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晶圓是如何變成CPU的

Wildesbeast ? 來源:21IC ? 作者:21IC ? 2020-12-26 11:25 ? 次閱讀

晶圓是非常重要的物件之一,缺少晶圓,目前的大多電子設(shè)備都無法使用。在往期文章中,小編對晶圓的結(jié)構(gòu)、單晶晶圓等均有所介紹。本文中,為增進(jìn)大家對晶圓的了解,小編將闡述晶圓是如何變成CPU的。如果你對晶圓相關(guān)內(nèi)容具有興趣,不妨繼續(xù)往下閱讀哦。

一、晶圓

晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片,由于其形狀為圓形,故稱為晶圓;在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu),而成為有特定電性功能之IC產(chǎn)品。晶圓的原始材料是硅,而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉,鹽酸氯化,并經(jīng)蒸餾后,制成了高純度的多晶硅,其純度高達(dá)99.999999999%。

二、CPU的工藝要素

1)晶圓尺寸

硅晶圓尺寸是在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中硅晶圓使用的直徑值。硅晶圓尺寸越大越好,因?yàn)檫@樣每塊晶圓能生產(chǎn)更多的芯片。比如,同樣使用0.13微米的制程在200mm的晶圓上可以生產(chǎn)大約179個(gè)處理器核心,而使用300mm的晶圓可以制造大約427個(gè)處理器核心,300mm直徑的晶圓的面積是200mm直徑晶圓的2.25倍,出產(chǎn)的處理器個(gè)數(shù)卻是后者的2.385倍,并且300mm晶圓實(shí)際的成本并不會比200mm晶圓來得高多少,因此這種成倍的生產(chǎn)率提高顯然是所有芯片生產(chǎn)商所喜歡的。

然而,硅晶圓具有的一個(gè)特性卻限制了生產(chǎn)商隨意增加硅晶圓的尺寸,那就是在晶圓生產(chǎn)過程中,離晶圓中心越遠(yuǎn)就越容易出現(xiàn)壞點(diǎn)。因此從硅晶圓中心向外擴(kuò)展,壞點(diǎn)數(shù)呈上升趨勢,這樣我們就無法隨心所欲地增大晶圓尺寸。

(2)蝕刻尺寸

蝕刻尺寸是制造設(shè)備在一個(gè)硅晶圓上所能蝕刻的一個(gè)最小尺寸,是CPU核心制造的關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)。在制造工藝相同時(shí),晶體管越多處理器內(nèi)核尺寸就越大,一塊硅晶圓所能生產(chǎn)的芯片的數(shù)量就越少,每顆CPU的成本就要隨之提高。反之,如果更先進(jìn)的制造工藝,意味著所能蝕刻的尺寸越小,一塊晶圓所能生產(chǎn)的芯片就越多,成本也就隨之降低。

(3)金屬互連層

在前面的第5節(jié)“重復(fù)、分層”中,我們知道了不同CPU的內(nèi)部互連層數(shù)是不同的。這和廠商的設(shè)計(jì)是有關(guān)的,但它也可以間接說明CPU制造工藝的水平。這種設(shè)計(jì)沒有什么好說的了,Intel在這方面已經(jīng)落后了,當(dāng)他們在0.13微米制程上使用6層技術(shù)時(shí),其他廠商已經(jīng)使用7層技術(shù)了;而當(dāng)Intel準(zhǔn)備好使用7層時(shí),IBM已經(jīng)開始了8層技術(shù);當(dāng)Intel在Prescott中引人7層帶有Lowk絕緣層的銅連接時(shí),AMD已經(jīng)用上9層技術(shù)了。更多的互連層可以在生產(chǎn)上億個(gè)晶體管的CPU(比如Prescott)時(shí)提供更高的靈活性。

我們知道當(dāng)晶體管的尺寸不斷減小而處理器上集成的晶體管又越來越多的時(shí)候,連接這些晶體管的金屬線路就更加重要了。特別是金屬線路的容量直接影響信息傳送的速度。在90納米制程上,Intel推出了新的絕緣含碳的二氧化硅來取代氟化硅酸鹽玻璃,并同時(shí)表示這可以增加18%的內(nèi)部互連效率。

