作為半導(dǎo)體自動(dòng)化生產(chǎn)不可或缺的軟件,設(shè)備自動(dòng)化系統(tǒng)EAP(Equipment Automation Program)是連接MES,RMS,APC,F(xiàn)DC等上層系統(tǒng)和設(shè)備層的溝通橋梁。在12寸Fab廠,量產(chǎn)線設(shè)備多達(dá)500臺(tái),8寸Fab廠量產(chǎn)線則有300臺(tái)設(shè)備。
EAP被譽(yù)為“設(shè)備管理大師”,對(duì)生產(chǎn)線上的所有機(jī)臺(tái)進(jìn)行實(shí)時(shí)管控,實(shí)現(xiàn)設(shè)備運(yùn)行的自動(dòng)化;在高端應(yīng)用中,借助AI技術(shù),通過(guò)RCM實(shí)現(xiàn)Fab廠所有設(shè)備集中化遠(yuǎn)程控制,自動(dòng)處理設(shè)備異常,自動(dòng)修正配方,自動(dòng)創(chuàng)建配方。
上揚(yáng)軟件的EAP支持的通信協(xié)議包括SECS (HSMS,GEM),PLC (西門(mén)子,歐姆龍,三菱,倍福等)。而支持的Fab廠工作模式有如下3種:Open Cassette,自動(dòng)上料卸料機(jī)臺(tái)SMIF (Standard Merchanical Interface),全自動(dòng)模式 (AGV 或MCS)。
EAP的主要功能
機(jī)臺(tái)狀態(tài)數(shù)據(jù)收集,包括機(jī)臺(tái)生產(chǎn)模式控制/初始化/啟動(dòng)/停止
機(jī)臺(tái)活動(dòng)數(shù)據(jù)的收集處理和追蹤追溯
批次(Lot)校驗(yàn)/進(jìn)站/出站/掛起
配方管理,包括ID校驗(yàn)、選擇、上傳和下載
警報(bào)管理,當(dāng)機(jī)臺(tái)發(fā)生故障時(shí),提供報(bào)告,并通知相關(guān)人員進(jìn)行處理
條形碼/RFID/SMART TAG讀取器管理
材料狀態(tài)跟蹤
設(shè)備狀態(tài)監(jiān)控
上揚(yáng)軟件EAP的特點(diǎn)
1.采用易用的開(kāi)發(fā)工具
易用的開(kāi)發(fā)工具便于系統(tǒng)開(kāi)發(fā),上手簡(jiǎn)單
工作流機(jī)制保證系統(tǒng)多任務(wù)平穩(wěn)運(yùn)行
2. 服務(wù)器模式,方便升級(jí)和部署
EAP Server以服務(wù)器模式運(yùn)行,控制設(shè)備自動(dòng)化跑貨
Backup Server和Failover機(jī)制保證EAP Server不宕機(jī)
跨平臺(tái)腳本化支持熱發(fā)布
3. 良好的擴(kuò)展性,便于與其它系統(tǒng)集成
易于與其他系統(tǒng)集成,如MES,MCS,SPC,RMS,F(xiàn)DC,APC等
多種通信方式支持,如Web Service, Message bus(RV, Active MQ, Rabbit MQ) 等
支持Linux操作系統(tǒng),高效穩(wěn)定
多語(yǔ)言支持
4. 適用于半導(dǎo)體6/8/12寸晶圓制造廠和先進(jìn)/傳統(tǒng)封裝廠,光伏組件/電池廠
作為計(jì)算機(jī)集成制造系統(tǒng)CIM的重要軟件,上揚(yáng)軟件的EAP與MES完美配合,減少并預(yù)防設(shè)備故障,縮短設(shè)備失效時(shí)間,優(yōu)化設(shè)備利用率,從而提高半導(dǎo)體工廠的生產(chǎn)效率,避免人工操作失誤,提高產(chǎn)品良率。
原文標(biāo)題:設(shè)備管理大師 EAP
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