寧波南大光電國(guó)內(nèi)首條ArF光刻膠生產(chǎn)線正式投產(chǎn)！

“目前，我們的產(chǎn)線已進(jìn)入設(shè)備調(diào)試的尾聲階段，預(yù)計(jì)年底完成調(diào)試。”今天上午，在北侖芯港小鎮(zhèn)內(nèi)，寧波安集微電子科技有限公司生產(chǎn)主管朱俊輝向記者展示了該企業(yè)未來(lái)在甬的發(fā)展藍(lán)圖：一期光刻膠去除劑等高端微電子材料設(shè)計(jì)年產(chǎn)能3500噸，明年一季度實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)；二期以中試、倉(cāng)儲(chǔ)為主，明年8月底完成主體結(jié)構(gòu)。

作為我市集成電路“一園三基地”中的重要一環(huán)，芯港小鎮(zhèn)是寧波重點(diǎn)打造的集成電路制造與材料基地。

隨著安集微電子等一批企業(yè)入駐，芯港小鎮(zhèn)已逐漸形成“芯”火燎原之勢(shì)。

錦越新材料是芯港小鎮(zhèn)首批入駐企業(yè)之一

在安集微電子不遠(yuǎn)處，錦越新材料憑借自主研發(fā)的“晶析法”工藝，成功突破5N8（99.9998%）電子級(jí)超高純鋁的技術(shù)瓶頸，一舉打破國(guó)外壟斷，其生產(chǎn)的電子級(jí)超高純鋁純度排名全球前三，并已向6N（99.9999%）純度發(fā)起技術(shù)攻關(guān)。按照生產(chǎn)計(jì)劃，錦越新材料4條電子級(jí)超高純鋁生產(chǎn)線將于明年底全部達(dá)產(chǎn)，設(shè)計(jì)年產(chǎn)能達(dá)2000噸。

資料圖

有了光刻膠，才能把納米級(jí)的超大規(guī)模集成電路印上去。前不久，另一家集成電路關(guān)鍵原材料企業(yè)寧波南大光電材料有限公司的首條ArF光刻膠生產(chǎn)線正式投產(chǎn)。按照計(jì)劃，該項(xiàng)目總投資6億元，項(xiàng)目完全達(dá)產(chǎn)后，預(yù)計(jì)實(shí)現(xiàn)約10億元的年銷售額，年利稅預(yù)計(jì)約2億元。目前，該公司研制出的ArF（193nm）光刻膠樣品正在供客戶測(cè)試。

除了安集微電子、錦越新材料、南大光電，園區(qū)內(nèi)的中芯集成電路（寧波）有限公司特種工藝芯片N2項(xiàng)目也在加緊建設(shè)中。

目前，“芯港小鎮(zhèn)”已累計(jì)落戶集成電路產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目28個(gè)，涵蓋芯片制造、關(guān)鍵材料、設(shè)計(jì)、封測(cè)、平臺(tái)、應(yīng)用等全產(chǎn)業(yè)鏈，總投資超150億元；同時(shí)，引進(jìn)中科院微電子研究所寧波北侖應(yīng)用研究所等創(chuàng)新平臺(tái)4個(gè)，寧波北侖集成電路產(chǎn)業(yè)平臺(tái)列入浙江省第二批“萬(wàn)畝千億”新產(chǎn)業(yè)平臺(tái)培育名單。

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