為啥會有半導(dǎo)體和導(dǎo)體、絕緣體,要從原子的結(jié)構(gòu)說起:
原子由三種不同的粒子構(gòu)成:中性中子和帶正電的質(zhì)子組成原子核,以及圍繞原子核旋轉(zhuǎn)的帶負(fù)電核的電子,質(zhì)子數(shù)與電子數(shù)相等呈現(xiàn)中性。
這是一個碳原子的結(jié)構(gòu)模型
電子能級:原子級的能量單位是電子伏特,它代表一個電子從低電勢處移動到高出1V的的電勢處所獲得的動能。
價電子層:原子最外部的電子層就是價電子層,對原子的化學(xué)和物理性質(zhì)具有顯著的影響,只有一個價電子的原子很容易失去這個電子,有7個價電子的原子容易得到一個電子,具有親和力。
當(dāng)價電子層電子從一種原子轉(zhuǎn)移到另一種原子上時,就會形成離子鍵,不穩(wěn)定的原子容易形成離子鍵。
這種是共價鍵,共用最外圍的一個電子。
金屬就屬于導(dǎo)體,半導(dǎo)體就是有一個較小的禁帶寬度。
導(dǎo)體
導(dǎo)體在原子的最外層通常有一些束縛松散的價電子,容易失去,金屬典型地具有這種價電子層結(jié)構(gòu)。
在一般的半導(dǎo)體制造中,鋁是最普遍的導(dǎo)體材料,可以用來充當(dāng)器件之間的互連線,而鎢可作為 金屬層之間的互連材料。
銅是優(yōu)質(zhì)金屬導(dǎo)體的一個例子,逐漸被引入到硅片制造中取代鋁充當(dāng)微芯片上不同器件之間的互連材料。
絕緣體
? 絕緣體的價電子層不具有束縛松散的電子可用于導(dǎo)電,它有很高的禁帶寬度來分隔開價帶電子和導(dǎo)帶電子。
半導(dǎo)體制造中的絕緣體包括二氧化硅(SiO2)、氮化硅(Si3N4)和聚酰亞胺(一種塑料材料)。?
半導(dǎo)體
半導(dǎo)體材料具有較小的禁帶寬度,其值介于絕緣體(》2eV)和導(dǎo)體之間。這個禁帶寬度允許電子在獲得能量時從價帶躍遷到導(dǎo)帶。
圓片制造中最重要的半導(dǎo)體材料是硅。
硅是一種元素半導(dǎo)體材料,因為它有4個價電子,與其他元素一起位于周期表中的ⅣA族。硅中價層電子的數(shù)目使它正好位于優(yōu)質(zhì)導(dǎo)體(1個價電子)和絕緣體(8個價電子)的中間。
純硅是指沒有雜質(zhì)或者其他物質(zhì)污染的本征硅。純硅的原子通過共價鍵共享電子結(jié)合在一起。
在本征半導(dǎo)體中摻入某些微量的雜質(zhì),就會使半導(dǎo)體的導(dǎo)電性能發(fā)生顯著變化。
其原因是摻雜半導(dǎo)體的某種載流子濃度大大增加。載流子:電子,空穴。
N型硅——在本征硅中摻入五價雜質(zhì)元素(例如磷、
氮),主要載流子為電子。
P型硅——在本征硅中摻入三價雜質(zhì)元素(例如硼、
鎵、銦),主要載流子為空穴。
化合物半導(dǎo)體——GaAs、InP
?砷化鎵等材料的電子遷移率差不多是硅材料的6倍。它們的峰值電子速度也是硅飽和速度的2倍多。禁帶寬度和臨界擊穿場強也比硅高,因此是制造高頻電子器件的理想材料。目前砷化鎵是化合物半導(dǎo)體的主流材料,全球砷化鎵高頻電子器件和電路的年產(chǎn)值24億美元。?磷化銦器件的電子遷移率高達(dá)10000cm2/V﹒s,比砷化鎵還高,所以其高頻性能更好,工作頻率更高,且有更低的噪聲和更高的增益。目前在100GHz左右的3mm波段多數(shù)都用磷化銦器件。
?碳化硅原子束縛能力非常強,禁帶寬度很寬,機械硬度也很高,在20世紀(jì)80年代人們逐步掌握了碳化硅晶體的生長技術(shù)后,90年代用于藍(lán)光發(fā)光材料,同時以碳化硅材料為基礎(chǔ)的電力電子器件和微波功率器件也相繼問世。?實驗表明,氮化鎵具有更好的發(fā)光性能,因此藍(lán)光發(fā)光領(lǐng)域內(nèi)碳化硅已被氮化鎵代替,目前氮化鎵是藍(lán)光和白光發(fā)光器件的主流材料。同時,人們還發(fā)現(xiàn)在微波功率放大領(lǐng)域,氮化鎵的輸出微波功率比砷化鎵和硅高出一個數(shù)量級以上。
?金剛石具有最大的禁帶寬度、最高的擊穿場強和最大的熱導(dǎo)率,被稱為最終的半導(dǎo)體。此外,極窄帶隙半導(dǎo)體材料,如InAs(0.36eV)等,也被人們廣泛研究。?石墨烯與碳納米管等半導(dǎo)體材料。
單晶生長定義:
把多晶塊轉(zhuǎn)變成一個大單晶,給予正確的定向和適量的N型或P型摻雜,叫做晶體生長。
按制備時有無使用坩堝分為兩類:
n有坩堝的:直拉法、磁控直拉法液體掩蓋直拉法;
n無坩堝的:懸浮區(qū)熔法。
硅片的制備
晶體準(zhǔn)備(直徑滾磨、晶體定向、導(dǎo)電類型檢查和電阻率檢查)→切片→研磨→化學(xué)機械拋光(CMP)→背處理→雙面拋光→邊緣倒角→拋光→檢驗→氧化或外延工藝→打包封裝
責(zé)任編輯:haq
-
半導(dǎo)體
+關(guān)注
關(guān)注
334文章
26910瀏覽量
214655 -
帶寬
+關(guān)注
關(guān)注
3文章
901瀏覽量
40806
原文標(biāo)題:半導(dǎo)體材料知識點
文章出處:【微信號:dingg6602,微信公眾號:芯片工藝技術(shù)】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請注明出處。
發(fā)布評論請先 登錄
相關(guān)推薦
評論