半導(dǎo)體的電阻率該如何測量

四探針法通常用來測量半導(dǎo)體的電阻率。四探針法測量電阻率有個非常大的優(yōu)點，它不需要較準(zhǔn)；有時用其它方法測量電阻率時還用四探針法較準(zhǔn)。

與四探針法相比，傳統(tǒng)的二探針法更方便些，因為它只需要操作兩個探針，但是處理二探針法得到的數(shù)據(jù)卻很復(fù)雜。如圖一，電阻兩端有兩個探針接觸，每個接觸點既測量電阻兩端的電流值，也測量了電阻兩端的電壓值。

我們希望確定所測量的電阻器的電阻值，總電阻值：

RT=V/I=2RW+2RC+RDUT；其中RW是導(dǎo)線電阻，RC是接觸電阻，RDUT所要測量的電阻器的電阻，顯然用這種方法不能確定RDUT的值。矯正的辦法就是使用四點接觸法，即四探針法。如圖二，電流的路徑與圖一中相同，但是測量電壓使用的是另外兩個接觸點。盡管電壓計測量的電壓也包含了導(dǎo)線電壓和接觸電壓，但由于電壓計的內(nèi)阻很大，通過電壓計的電流非常小，因此，導(dǎo)線電壓與接觸電壓可以忽略不計，測量的電壓值基本上等于電阻器兩端的電壓值。

通過采用四探針法取代二探針法，盡管電流所走的路徑是一樣的，但由于消除掉了寄生壓降，使得測量變得精que了。四探針法在后來，已經(jīng)變得十分普及，命名為四探針法。

HEST-800高溫四探針測試儀器采用四探針雙電測量方法，適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，是檢驗和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料在高溫、真空及氣氛條件下測量的一種重要的工具。本儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料。液晶顯示，無需人工計算，并帶有溫度補償功能。采用高精度AD芯片控制，恒流輸出，結(jié)構(gòu)合理、質(zhì)量輕便，配備10英寸觸摸屏，軟件可保存和打印數(shù)據(jù)，自動生成報表；本儀器可顯示電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度、電導(dǎo)率，配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。測試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測試項目要求選購。

雙電測數(shù)字式四探針測試儀是運用直線或方形四探針雙位測量。該儀器設(shè)計符合單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn)。利用電流探針、電壓探針的變換，進(jìn)行兩次電測量，對數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測分析，自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機械游移等因素對測量結(jié)果的影響，它與單電測直線或方形四探針相比，大大提高精que度，也可應(yīng)用于產(chǎn)品檢測以及新材料電學(xué)性能研究等用途。

審核編輯：符乾江