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美國(guó)反對(duì)EUV光刻機(jī)引入中國(guó),SK海力士CEO回應(yīng)

Carol Li ? 來(lái)源:電子發(fā)燒友網(wǎng) ? 作者:李彎彎 ? 2021-11-24 09:28 ? 次閱讀

電子發(fā)燒友網(wǎng)報(bào)道(文/李彎彎)據(jù)外媒報(bào)道,SK海力士希望在中國(guó)工廠無(wú)錫使用EUV光刻機(jī),提高存儲(chǔ)芯片的生產(chǎn)效率,然而該工廠升級(jí)改造計(jì)劃卻遇到極大阻礙,因?yàn)槊绹?guó)官員不允許SK海力士將ASML 的EUV光刻機(jī)引進(jìn)中國(guó)大陸。

針對(duì)EUV光刻機(jī)進(jìn)廠可能延期的問(wèn)題,在日前的韓國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)協(xié)會(huì)30周年紀(jì)念活動(dòng)上,SK海力士CEO Seok-hee Lee(李錫熙)表示,正在與美方合作,進(jìn)展良好,EUV光刻技術(shù)已經(jīng)在韓國(guó)本土的DRAM產(chǎn)線上應(yīng)用,中國(guó)工廠還有充足的時(shí)間供斡旋溝通。

美國(guó)為何不允許EUV光刻機(jī)進(jìn)入中國(guó)

ASML的EUV光刻機(jī)對(duì)芯片工藝有著決定性的影響,小于5nm的晶圓必須用到EUV光刻機(jī)。這不是美國(guó)第一次阻止EUV光刻機(jī)進(jìn)入中國(guó),中芯國(guó)際2018年也向ASML下單了一臺(tái)EUV光刻機(jī),交貨時(shí)間是2019年初,荷蘭政府也發(fā)放了出口許可證。

不過(guò)美國(guó)政府極力阻止,為了限制ASML向中國(guó)公司出口EUV,對(duì)荷蘭政府屢次施壓。中芯國(guó)際訂購(gòu)的這臺(tái)EUV光刻機(jī)交貨日期一再延期,2019年6月美國(guó)國(guó)務(wù)卿邁克·蓬佩奧曾直接勸說(shuō)荷蘭首相馬克·呂特停止這筆交易。最后荷蘭政府不再續(xù)簽 ASML的出口許可。

美國(guó)一向警惕中國(guó)的高科技發(fā)展,并多次發(fā)起對(duì)華出口限制,去年3月,美國(guó)一個(gè)國(guó)家安全委員會(huì)建議國(guó)會(huì)收緊芯片制造技術(shù)的出口,防止中國(guó)在未來(lái)幾年內(nèi)在半導(dǎo)體領(lǐng)域超越美國(guó)。

由谷歌前董事長(zhǎng)埃里克·施密特領(lǐng)導(dǎo)的美國(guó)國(guó)家人工智能安全委員會(huì),曾建議限制中國(guó)采購(gòu)設(shè)備以制造先進(jìn)計(jì)算芯片的能力,美國(guó)對(duì)出口到中國(guó)的設(shè)備的限制,不僅限于EUV光刻機(jī)。

從本次美國(guó)不允許SK海力士將EUV引進(jìn)中國(guó)來(lái)看,不僅僅是中國(guó)企業(yè),那些在中國(guó)生產(chǎn)的海外企業(yè)也同樣受到采購(gòu)設(shè)備的限制。

美國(guó)到底在擔(dān)心什么?一位白宮高級(jí)官員聲稱,拜登政府仍然專注于防止中國(guó)大陸利用美國(guó)和盟國(guó)的技術(shù)來(lái)發(fā)展最先進(jìn)的半導(dǎo)體制造,這將會(huì)助力中國(guó)大陸軍事現(xiàn)代化。

美國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)調(diào)查公司VLSIresearch的首席執(zhí)行官丹·赫奇索聲稱,不管誰(shuí)把EUV光刻機(jī)引入中國(guó)大陸,都會(huì)讓中國(guó)大陸具備這種生產(chǎn)能力。他說(shuō),“一旦它到了中國(guó),你不知道它之后會(huì)去哪里。”

有業(yè)內(nèi)人士認(rèn)為,美國(guó)禁止SK海力士將EUV光刻機(jī)引進(jìn)中國(guó),還有另外一層意思,SK在中國(guó)的工廠生產(chǎn)的DRAM芯片占到公司總產(chǎn)能的一半,如果沒(méi)有辦法進(jìn)行工廠升級(jí),該公司或許會(huì)考慮將工廠遷到其他不受限制的地方,這樣也可以形成對(duì)中國(guó)制造的打壓。

