燁映微電子：一顆有溫度的“中國芯”

1月16日，2021中國半導(dǎo)體投資聯(lián)盟年會(huì)暨中國IC風(fēng)云榜頒獎(jiǎng)典禮在北京舉辦。上海燁映微電子科技股份有限公司（以下簡稱“燁映微電子”）榮獲2021中國IC風(fēng)云榜“年度新銳公司獎(jiǎng)”。

2020年新冠疫情給全人類帶來了深遠(yuǎn)的影響，在這場疫情阻擊戰(zhàn)中，燁映微電子積極保障了全國各地額溫槍紅外傳感器的供應(yīng)，尤其是優(yōu)先保障湖北重點(diǎn)疫區(qū)和政府調(diào)撥單的傳感器供應(yīng)，額溫槍傳感器調(diào)撥數(shù)量超過兩百萬只，得到國家工信部、湖北省新型冠狀病毒感染肺炎疫情防控指揮部、上海經(jīng)信委等單位的嘉獎(jiǎng)或感謝。

燁映微電子CEO徐德輝在接受集微網(wǎng)專訪時(shí)表示，燁映微電子將以發(fā)展“熱電紅外中國芯”為己任，力爭成為國內(nèi)領(lǐng)先、國際一流的MEMS熱電紅外傳感器的提供商，并將采取建立基本的技術(shù)支持平臺，以功能模塊配套方式向不同熱式傳感器領(lǐng)域延伸的方法來保持公司的戰(zhàn)略定位和發(fā)展，成為全球MEMS熱電紅外傳感器行業(yè)的領(lǐng)軍企業(yè)，通過紅外傳感感知實(shí)現(xiàn)智能美好生活。

打破國外壟斷 關(guān)鍵技術(shù)不斷創(chuàng)新

燁映微電子的CMOS-MEMS熱電堆紅外傳感器技術(shù)為核心團(tuán)隊(duì)自主研發(fā)，核心團(tuán)隊(duì)在MEMS技術(shù)方面的經(jīng)驗(yàn)積累累計(jì)已經(jīng)超過100年。公司創(chuàng)始人團(tuán)隊(duì)一直從事基于CMOS-MEMS的熱電堆紅外傳感器技術(shù)研究，從器件理論模型、關(guān)鍵工藝及材料、器件流程、封裝結(jié)構(gòu)、應(yīng)用系統(tǒng)五個(gè)方面對CMOS-MEMS熱電堆紅外傳感器進(jìn)行了系統(tǒng)研究，在國際上首次實(shí)現(xiàn)自對準(zhǔn)傳感器結(jié)構(gòu)、圓片級封裝非致冷紅外探測微系統(tǒng)等研究成果。

燁映微電子依托自主研發(fā)的CMOS-MEMS技術(shù)創(chuàng)新，與國內(nèi)半導(dǎo)體代工廠密切合作，解決熱絕緣結(jié)構(gòu)精細(xì)化制作及CMOS-MEMS兼容的紅外敏感結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)問題，實(shí)現(xiàn)CMOS-MEMS技術(shù)兼容的開發(fā)并量產(chǎn)制造，為國內(nèi)第一家掌握熱電堆紅外傳感器核心芯片量產(chǎn)技術(shù)的企業(yè)，成功打破國外壟斷。

徐德輝最后說，燁映微電子的高精度產(chǎn)品是獨(dú)家定義研發(fā)的產(chǎn)品，在封裝工藝上進(jìn)行了技術(shù)改造、滿足客戶更好的的制造要求，較國外同類產(chǎn)品的響應(yīng)率、精準(zhǔn)度都有著跟大的提升，已經(jīng)被大量出貨應(yīng)用于各大醫(yī)療企業(yè)公司的產(chǎn)品，獲得客戶一致好評。

據(jù)了解，在2020年10月的第十五屆“中國芯”集成電路產(chǎn)業(yè)促進(jìn)大會(huì)上，燁映微電子的高精度熱電堆紅外測溫傳感器/STP9CF55H榮獲“中國芯優(yōu)秀支援抗疫產(chǎn)品”獎(jiǎng)。

