到的工業(yè)硫酸。在新模式的探索過程中，我們經(jīng)過試點(diǎn)工作，驗(yàn)證了廢酸再利用單位在利用廢硫酸生產(chǎn)鈦白粉時(shí)，不需要調(diào)整現(xiàn)有工藝，并證明了廢硫酸回用技術(shù)具有很強(qiáng)的技術(shù)可行性，同時(shí)，替用過程不增加額外的環(huán)境負(fù)擔(dān)與風(fēng)險(xiǎn)，不影響產(chǎn)品的質(zhì)量，符合“固體廢物減量化、資源化和無害化”原則。試點(diǎn)工作也彰顯了“廢硫酸定向資源化再利用”這一新模式具有很好的環(huán)境效益、經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益，符合循環(huán)經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)需求，不僅解決了廢硫酸處置出路難、處置費(fèi)用高的難題，降低了企業(yè)生產(chǎn)成本和廢硫酸處理費(fèi)用，還有力促進(jìn)了鈦白粉生產(chǎn)單位的升級(jí)改造、精準(zhǔn)轉(zhuǎn)型和綠色發(fā)展，為日后集成電路產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展鋪平了道路。

為了積極推行“廢硫酸定向資源化再利用”這一新模式，上海市集成電路行業(yè)協(xié)會(huì)編寫了《鈦白粉用集成電路制造行業(yè)廢硫酸》（T/SICA001-2020）團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)，并在上海市質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督部門網(wǎng)站進(jìn)行了備案和國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)網(wǎng)上公示，該標(biāo)準(zhǔn)的制定有力地保證了廢酸源頭質(zhì)量的把控。

2019 年 11 月，上海市生態(tài)環(huán)境局同意本市四家企業(yè)廢硫酸定向資源化再利用備案。目前各方進(jìn)展順利，各試點(diǎn)企業(yè)在嚴(yán)格執(zhí)行危廢各項(xiàng)管理制度下，廢硫酸源頭品質(zhì)得到保證，并委托具有相關(guān)運(yùn)輸資質(zhì)的單位專人專車進(jìn)行運(yùn)輸。接受單位在廢酸使用期間，生產(chǎn)運(yùn)行穩(wěn)定，各項(xiàng)污染物排放環(huán)保指標(biāo)檢測(cè)均符合排放標(biāo)準(zhǔn)。

2020 年 10 月，上海市生態(tài)環(huán)境局?jǐn)U大“廢硫酸定向資源化再利用”備案，新增四家企業(yè)，已經(jīng)全部覆蓋了上海市具備回收廢酸條件的集成電路制造企業(yè)。

至此，上海市集成電路行業(yè)協(xié)會(huì)參與創(chuàng)新建立的“廢硫酸定向資源化再利用”模式已初見成效，總體上穩(wěn)定地解決了上海集成電路產(chǎn)業(yè)廢硫酸處置問題。下一步將深入探索該模式的推廣應(yīng)用課題，在嚴(yán)格遵守國(guó)家相關(guān)法律法規(guī)的前提下，努力實(shí)現(xiàn)將更多的集成電路生產(chǎn)過程中的“廢物”變成可資利用的優(yōu)質(zhì)“資源”的目標(biāo)，為綠色生態(tài)環(huán)境建設(shè)和集成電路產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展做出貢獻(xiàn)。

原文標(biāo)題：難題：集成電路制造企業(yè)在運(yùn)營(yíng)過程中產(chǎn)生的大量廢硫酸處置問題

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