天馬有源數(shù)字微流控芯片實現(xiàn)多類相關(guān)傳感功能集成

隨著物聯(lián)網(wǎng)、人工智能、5G等眾多新興科技接踵而至，傳感器領(lǐng)域迎來了迅猛的發(fā)展。但需求多元化、開發(fā)周期長、成本高、產(chǎn)能不足等現(xiàn)狀讓傳統(tǒng)傳感器開發(fā)模式面臨嚴(yán)峻挑戰(zhàn)。天馬精準(zhǔn)把握行業(yè)發(fā)展動態(tài)，積極開拓國際化的面板級傳感器業(yè)務(wù)：依托于強勁的TFT技術(shù)研發(fā)實力與靈活多樣的制造能力，在生物醫(yī)療、智慧交通、人工智能、信息通訊等領(lǐng)域已完成多類前瞻技術(shù)開發(fā)，不僅為面板制造業(yè)開拓了高精度制造的新型領(lǐng)域，并且開辟了一條全新的傳感器產(chǎn)業(yè)化推進路線。

在生物醫(yī)療領(lǐng)域，微流控（Microfluidics）技術(shù)利用對微觀液體的精準(zhǔn)操控，將樣品處理、反應(yīng)、檢測、分析等復(fù)雜的實驗步驟集成在一個生物芯片上完成，是芯片實驗室（Lab-on-chips）的核心技術(shù)。通過集成化高通量檢測減少分析時間、試劑用量以及人力投入，從而替代傳統(tǒng)的生化實驗設(shè)備及人力，微流控被譽為未來生物科技的革命性技術(shù)，可廣泛應(yīng)用于各類生化檢測領(lǐng)域，如臨床診斷、基因測序、免疫檢測、單細(xì)胞分析等。

微流控技術(shù)應(yīng)用

然而，目前微流控芯片產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展還不夠成熟，傳統(tǒng)制造技術(shù)難以實現(xiàn)高通量、高精度、低成本芯片的批量生產(chǎn)，相關(guān)技術(shù)大多處于實驗室階段，與市場化大規(guī)模應(yīng)用存在一定距離。為此，天馬結(jié)合行業(yè)領(lǐng)先的顯示面板成熟制造工藝，成功開發(fā)了面板級微流控（Pluidic， Panel-Level-Microfluidics）技術(shù)，可提供多種工藝路線的玻璃基微流控芯片的定制化設(shè)計和批量生產(chǎn)服務(wù)，極大推動了微流控技術(shù)的產(chǎn)業(yè)化發(fā)展。

天馬微流控部分樣品展示

微流控技術(shù)大體可分為基于微流道操縱連續(xù)流體的連續(xù)微流控技術(shù)和基于介電潤濕等原理操縱獨立微液滴的數(shù)字微流控技術(shù)。

在連續(xù)微流控方面，天馬研發(fā)出基于玻璃蝕刻流道方式制作的連續(xù)微流控芯片，實現(xiàn)高精度玻璃微流道芯片制造需求。天馬的連續(xù)微流控芯片具有高通量、高精度、低成本、可定制實驗等眾多優(yōu)勢，在基因測序等領(lǐng)域已實現(xiàn)商業(yè)項目出貨。

天馬連續(xù)微流控芯片結(jié)構(gòu)&技術(shù)優(yōu)勢

在數(shù)字微流控方面，天馬探索了多種工藝及技術(shù)路線，已成功研發(fā)基于a-Si/Oxide/LTPS等多種TFT技術(shù)的有源數(shù)字微流控芯片，以及單層/多層電極無源數(shù)字微流控芯片，實現(xiàn)多種傳感功能集成，提供了全球最為豐富的技術(shù)路線和解決方案，可滿足各類不同應(yīng)用方向的功能需求。目前相關(guān)研究成果已發(fā)表在等多家SCI/EI國內(nèi)外知名期刊和會議論文上，已布局國內(nèi)外核心技術(shù)專利50余篇，并且已在PCR擴增、基因建庫、免疫檢測、單細(xì)胞分析等領(lǐng)域與多家客戶展開商業(yè)項目，在學(xué)術(shù)界和產(chǎn)業(yè)界均受到廣泛認(rèn)可。以a-Si方案為例，使用有源方式可靈活獨立控制成千上萬個百微米級驅(qū)動電極，批量驅(qū)動pL~uL級液滴，具有高精度、高通量、低成本、可編程和便攜性等優(yōu)勢，相應(yīng)產(chǎn)品也已實現(xiàn)小批量出貨。

天馬有源數(shù)字微流控芯片結(jié)構(gòu)&技術(shù)優(yōu)勢

后續(xù)，天馬將進一步提升面板級微流控產(chǎn)品的性能及量產(chǎn)能力，實現(xiàn)多類相關(guān)傳感功能集成，完成更多技術(shù)方案的微流控產(chǎn)品開發(fā)，為客戶提供更優(yōu)質(zhì)的微流控產(chǎn)品解決方案和生產(chǎn)服務(wù)。

MPG（Multi-Project-Glass）&技術(shù)優(yōu)勢

對于微流控等新興技術(shù)領(lǐng)域，天馬還提供了獨有的MPG（Multi-Project-Glass） 多項目玻璃基板技術(shù)平臺，能為創(chuàng)新公司、高校和科研單位等提供成熟的a-Si、LTPS、IGZO和LTPO背板，進行相關(guān)技術(shù)產(chǎn)品的前期研發(fā)和成果轉(zhuǎn)化，助力相關(guān)技術(shù)落地。

作為公司“2+1+N”戰(zhàn)略中“N”的重要組成部分，非顯示業(yè)務(wù)近年來快速成長，天馬將持續(xù)在相關(guān)領(lǐng)域進行技術(shù)和產(chǎn)品開發(fā)，與廣大客戶共同推進相關(guān)產(chǎn)業(yè)量產(chǎn)孵化。