“燁映微電子最終能夠獲得客戶及市場的認(rèn)可主要是因?yàn)閷﹃P(guān)鍵技術(shù)的不斷創(chuàng)新?！毙斓螺x表示，燁映微電子的產(chǎn)品得到各領(lǐng)域客戶高度認(rèn)可，與其產(chǎn)品的高精度測量、很好的可靠性及一致性、便捷的使用性是分不開的，而以上技術(shù)指標(biāo)正是產(chǎn)業(yè)內(nèi)對紅外傳感器的關(guān)鍵技術(shù)要求及不斷追求的目標(biāo)。

徐德輝詳細(xì)闡述了燁映微電子三個(gè)方面的技術(shù)創(chuàng)新點(diǎn)：

1）CMOS-MEMS兼容的技術(shù)創(chuàng)新。燁映微電子依托自主研發(fā)的CMOS-MEMS技術(shù)創(chuàng)新，解決熱絕緣結(jié)構(gòu)精細(xì)化制作及CMOS-MEMS兼容的紅外敏感結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)問題，為國內(nèi)第一家掌握熱電堆紅外傳感器核心芯片量產(chǎn)技術(shù)的企業(yè)，成功打破國外壟斷。通過CMOS-MEMS技術(shù)實(shí)現(xiàn)紅外熱電堆傳感器芯片的量產(chǎn)，依托集成電路代工廠的產(chǎn)能，突破了傳感器芯片的產(chǎn)能瓶頸，滿足了新冠疫情導(dǎo)致的井噴需求。

2）產(chǎn)品測溫的高精度設(shè)計(jì)創(chuàng)新。燁映微電子采用自主專利及開發(fā)工藝進(jìn)行高精度測溫設(shè)計(jì)，產(chǎn)品環(huán)境溫度檢測精度比國外同類產(chǎn)品提高15倍以上（從原來的3%或5%提升到0.2%）。高精度紅外傳感器測溫精度已經(jīng)可實(shí)現(xiàn)0.05度測溫精度，優(yōu)于醫(yī)用體溫檢測±0.2度精度要求。燁映微電子的高精度紅外傳感器采用更高效的紅外傳感結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，光-熱-電物理轉(zhuǎn)換效率比國外同類產(chǎn)品提高一個(gè)數(shù)量級，紅外響應(yīng)率和探測率指標(biāo)都比國外同類產(chǎn)品高一個(gè)數(shù)量級，單點(diǎn)紅外傳感距離突破1米。

3）產(chǎn)業(yè)鏈整合的“供給側(cè)”創(chuàng)新（Semi-Fabless）。燁映微電子自主研發(fā)基于集成電路封裝的熱電堆傳感器TO封裝工藝，針對自主研發(fā)的封裝工藝建立完整的質(zhì)量管理體系文件、工藝控制文件，實(shí)現(xiàn)封裝“供給側(cè)”創(chuàng)新，通過“Semi-Fabless”模式快速實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化的快速量產(chǎn)和擴(kuò)產(chǎn)。將研發(fā)成果形成工藝標(biāo)準(zhǔn)文件，并積極通過產(chǎn)業(yè)鏈整合的“供給側(cè)”創(chuàng)新，快速提升傳感器封裝產(chǎn)能，滿足疫情防控的井噴需求。并同時(shí)實(shí)現(xiàn)紅外傳感器產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)的優(yōu)化與升級，保障了國家和社會(huì)所需的重要醫(yī)療物資的國產(chǎn)化自主可控安全可靠。

紅外產(chǎn)品發(fā)揮重大作用 一顆有溫度的“中國芯”

去年新冠疫情給半導(dǎo)體行業(yè)帶來很大沖擊。無論是上半年疫情爆發(fā)帶來的現(xiàn)金流問題，還是下半年因?yàn)槭袌龌謴?fù)而帶來的產(chǎn)能問題，對于燁映微電子都是非常大的挑戰(zhàn)。

