在工業(yè)生產(chǎn)的數(shù)控機床,機器人,或是航空航天,雷達等各種高精度、閉環(huán)調(diào)速系統(tǒng),以及伺服系統(tǒng)的轉(zhuǎn)速測量里,都可以看到編碼器的身影。光電式和電磁式是兩種比較常見的編碼器類型。而光電式對比電磁式,可以實現(xiàn)更加精密的測量,擁有更高分辨率而且結(jié)構(gòu)更緊湊。隨著智能制造升級,以及各種高精運控需求的出現(xiàn),光電編碼器如何同時做到提高分辨率、減小尺寸、提高穩(wěn)定性是當(dāng)下許多編碼器供應(yīng)商正在攻克的難關(guān)。
提高光電編碼器的精度和分辨率最簡單的辦法就是增加碼道的數(shù)量。一是加大碼盤尺寸,二是縮小碼道寬度。加大碼盤尺寸無疑會讓編碼器尺寸增加,機械和光學(xué)系統(tǒng)的設(shè)計難度也隨之增加。加大碼盤尺寸顯然不可取。而通過縮小碼道的寬度來實現(xiàn)有限面積中數(shù)量的增加會極大增加均勻刻畫碼道的難度,分辨率和精度會受到影響。
跳出既有技術(shù),采用新技術(shù)理論成為了新的道路。在這條路上,編碼器內(nèi)部核心器件的升級成了重中之重,尤其是光電檢測裝置,在各方面性能上都需要再上一個臺階。
通孔加工技術(shù)
使用MEMS工藝,在PD芯片上形成通孔,可將特種LED置于其中,實現(xiàn)了LED與PD芯片級的合二為一。還可以調(diào)節(jié)PD芯片的厚度,以使LED的高度與PD感光區(qū)域的高度保持一致。使用通孔加工技術(shù)的光電檢測裝置極大提高了分辨率。
編碼器供應(yīng)商里海德漢旗下的鋼光柵/鼓光柵編碼器ECA 4000、ERA 4000就使用了類似技術(shù)。目前我國非常多高精設(shè)備上都采用的是海德漢編碼器,如望遠鏡,高精雷達上。ECA 4000系統(tǒng)精度達到了±3''至±1.5'',信號周期數(shù)覆蓋8195至44000。ERA 4000在系統(tǒng)精度為±5''至±2''。雖然看似精度下降了,但其實這是因為該系列在信號周期數(shù)上覆蓋更廣,3000至13000、6000至44000和12000至52000都可以覆蓋。在每圈信號周期系列下,它的精度都處于業(yè)內(nèi)極高水準線上。
(圖源:海德漢官網(wǎng))
電路處理與專業(yè)光柵制造
海德漢之所以處于絕對壟斷地位,當(dāng)然不止一項領(lǐng)先的技術(shù)。優(yōu)秀電路處理、專業(yè)光柵制造能力是很多光電編碼器廠商沒有的核心技術(shù)。說到柵刻劃制作技術(shù),長春禹衡在國內(nèi)還是首屈一指的,線條均勻性、線條準直性、光柵精度在中端市場受到廣泛認可。
(圖源:禹衡官網(wǎng))
這里是禹衡的JZN-1系列編碼器,這個系列絕對位數(shù)可以做到23~29 bit。同時在高分辨率下,準確度也很高,在20℃下誤差僅為±0.5''。這個參數(shù)是很夸張的。十年前禹衡還只能做到8~25 bit,而現(xiàn)在最高已經(jīng)可以做到29 bit。這里有不少功勞應(yīng)該歸于核心的電路處理和柵刻劃制作技術(shù)。
FOP安裝
微光纖板(FOP)由微尺寸光纖集合而成,是一種可高率、低失真?zhèn)魉凸饩€和圖像的透鏡。將FOP與探測器光敏區(qū)域耦合,可以縮短空間自由光路,有助于提高編碼器分辨率,降低串?dāng)_,這是濱松獨有的專利技術(shù)。
嚴格來說濱松不做編碼器,是上游編碼器配件提供商。但它所推出的核心光電器件極大推動了編碼器廠商的發(fā)展。
(圖源:濱松官網(wǎng))
濱松用于編碼器的6像素陣列Si PIN 光電二極管,就是應(yīng)用了FOP耦合技術(shù)的模塊。模塊表面封裝型6像素Si PIN光電二極管陣列,六個像素中的每個像素都是分開的,布置十分適合于編碼器。將FOP和Si光電二極管結(jié)合使用可使透鏡聚焦在比正常光敏表面高FOP厚度的位置處,會更容易將滑板或其他組件安裝在感光表面附近。此外還能通過使用具有低NA的FOP來調(diào)節(jié)光敏方向性。
小結(jié)
還有不少技術(shù)推動著光電編碼器的發(fā)展,比如不少廠商開始通過實現(xiàn)PD與外圍電路的一體化設(shè)計、設(shè)計特殊的降低噪聲的電路結(jié)構(gòu)等方式,讓器件更加易于使用,并發(fā)揮出更好的性能;或者改進芯片晶體結(jié)構(gòu),實現(xiàn)電流限制型LED更高的可靠性;抑或是重新設(shè)計發(fā)光直徑等等,核心技術(shù)核心工藝的不斷革新推動著光電編碼器產(chǎn)業(yè)繼續(xù)發(fā)展。
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