三、CPU生產(chǎn)流程

(1)硅提純

生產(chǎn)CPU等芯片的材料是半導(dǎo)體,現(xiàn)階段主要的材料是硅Si,這是一種非金屬元素,從化學(xué)的角度來看,由于它處于元素周期表中金屬元素區(qū)與非金屬元素區(qū)的交界處,所以具有半導(dǎo)體的性質(zhì),適合于制造各種微小的晶體管,是目前最適宜于制造現(xiàn)代大規(guī)模集成電路的材料之一。

在硅提純的過程中,原材料硅將被熔化,并放進(jìn)一個(gè)巨大的石英熔爐。這時(shí)向熔爐里放入一顆晶種,以便硅晶體圍著這顆晶種生長,直到形成一個(gè)幾近完美的單晶硅。以往的硅錠的直徑大都是200毫米,而CPU廠商正在增加300毫米晶圓的生產(chǎn)。

(2)切割晶圓

硅錠造出來了,并被整型成一個(gè)完美的圓柱體,接下來將被切割成片狀,稱為晶圓。晶圓才被真正用于CPU的制造。所謂的“切割晶圓”也就是用機(jī)器從單晶硅棒上切割下一片事先確定規(guī)格的硅晶片,并將其劃分成多個(gè)細(xì)小的區(qū)域,每個(gè)區(qū)域都將成為一個(gè)CPU的內(nèi)核(Die)。一般來說,晶圓切得越薄,相同量的硅材料能夠制造的CPU成品就越多。

(3)影?。≒hotolithography)

在經(jīng)過熱處理得到的硅氧化物層上面涂敷一種光阻(Photoresist)物質(zhì),紫外線通過印制著CPU復(fù)雜電路結(jié)構(gòu)圖樣的模板照射硅基片,被紫外線照射的地方光阻物質(zhì)溶解。而為了避免讓不需要被曝光的區(qū)域也受到光的干擾,必須制作遮罩來遮蔽這些區(qū)域。這是個(gè)相當(dāng)復(fù)雜的過程,每一個(gè)遮罩的復(fù)雜程度得用10GB數(shù)據(jù)來描述。

(4)蝕刻(Etching)

這是CPU生產(chǎn)過程中重要操作,也是CPU工業(yè)中的重頭技術(shù)。蝕刻技術(shù)把對光的應(yīng)用推向了極限。蝕刻使用的是波長很短的紫外光并配合很大的鏡頭。短波長的光將透過這些石英遮罩的孔照在光敏抗蝕膜上,使之曝光。接下來停止光照并移除遮罩,使用特定的化學(xué)溶液清洗掉被曝光的光敏抗蝕膜,以及在下面緊貼著抗蝕膜的一層硅。

然后,曝光的硅將被原子轟擊,使得暴露的硅基片局部摻雜,從而改變這些區(qū)域的導(dǎo)電狀態(tài),以制造出N井或P井,結(jié)合上面制造的基片,CPU的門電路就完成了。

(5)重復(fù)、分層

為加工新的一層電路,再次生長硅氧化物,然后沉積一層多晶硅,涂敷光阻物質(zhì),重復(fù)影印、蝕刻過程,得到含多晶硅和硅氧化物的溝槽結(jié)構(gòu)。重復(fù)多遍,形成一個(gè)3D的結(jié)構(gòu),這才是最終的CPU的核心。每幾層中間都要填上金屬作為導(dǎo)體。Intel的Pentium4處理器有7層,而AMD的Athlon64則達(dá)到了9層。層數(shù)決定于設(shè)計(jì)時(shí)CPU的布局,以及通過的電流大小。

