壓阻傳感器高精度測量的各種應用

壓阻傳感器的高精度及其測量絕對壓力、表壓和壓差的能力使其在廣泛的用途中得到了各種應用。

對于工業(yè)設備和機械，壓力傳感器提供的信息可以用于最有效地操作液壓或氣動設備，進而與新的工業(yè)4.0標準聯(lián)系在一起。

汽車對燃料效率和減少有害排放的要求越來越高，需要長期穩(wěn)定和高度精確的傳感器。除了介質(zhì)電阻外，一些用途要求壓力傳感器具有抗凍性，但最重要的是傳感器需要在整個壽命期間提供可靠的信號。

所有的用途都對壓力模具的獨特特性提出了越來越高的要求，需要在模具水平上具有特定的設計特點。已經(jīng)開發(fā)了TDK壓力傳感器的產(chǎn)品系列，重點是提高靈敏度、高性能和較小的模具尺寸。此外，還特別注意介質(zhì)電阻和易處理能力的具體特點。

壓阻壓力測量

絕對壓力測量 – 前側

在真空下將玻璃粘合到硅上，從而產(chǎn)生對照真空。被測量介質(zhì)與壓力傳感器元件芯片前側的有源電子元件接觸。

絕對壓力測量 – 背側

對于潮濕或腐蝕介質(zhì)，使用附加的玻璃蓋在前側形成一個對照室。介質(zhì)應用于背側入口。

表壓和壓差測量

表壓或壓差測量測量前側和背側之間的差異。較高的前側壓力引起的壓差導致輸出信號的正變化。較高的背側壓力導致輸出信號的負變化。

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