關(guān)于產(chǎn)能緊缺，徐德輝認(rèn)為，制約紅外傳感器產(chǎn)能的一個(gè)環(huán)節(jié)是紅外傳感器芯片的封裝。由于紅外傳感器需要采用特殊的TO金屬管殼和管帽進(jìn)行真空氣密封裝，與典型的集成電路封裝還存在較大差異。而通常具有TO封裝能力的廠商普遍不大，產(chǎn)能不高，因此很難滿足巨大的市場需求。集成電路封測大廠雖有巨大的封裝產(chǎn)能，但是其沒有TO封裝的相關(guān)設(shè)備和封裝技術(shù)，也無法解決紅外傳感器的封裝問題。

徐德輝介紹，燁映微電子通過產(chǎn)業(yè)鏈整合的“供給側(cè)”創(chuàng)新，采用‘Semi-Fabless’模式，自主研發(fā)基于集成電路封裝的熱電堆傳感器TO封裝工藝，通過了ISO質(zhì)量體系認(rèn)證，針對自主研發(fā)的封裝工藝建立完整的質(zhì)量管理體系文件、工藝控制文件。通過購買熱電堆紅外TO封裝所需的部分核心設(shè)備，結(jié)合封裝工藝控制文件、質(zhì)量管理體系文件的下發(fā)，將紅外傳感器TO封裝的相關(guān)技術(shù)授權(quán)并指導(dǎo)集成電路封裝龍頭企業(yè)及相關(guān)傳感器公司進(jìn)行產(chǎn)業(yè)鏈的整合。即利用燁映微電子自購的核心封裝設(shè)備，結(jié)合質(zhì)量體系及工藝文件的指導(dǎo)，激活集成電路封測廠商現(xiàn)有的大量通用封裝設(shè)備，實(shí)現(xiàn)封裝“供給側(cè)”創(chuàng)新，通過“Semi-Fabless”模式快速實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化的快速量產(chǎn)和擴(kuò)產(chǎn)，滿足市場對TO封裝的井噴激增的需求。

又“紅”又“專” 助力產(chǎn)業(yè)升級

談及2021年的展望，徐德輝表示，在紅外體溫傳感之外，燁映微電子也在一直專注在紅外傳感技術(shù)領(lǐng)域的開發(fā)，將紅外傳感賦能各行業(yè)應(yīng)用，助力產(chǎn)業(yè)升級。

燁映微電子2020年推出了高可靠性熱電堆紅外傳感器，遠(yuǎn)距離紅外測溫模組，熱電堆陣列紅外測溫模組，自聚焦雙光融合紅外測溫模組，產(chǎn)品技術(shù)方案獲得科技部重點(diǎn)專項(xiàng)支持。高可靠性熱電堆紅外傳感器針對戶外紅外測溫應(yīng)用，大幅度提高傳感器可靠性，各種環(huán)境下傳感器都能正常工作；遠(yuǎn)距離紅外測溫模組，熱電堆陣列紅外測溫模組和自聚焦雙光融合紅外測溫模組助力了紅外測溫與AI系統(tǒng)集成，將紅外溫度作為數(shù)字基建的底層數(shù)據(jù)。

徐德輝介紹，燁映微電子的紅外人機(jī)交互技術(shù)，是首家掌握基于人體紅外特征實(shí)現(xiàn)人機(jī)交互的企業(yè)，可同時(shí)檢測動(dòng)態(tài)和靜態(tài)人體信號，實(shí)現(xiàn)完整的紅外人機(jī)交互，可廣泛應(yīng)用與物聯(lián)網(wǎng)、智能家居等行業(yè)作為全新的人機(jī)交互接口。

燁映微電子將單點(diǎn)紅外傳感向陣列紅外傳感方向拓展，從單點(diǎn)紅外傳感器發(fā)展成陣列圖像紅外傳感器，已實(shí)現(xiàn)小陣列紅外傳感器的量產(chǎn)，可實(shí)現(xiàn)33*33，160*120這些分辨率紅外圖像的采集和處理。此外，通過將可見光和陣列紅外傳感器的紅外圖像進(jìn)行融合，燁映微電子也實(shí)現(xiàn)了雙光紅外圖像融合，為紅外傳感提供更多層次的信息。

原文標(biāo)題：燁映微電子：又“紅”又“專”，一顆有溫度的“中國芯”

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