(6)封裝

這時(shí)的CPU是一塊塊晶圓,它還不能直接被用戶使用,必須將它封入一個(gè)陶瓷的或塑料的封殼中,這樣它就可以很容易地裝在一塊電路板上了。封裝結(jié)構(gòu)各有不同,但越高級的CPU封裝也越復(fù)雜,新的封裝往往能帶來芯片電氣性能和穩(wěn)定性的提升,并能間接地為主頻的提升提供堅(jiān)實(shí)可靠的基礎(chǔ)。

(7)多次測試

測試是一個(gè)CPU制造的重要環(huán)節(jié),也是一塊CPU出廠前必要的考驗(yàn)。這一步將測試晶圓的電氣性能,以檢查是否出了什么差錯(cuò),以及這些差錯(cuò)出現(xiàn)在哪個(gè)步驟(如果可能的話)。接下來,晶圓上的每個(gè)CPU核心都將被分開測試。

由于SRAM(靜態(tài)隨機(jī)存儲器,CPU中緩存的基本組成)結(jié)構(gòu)復(fù)雜、密度高,所以緩存是CPU中容易出問題的部分,對緩存的測試也是CPU測試中的重要部分。

每塊CPU將被進(jìn)行完全測試,以檢驗(yàn)其全部功能。某些CPU能夠在較高的頻率下運(yùn)行,所以被標(biāo)上了較高的頻率;而有些CPU因?yàn)榉N種原因運(yùn)行頻率較低,所以被標(biāo)上了較低的頻率。最后,個(gè)別CPU可能存在某些功能上的缺陷,如果問題出在緩存上,制造商仍然可以屏蔽掉它的部分緩存,這意味著這塊CPU依然能夠出售,只是它可能是Celeron等低端產(chǎn)品。

當(dāng)CPU被放進(jìn)包裝盒之前,一般還要進(jìn)行最后一次測試,以確保之前的工作準(zhǔn)確無誤。根據(jù)前面確定的最高運(yùn)行頻率和緩存的不同,它們被放進(jìn)不同的包裝,銷往世界各地。

四、晶圓如何變成cpu

早在2010年歐盟贊助了一項(xiàng)由德國海森堡大學(xué)發(fā)起的項(xiàng)目,名字叫BrainScaleS(Brain-inspiredmultiscalecomputationinneuromorphichybridsystems),其實(shí)和最近很火的IBMTureNorth處理器有點(diǎn)類似,都是模擬大腦物理結(jié)構(gòu)的東西。不過他們模擬的是老鼠的大腦結(jié)構(gòu),具體步驟是先將老鼠的大腦用液氮冰凍,然后一層一層用機(jī)器磨掉,每磨掉一層就進(jìn)行一次拍照,然后根據(jù)全部的照片去研究老鼠的大腦結(jié)構(gòu)(沒錯(cuò),和山寨手機(jī)仿造電路板用的方法一模一樣)。

然后根據(jù)這個(gè)使用180nmCMOS工藝,在一整片的8英寸晶圓去復(fù)現(xiàn)了老鼠的大腦結(jié)構(gòu),有20萬個(gè)神經(jīng)元、5000萬個(gè)突觸。因?yàn)榇竽X是一個(gè)3D狀的網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu),所以實(shí)際的CPU是把它平鋪到1個(gè)2D平面上的,所以在晶圓上有一個(gè)個(gè)的區(qū)域,不同的區(qū)域之間使用了專門開發(fā)的結(jié)構(gòu)去進(jìn)行互聯(lián)。

至于為什么使用如此“古董“的工藝,其原因在于這是一個(gè)數(shù)?;旌闲酒?,我們知道模擬電路由于自身的特征(低噪聲和高驅(qū)動能力等)而無法使用線寬太小的半導(dǎo)體工藝(否則要么達(dá)不到設(shè)計(jì)指標(biāo),要么干脆就燒掉啦),而數(shù)字電路則不用考慮這些。所以在CPU工藝已經(jīng)進(jìn)步到14nm的今天,模擬電路使用的主流工藝還是130-180nm。

實(shí)際的系統(tǒng)已經(jīng)在2013年上線了,不過效果貌似沒有預(yù)期那么好,這個(gè)項(xiàng)目已經(jīng)于去年停止了。

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