從SK 海力士首席執(zhí)行官李錫熙的表述來(lái)看,雖然這可能會(huì)給該芯片制造商升級(jí)其中國(guó)工廠的計(jì)劃蒙上陰影,但仍然有充足時(shí)間可以跟美國(guó)方面進(jìn)行斡旋??梢?jiàn)SK海力士將EUV光刻機(jī)引進(jìn)中國(guó)大陸,還存在比較樂(lè)觀的預(yù)期。不過(guò)真實(shí)情況可能比他們預(yù)期的更困難。

SK海力士的競(jìng)爭(zhēng)力可能受到嚴(yán)重影響

SK海力士于2005年在無(wú)錫開(kāi)建DRAM一工廠,2017年10月二工廠項(xiàng)目開(kāi)建,2019年4月順利竣工并投入量產(chǎn),全部投產(chǎn)后,無(wú)錫公司產(chǎn)能達(dá)到月產(chǎn)18萬(wàn)片12英寸晶圓,成為全球單體投資規(guī)模最大、月產(chǎn)能最大、技術(shù)最先進(jìn)的10納米級(jí)DRAM產(chǎn)品生產(chǎn)基地。

當(dāng)前無(wú)論是對(duì)于SK海力士,還是對(duì)于全球電子行業(yè)來(lái)說(shuō),無(wú)錫這家工廠的重要性都尤為突出,因?yàn)镾K海力士約半數(shù)DRAM芯片都在這里生產(chǎn),占全球總量的15%。

為什么要采用EUV光刻機(jī)?SK海力士已經(jīng)在韓國(guó)使用EUV光刻機(jī)量產(chǎn)基于1a納米級(jí)工藝的8G LPDDR4移動(dòng)DRAM芯片,與第三代1znm內(nèi)存芯片相比,1a技術(shù)在相同的晶圓面積下,生產(chǎn)的芯片數(shù)量可以增加25%。可見(jiàn)EUV光刻機(jī)可以大幅提升效率。

一位了解SK海力士在中國(guó)大陸運(yùn)營(yíng)情況的消息人士透露,隨著兩到三年后新型芯片在SK海力士的生產(chǎn)中占據(jù)更大份額,該公司將需要EUV光刻機(jī)來(lái)控制其成本并加速生產(chǎn)。

當(dāng)前三星和美光也正在采用EUV設(shè)備,所在的廠房并未面臨出口限制,如果幾年內(nèi)SK海力士中國(guó)工廠仍未能引進(jìn)EUV光刻機(jī),該公司可能會(huì)在與三星和美光的競(jìng)爭(zhēng)中處于不利地位。

DRAM廠市場(chǎng)占比排行榜(來(lái)自TrendForce集邦咨詢)


從上述DRAM市占排行榜來(lái)看,當(dāng)前SK海力士與三星還存在較大差距,未來(lái)要拉近與三星,必然需要提升生產(chǎn)效率,另外緊隨其后的美光與SK海力士差距已經(jīng)不是很明顯,一旦SK海力士無(wú)法順利提升生產(chǎn)效率,美光或許就能迎頭趕上,業(yè)界甚至猜測(cè),美國(guó)此舉或許也有打壓韓國(guó)存儲(chǔ)企業(yè),讓本國(guó)企業(yè)美光追上的意圖。

另外SK海力士產(chǎn)能受到影響,可能會(huì)影響全球DRAM供給,作為全球第二大DRAM企業(yè),SK海力士無(wú)錫工廠生產(chǎn)的DRAM芯片占到全球市場(chǎng)的15%,如今在5G、智能化等快速發(fā)展下,未來(lái)DRAM的需求將會(huì)更大,SK海力士如果產(chǎn)能不能跟上,全球DRAM可能會(huì)出現(xiàn)供不應(yīng)求的情況。一位ASML發(fā)言人稱,廣泛使用出口管制可能會(huì)加劇半導(dǎo)體供應(yīng)鏈的問(wèn)題。

小結(jié)

SK海力士計(jì)劃通過(guò)EUV光刻機(jī)升級(jí)中國(guó)工廠的產(chǎn)能,而美國(guó)擔(dān)心將這種高科技工具引進(jìn)中國(guó)可能增強(qiáng)中國(guó)的戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)進(jìn)行反對(duì),雖然SK海力士還期望有談判的余地,然而估計(jì)成功的可能性不大。如今三星、美光等也還未全面采用EUV技術(shù),短期來(lái)看對(duì)SK海力士的競(jìng)爭(zhēng)力影響不大,長(zhǎng)期的話影響預(yù)計(jì)會(huì)逐漸顯現(xiàn),不過(guò)或許SK海力士還有其他舉措。

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