沈陽(yáng)儀表院擴(kuò)散硅壓力敏感芯片技術(shù)參數(shù)

沈陽(yáng)儀表科學(xué)研究院，是始建于1961年的國(guó)家級(jí)科研院所，目前隸屬于國(guó)機(jī)集團(tuán)。12年年底正式掛牌成立的國(guó)家傳感器研究中心，是增強(qiáng)傳感器產(chǎn)業(yè)核心競(jìng)爭(zhēng)能力和發(fā)展為目標(biāo)的研究開發(fā)實(shí)體研究院所，是國(guó)家傳感器產(chǎn)業(yè)的重要組成部分。 我院是我國(guó)最早（1981年）從事硅基敏感芯片、研究、開發(fā)、生產(chǎn)的單位，是中國(guó)芯片，芯體制造技術(shù)策源地。我院始終以芯片研制為核心技術(shù)，擁有光刻、離子注入、膜片腐蝕等芯片制造技術(shù)，擁有全套芯片制造設(shè)備，并廣泛運(yùn)用于航天，航空，船舶等領(lǐng)域。

擴(kuò)散硅壓力敏感芯片

HB2103系列敏感芯片

特點(diǎn)

閉合，半開，全開硅電阻電橋連接形式。

恒流激勵(lì)，靈敏度溫度自補(bǔ)償功能。

反向PN結(jié)電隔離構(gòu)造，玻璃絕緣襯片。

適用于表壓，絕壓，差壓，負(fù)壓測(cè)量。

覆蓋100kPa~100MPa所有常用量程

技術(shù)指標(biāo) 芯片尺寸（μm） 2050*2050，2450*2450，3340*3340； 工作溫度：-45℃~+100℃（可定制特殊溫度) 過(guò)載能力：2倍基準(zhǔn)量程(＜10MPa);1.5倍基準(zhǔn)量程（≥10MPa） 橋路電阻：5（1±20%）KΩ；4（1±20%）KΩ；3.3（1±20%）KΩ 滿量程輸出：≥60mV 線性度：±0.25%FS 零點(diǎn)溫度影響：±0.1%FS/℃ 滿量程溫度影響：±0.1%FS/℃ 供電電源：恒流1mA、1.5mA或恒壓5VDC

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原文標(biāo)題：沈陽(yáng)儀表院擴(kuò)散硅壓力敏感芯片

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