中國(guó)光刻機(jī)技術(shù)取得關(guān)鍵性突破

EUV光刻機(jī)，一直是中國(guó)芯片制造無(wú)法進(jìn)一步升級(jí)的掣肘。去年9月份，時(shí)任中國(guó)科學(xué)院院長(zhǎng)白春禮公開(kāi)表態(tài)稱，將集中精力攻克光刻機(jī)難題。不到半年時(shí)間，中國(guó)科學(xué)家就在這一“卡脖子”技術(shù)取得了關(guān)鍵性突破。

據(jù)最新報(bào)道，我國(guó)清華大學(xué)工程物理系教授唐傳祥研究組、來(lái)自亥姆霍茲柏林材料與能源研究中心（HZB）、德國(guó)聯(lián)邦物理技術(shù)研究院（PTB）的合作團(tuán)隊(duì)在國(guó)際權(quán)威雜志《自然》上發(fā)表了一篇研究論文。

該研究成果首次用實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了新型粒子加速器光源“穩(wěn)態(tài)微聚束”（SSMB）的原理，而清華工物系2015級(jí)博士生鄧秀杰為第一作者。唐傳祥教授指出，大功率的EUV光源是EUV光刻機(jī)的核心基礎(chǔ)。SSMB的EUV光源有望解決自主研發(fā)光刻機(jī)中最核心的“卡脖子”難題。

要知道，在芯片制造鏈的所有環(huán)節(jié)中，光刻機(jī)負(fù)責(zé)最復(fù)雜和關(guān)鍵的工藝步驟。而EUV光刻機(jī)是高端芯片制造必不可少的精密設(shè)備。目前，荷蘭的ASML是全球唯一的EUV光刻機(jī)供應(yīng)商，每臺(tái)EUV光刻機(jī)售價(jià)超過(guò)1億美元。

日經(jīng)亞洲評(píng)論此前報(bào)道，中國(guó)芯片制造行業(yè)龍頭中芯國(guó)際曾于2018年向ASML購(gòu)買了一臺(tái)EUV光刻機(jī)，總價(jià)值高達(dá)1.2億美元（約合人民幣7.7億元），然而由于受到干擾，一直到限制仍無(wú)法到貨。

不過(guò)，清華SSMB研究組已向國(guó)家發(fā)改委提交“穩(wěn)態(tài)微聚束極紫外光源研究裝置”的項(xiàng)目建議書(shū)，申報(bào)“十四五”國(guó)家重大科技基礎(chǔ)設(shè)施。相信隨著科學(xué)家們的深度研發(fā)，我國(guó)將有望加速自主研發(fā)、制造EUV光刻機(jī)，為國(guó)產(chǎn)芯片業(yè)注入更強(qiáng)的活力。
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